【技术实现步骤摘要】
一种螺旋锥金属探针及其用于超分辨近场检测的方法
[0001]本专利技术属于表面等离子体光学
,具体涉及一种螺旋锥金属探针及其用于超分辨近场检测的方法。
技术介绍
[0002]近场扫描光学显微镜(SNOM)基于扫描探针激发或收集近场信号,能够突破光学衍射极限,是一种用于可见光、红外和太赫兹成像和光谱的扫描探针技术,具有纳米级的空间分辨率。从材料表征到生物科学,它已被证明具有巨大的应用潜力。孔径型扫描近场光学显微镜(a
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SNOM)作为SNOM的一种,当探针孔径小于100nm时,光通过孔径的透过率会急剧下降。目前在实际应用中,a
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SNOM的探针通光孔径约为100nm,光学空间分辨率最高约为50nm,提高光透过率和光学空间分辨率变得尤为重要。
[0003]近些年,由于表面等离激元(SPPs)具备突破衍射极限的模式体积,金属探针等离子体聚焦技术在近场扫描光学显微镜(SNOM)中的成功应用而引起了广泛的研究。在这些应用中,圆锥结构探针被广泛使用,不过由于该结构的对称性会使得线偏振光在 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种螺旋锥金属探针,其特征在于,所述螺旋锥金属探针包括光刻胶介质层和金膜层;所述光刻胶介质层包括一个圆锥结构以及圆锥表面的半椭圆螺纹结构,该螺旋锥金属探针使用线偏振光进行激发后,在锥尖处形成局域电磁场增强“热点”,进而实现低于10nm的超高近场分辨。2.权利要求1所述的一种螺旋锥金属探针用于超分辨近场检测的方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)将一段单模光纤剥去涂覆层,利用光纤切割刀切平光纤端面,并将其固定于一个具有单轴位移台的光纤夹具上,在夹具前端固定一块玻片,调节光纤端面与玻片的距离,在玻片边缘滴上光刻胶导流至光纤端面,使光纤端面完全浸没于光刻胶中;(2)将光纤夹具固定于激光直写平台中,通过计算机系统编写程序控制激光直写平台,首先通过振镜模式在光纤端面打印圆锥型结构,随后使用压电模式打印沿着圆锥表面的螺纹结构,之后将光纤从夹具上取下,先浸润于显影液中溶解未反应的光刻胶,随后将光纤移至异丙醇溶液中溶解显影液,取出后光纤表面的异丙醇溶液可在室温下自然挥发;(3)将光纤转移至磁控溅射镀膜机,在光纤端面的结构表面进行镀膜,设定镀膜功率和镀膜时间,镀膜完成后即在光纤其中一个端面上得所述螺旋锥金属探针,且光纤的另一端面为没有镀膜、没有探针的光滑的光纤切面;(4)将光纤带有螺旋锥金属探针的一端粘到NT
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MDT的SNOM近场成像系统的音叉上,SNOM工作在照明模式下,光源从光纤的远端耦合到探针内部产生局部热点信号作为近场照明源去照明标准样品,样品采用近场光学成像扫描,设置扫描速度和采集时间,通过样品的光经过...
【专利技术属性】
技术研发人员:李志远,邓秋蓉,黄容涛,龙利,陈宇昕,
申请(专利权)人:华南理工大学,
类型:发明
国别省市:
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