制备三氯氢硅的反歧化装置制造方法及图纸

制备三氯氢硅的反歧化装置包括四氯化硅管道、二氯二氢硅管道、高低沸罐、压力装置、进料预热器、反歧化塔、塔顶气相管道、回流装置、侧采管道、侧采循环装置、釜采装置、去反歧化器，所述制备三氯氢硅的反歧化装置将副产物四氯化硅和二氯二氢硅通过反歧化反应生成三氯氢硅，提高了生产系统三氯氢硅的收率，降低了废物处理过程中的物耗，且反应条件温和易实现，一方面解决了二氯二氢硅的富集问题，降低了二氯二氢硅富集的安全隐患，另一方面解决了四氯化硅的污染问题及资源的浪费，实现了副产物的高效回收利用。物的高效回收利用。物的高效回收利用。

【技术实现步骤摘要】
制备三氯氢硅的反歧化装置


[0001]本技术涉及制备多晶硅
，尤其涉及制备三氯氢硅的反歧化装置。

技术介绍

[0002]在制备多晶硅过程中，会有四氯化硅和二氯二氢硅副产物的产生。四氯化硅极易与水发生反应生成硅酸与氯化氢，并且直接排放对人和环境有极大地危害，也造成了资源的浪费。同时，二氯二氢硅在分离过程中逐渐富集，易燃易爆十分危险，传统工艺使用碱淋法将其作为废物处理，既增大难度又增大物耗。因此造成了四氯化硅的极大浪费和二氯二氢硅存在安全隐患。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，有必要提供一种减少四氯化硅的浪费和降低二氯二氢硅安全隐患的制备三氯氢硅的反歧化装置。
[0004]制备三氯氢硅的反歧化装置包括四氯化硅管道、二氯二氢硅管道、高低沸罐、压力装置、进料预热器、反歧化塔、塔顶气相管道、回流装置、侧采管道、侧采循环装置、釜采装置、去反歧化器，所述四氯化硅管道的出口和二氯二氢硅管道的出口分别与高低沸罐的进口连接，高低沸罐的出口与压力装置的进口连接，压力装置的出口与进料预热器的进口连接，进料预热器的出口与反歧化塔的侧采进口连接，反歧化塔设有塔顶气相出口，塔顶气相出口与塔顶气相管道的进口连接，塔顶气相管道的出口与回流装置的进口连接，回流装置的出口与反歧化塔连接，反歧化塔的侧采出口与侧采管道的进口连接，侧采管道的出口与侧采循环装置的进口连接，反歧化塔还设有塔釜出口，塔釜出口与釜采装置的进口连接，釜采装置的出口与去反歧化器的进口连接。
[0005]优选的，所述压力装置包括进料缓冲罐、进料泵，所述高低沸罐的出口与进料缓冲罐的进口连接，进料缓冲罐的出口与进料泵的进口连接，进料泵的出口与进料预热器的进口连接。
[0006]优选的，所述回流装置包括冷凝器、回流罐、回流泵、回流管道、顶采管道，顶气相管道的出口与冷凝器的进口连接，冷凝器的出口与回流罐的进口连接，回流罐的出口与回流泵的进口连接，回流泵设有回流出口，回流出口与回流管道的进口连接，回流管道的出口与反歧化塔连接；
[0007]回流泵还设有顶采出口，顶采出口与顶采出管道的进口连接，顶采管道的出口与去反歧化器的进口连接。
[0008]优选的，所述侧采循环装置还包括侧采冷却器、侧采泵、粗三氯氢硅球罐、精馏装置进料预热器，所述侧采管道的出口与侧采冷却器的进口连接，侧采冷却器的出口与侧采泵的进口连接，侧采泵设有第一侧采泵出口、第二侧采泵出口和第三侧采泵出口，第一侧采泵出口与粗三氯氢硅球罐的进口连接，第二侧采泵出口与进料缓冲罐的进口连接，第三侧采泵出口与精馏装置进料预热器的进口连接。
[0009]优选的，釜采装置还包括釜采管道、釜采泵，所述釜采出口与釜采管道的进口连接，釜采管道的出口与釜采泵的进口连接，釜采泵的出口与进料预热器的进口连接。
[0010]优选的，所述制备三氯氢硅的反歧化装置还包括混合气体管道，所述混合气体管道的出口与精馏系统的进口连接。
[0011]优选的，所述制备三氯氢硅的反歧化装置还包括四氯化硅球罐，所述四氯化硅球罐的出口与高低沸罐的进口连接。
[0012]有益效果：本技术的制备三氯氢硅的反歧化装置将副产物四氯化硅和二氯二氢硅通过反歧化反应生成三氯氢硅，提高了三氯氢硅的收率，降低了废物处理过程中的物耗，且反应条件温和易实现，一方面解决了二氯二氢硅的富集问题，降低了二氯二氢硅富集的安全隐患，另一方面解决了四氯化硅的污染问题及资源的浪费，实现了副产物的高效回收利用。
附图说明
[0013]图1为本技术制备三氯氢硅的反歧化装置的工艺流程图；
[0014]图中：四氯化硅管道1、二氯二氢硅管道2、高低沸罐3、压力装置4、进料预热器5、反歧化塔6、塔顶气相管道7、回流装置8、侧采管道9、侧采循环装置10、釜采装置11、去反歧化器12、进料缓冲罐401、进料泵402、冷凝器801、回流罐802、回流泵803、回流管道804、顶采管道805、侧采冷却器1001、侧采泵1002、粗三氯氢硅球罐1003、精馏装置进料预热器1004、釜采管道1101、釜采泵1102、混合气体管道13、四氯化硅球罐14。
具体实施方式
[0015]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0016]请参看图1，四氯化硅管道1、二氯二氢硅管道2、高低沸罐3、压力装置4、进料预热器5、反歧化塔6、塔顶气相管道7、回流装置8、侧采管道9、侧采循环装置10、釜采装置11、去反歧化器12、进料缓冲罐401、进料泵402、冷凝器801、回流罐802、回流泵803、回流管道804、顶采管道805、侧采冷却器1001、侧采泵1002、粗三氯氢硅球罐1003、精馏装置进料预热器1004、釜采管道1101、釜采泵1102、混合气体管道13、四氯化硅球罐14，所述四氯化硅管道1的出口和所述二氯二氢硅管道2的出口分别与所述高低沸罐3的进口连接，所述高低沸罐3的出口与所述压力装置4的进口连接，所述压力装置4的出口与所述进料预热器5的进口连接，所述进料预热器5的出口与所述反歧化塔6的侧采进口连接，所述反歧化塔6设有塔顶气相出口，塔顶气相出口与所述塔顶气相管道7的进口连接，所述塔顶气相管道7的出口与所述回流装置8的进口连接，所述回流装置8的出口与所述反歧化塔6连接，所述反歧化塔6的侧采出口与所述侧采管道9的进口连接，所述侧采管道9的出口与所述侧采循环装置10的进口连接，所述反歧化塔6还设有塔釜出口，塔釜出口与所述釜采装置11的进口连接，所述釜采装置11的出口与所述去反歧化器12的进口连接。
[0017]通过所述制备三氯氢硅的反歧化装置将四氯化硅和二氯二氢硅反应生成目的产
物三氯氢硅，减少了四氯化硅的浪费及对环境的污染和降低了二氯二氢硅的安全隐患，同时提高了三氯氢硅的收率。在经过所述反歧化塔6的分离后，少部分三氯氢硅和二氯氢硅通过所述塔顶气相管道7进入所述回流装置8中，在所述回流装置8中对塔顶气相物料进行降温处理，将气态的三氯化硅变为液体返回所述反歧化塔6中，并且通过所述回流装置8和所述釜采装置11进入所述去反歧化器中12，实现了三氯氢硅的高收率。
[0018]进一步的，所述压力装置4包括进料缓冲罐401、进料泵402，所述高低沸罐3的出口与所述进料缓冲罐401的进口连接，所述进料缓冲罐401的出口与所述进料泵402的进口连接，所述进料泵402的出口与所述进料预热器5的进口连接。
[0019]通过所述进料缓冲罐401的作用，平衡缓冲系统的压力波动，使系统工作更平稳，同时所述进料泵402为物料提供进入所述进料预热器的动力。
[0020]进一步的，所述回流装置包括冷凝器801、回流罐802、回流泵803、回流管道804、顶采管道805，所述塔顶气相管道7的出口与所述冷凝器801的进口连接，所述冷凝器本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种制备三氯氢硅的反歧化装置，其特征在于：包括四氯化硅管道、二氯二氢硅管道、高低沸罐、压力装置、进料预热器、反歧化塔、塔顶气相管道、回流装置、侧采管道、侧采循环装置、釜采装置、去反歧化器，所述四氯化硅管道的出口和二氯二氢硅管道的出口分别与高低沸罐的进口连接，高低沸罐的出口与压力装置的进口连接，压力装置的出口与进料预热器的进口连接，进料预热器的出口与反歧化塔的侧采进口连接，反歧化塔设有塔顶气相出口，塔顶气相出口与塔顶气相管道的进口连接，塔顶气相管道的出口与回流装置的进口连接，回流装置的出口与反歧化塔连接，反歧化塔的侧采出口与侧采管道的进口连接，侧采管道的出口与侧采循环装置的进口连接，反歧化塔还设有塔釜出口，塔釜出口与釜采装置的进口连接，釜采装置的出口与去反歧化器的进口连接。2.如权利要求1所述的制备三氯氢硅的反歧化装置，其特征在于：所述压力装置包括进料缓冲罐、进料泵，所述高低沸罐的出口与进料缓冲罐的进口连接，进料缓冲罐的出口与进料泵的进口连接，进料泵的出口与进料预热器的进口连接。3.如权利要求1所述的制备三氯氢硅的反歧化装置，其特征在于：所述回流装置包括冷凝器、回流罐、回流泵、回流管道、顶采管道，顶气相管道的出口与冷凝器的进口连接，冷凝器的出口与回流罐的进口连接，回流罐的出口与回流泵...

【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，王亮，请求不公布姓名，李鹏鹏，陈强娃，段波，梁学勤，
申请(专利权)人：宁夏润阳硅材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：