对位设备制造技术

一种对位设备，适于将第一基板与第二基板对位。此对位设备包括第一载台、支撑架、第一承载件、第二载台以及第二承载件。第一载台适于移动及转动。支撑架配置于第一载台上，并具有相对的第一端与第二端。第一端连接于第一载台，第一承载件连接于该第二端，并与第一载台相对，第一承载件适于承载第一基板。第二载台配置于第一载台上，并适于相对于第一载台移动及转动。第二承载件配置于第二载台上，并与第一承载件相对，第二承载件适于承载第二基板。第一载台移动时，支撑架、第一承载件、第二载台及第二承载件随之移动。及第二承载件随之移动。及第二承载件随之移动。

【技术实现步骤摘要】
对位设备


[0001]本技术涉及一种制程设备，尤其涉及一种对位设备。

技术介绍

[0002]近年来由于半导体产业的兴起，进而衍生出许多半导体相关的设备。在半导体制程中，经常需要将两片基板对位，以便于进行后续的加工制程。
[0003]现有的对位设备包括两个载台，每个载台用以承载一片基板。在对位的过程中，两个载台可各自移动及转动所承载的基板，使两片基板对位。当对位完成后，两个载台同步移动各自承载的基板，以进行后续制程。然而，在移动的过程中，往往容易因为两个载台精度误差的关系，导致两片基板在移动时无法精准对位。

技术实现思路

[0004]本技术提供一种对位设备，以确保对位后的两片基板在移动时能持续精准对位。
[0005]本技术所提供一实施例提供一种对位设备，适于将第一基板与第二基板对位，此对位设备包括第一载台、支撑架、第一承载件、第二载台以及第二承载件。第一载台，适于移动及转动。支撑架配置于第一载台上，并具有相对的第一端与第二端，第一端连接于第一载台。第一承载件连接于第二端，并与第一载台相对，第一承载件适于承载第一基板。第二载台配置于第一载台上，并适于移动及转动。第二承载件配置于该第二载台上，并与第一承载件相对，第二承载件适于承载第二基板。第一载台移动时，支撑架、第一承载件、第二载台及第二承载件随之移动。
[0006]在本技术的一实施例中，上述的第一载台包括第一水平移动机构及第一转动机构。第一转动机构配置于第一水平移动机构上，第一转动机构包括固定部及转动部，转动部围绕固定部。支撑架的第一端连接于转动部。第二载台包括第二水平移动机构及第二转动机构，第二水平移动机构配置于固定部上，第二转动机构配置于第二水平移动机构上，而第二承载件配置于第二转动机构上。
[0007]在本技术的一实施例中，上述的第一水平移动机构及第二水平移动机构适于沿彼此垂直的第一方向及第二方向移动。
[0008]在本技术的一实施例中，上述的第二载台更包括垂直移动机构，配置于第二水平移动机构及第二转动机构之间。
[0009]在本技术的一实施例中，上述的第一承载件包括环形固定组件以及环形夹持组件。环形固定组件连接于支撑架的第二端，环形夹持组件固定于环形固定组件，并适于夹持第一基板。
[0010]在本技术的一实施例中，上述的环形固定组件具有第一环状部与第二环状部。第一环状部围绕第二环状部，第一环状部固定于支撑架的第二端，第二环状部具有第一承载面，第一承载面相对于第一环状部凹陷，环形夹持组件固定于第一承载面。
[0011]在本技术的一实施例中，上述的环形夹持组件包括多个锁固螺丝、多个止付螺丝、夹持环以及抵靠部件。夹持环具有第三环状部与第四环状部，第三环状部围绕第四环状部。第三环状部具有多个第一螺孔、多个第二螺孔以及凹陷结构，第一承载面具有对应第一螺孔的多个锁槽，锁固螺丝穿过第一螺孔并锁附于锁槽，止付螺丝穿过第二螺孔并抵靠于第一承载面。第四环状部具有用以承载第一基板的第二承载面，第二承载面相对于该第三环状部凹陷。第四环状部具有对应凹陷结构的缺口。抵靠部件配置于凹陷结构，并伸入缺口，以与第三环状部的内侧壁共同夹持第一基板。
[0012]在本技术的一实施例中，上述的环形夹持组件更包括固定部件以及多个弹性部件，凹陷结构的底部设有固定孔及多个定位槽，抵靠部件包括第一板部与第二板部，第一板部设置于凹陷结构内，第二板部连接于第一板部并伸入缺口中。弹性部件设置于定位槽内并沿预定方向推抵第二板部，第一板部具有穿孔，固定部件穿过穿孔固定于固定孔。
[0013]在本技术的一实施例中，上述的第三环状部的内侧壁设有多个凸起结构，这些凸起结构与抵靠部件共同夹持第一基板。
[0014]在本技术的一实施例中，上述的对位设备更包括摄影装置，配置于支撑架上方。
[0015]在本技术的一实施例中，上述的对位设备更包括驱动件，连接摄影装置，以驱使摄影装置沿接近或远离第一承载件的方向移动。
[0016]本技术实施例的对位设备中，因第二载台配置于第一载台上，所以第一载台移动时，第二载台会随之移动。如此，能够确保第一基板与第二基板在移动的过程中持续精准对位。
[0017]上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本技术的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图,详细说明如下。
附图说明
[0018]图1为本技术一实施例的对位设备的立体示意图。
[0019]图2是图1的对位设备的部分分解示意图。
[0020]图3为本技术一实施例的对位设备的第一承载件的立体示意图。
[0021]图4是图3的第一承载件的环形固定组件的立体示意图。
[0022]图5是图3的第一承载件的环形夹持组件的立体示意图。
[0023]图6是图5的环形夹持组件的凹陷结构的放大示意图。
[0024]图7是图5的环形夹持组件的凹陷结构与抵靠部件的剖面示意图。
[0025]图8为本技术另一实施例的对位设备的立体示意图。
具体实施方式
[0026]图1为本技术一实施例的对位设备的立体示意图。请参照图1，本实施例的对位设备100包括第一载台110、支撑架120、第一承载件130、第二载台140以及第二承载件150。第一载台110适于移动及转动。支撑架120配置于第一载台110上，并具有相对的第一端121与第二端122，第一端121连接于第一载台110。第一承载件130连接于第二端122，并与第
一载台110相对，第一承载件130适于承载第一基板S1。第二载台140配置于第一载台110上，并适于移动及转动。第二承载件150配置于该第二载台140上，并与第一承载件130相对，第二承载件150适于承载第二基板S1。第一载台110移动时，支撑架120、第一承载件130、第二载台140与第二承载件150随之移动。上述第一基板S1及第二基板S2可以是任何种类的基板，本技术并不限制基板的种类。
[0027]图2是图1的对位设备的部分分解示意图。请参照图2，第一载台110例如包括第一水平移动机构111及第一转动机构112。第一转动机构112配置于第一水平移动机构111上，第一转动机构112包括固定部113及转动部114，转动部114围绕固定部113。支撑架120的第一端121连接于转动部114。转动部114的转动轴(图未示)平行于垂直方向Z。此外，第一水平移动机构111例如是适于沿彼此垂直的第一方向X及第二方向Y移动。具体而言，第一水平移动机构111例如包括移动部115及116，移动部115适于沿第一方向X移动，而移动部116配置于移动部115上，并适于沿第二方向Y移动。
[0028]本实施例中，第二载台140例如包括第二水平移动机构141及第二转动机构142，第二水平移动机141本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种对位设备，适于将一第一基板与一第二基板对位，其特征在于，该对位设备包括：一第一载台，适于移动及转动；一支撑架，配置于该第一载台上，并具有相对的一第一端与一第二端，该第一端连接于该第一载台；一第一承载件，连接于该第二端，并与该第一载台相对，该第一承载件适于承载该第一基板；一第二载台，配置于该第一载台上，并适于移动及转动；以及一第二承载件，配置于该第二载台上，并与该第一承载件相对，该第二承载件适于承载该第二基板，其中，该第一载台移动时，该支撑架、该第一承载件、该第二载台及该第二承载件随之移动。2.如权利要求1所述的对位设备，其特征在于：该第一载台包括一第一水平移动机构及一第一转动机构，该第一转动机构配置于该第一水平移动机构上，该第一转动机构包括一固定部及一转动部，该转动部围绕该固定部，该支撑架的该第一端连接于该转动部；以及该第二载台包括一第二水平移动机构及一第二转动机构，该第二水平移动机构配置于该固定部上，该第二转动机构配置于该第二水平移动机构上，而该第二承载件配置于该第二转动机构上。3.如权利要求2所述的对位设备，其特征在于，每一该第一水平移动机构及该第二水平移动机构适于沿彼此垂直的一第一方向及一第二方向移动。4.如权利要求2所述的对位设备，其特征在于，该第二载台更包括一垂直移动机构，配置于该第二水平移动机构及该第二转动机构之间。5.如权利要求1所述的对位设备，其特征在于，该第一承载件包括：一环形固定组件，连接于该支撑架的该第二端；以及一环形夹持组件，固定于该环形固定组件，并适于夹持该第一基板。6.如权利要求5所述的对位设备，其特征在于，该环形固定组件具有一第一环状部与一第二环状部，该第一环状部围绕该第二环状部，该第一环状部固定于该...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈鸿隆，李佶展，
申请(专利权)人：雷杰科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：