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本实用新型涉及一种检测硅片边缘状况的装置，包括平台，所述的平台上端的两侧分别转动安装有手轮和真空吸盘，所述的手轮与真空吸盘之间传动连接，所述的真空吸盘随着手轮的转动而转动，所述的平台上端位于真空吸盘的前方竖直安装有一升降气缸，该升降气缸的活...
该专利属于浙江金瑞泓科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江金瑞泓科技股份有限公司授权不得商用。

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