一种多晶硅生产尾气回收过程中能量梯级利用系统技术方案

本申请涉及一种多晶硅生产尾气回收过程中能量梯级利用系统，氢气储罐与第一换热器的管程进口相连，第一换热器的管程出口与活性炭吸附柱的脱附进口相连通，活性炭吸附柱的脱附出口与第一换热器的壳程进口相连，第一换热器的壳程出口与第二换热器的壳程进口相连，第二换热器的壳程出口与第三换热器的壳程进口相连，吸收塔的富液出口与第三换热器的管程进口相连，第三换热器的液相出口与第二换热器的管程进口相连。通过两级回收利用164℃氢气中的热量，充分回收利用164℃氢气中的热量，避免164℃的氢气中的热量浪费，同时，直接利用吸收塔所排出的低温氯硅烷富液中的冷量冷却预冷却后的氢气，避免冷量的浪费，从而能够降低回收成本。收成本。收成本。

【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅生产尾气回收过程中能量梯级利用系统


[0001]本申请涉及多晶硅尾气回收
，特别是涉及一种多晶硅生产尾气回收过程中能量梯级利用系统。

技术介绍

[0002]改良西门子法三氯氢硅氢还原生产多晶硅过程，反应转化率在10％左右，未反应的氢气、三氯氢硅和反应副产物四氯化硅、氯化氢共同组成生产尾气，进入干法回收系统分离、回收。传统的干法回收系统由“冷凝分离氯硅烷
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吸收脱吸分离氯化氢
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吸附净化回收氢气”三大部分组成。具体工艺为生产尾气先经加压冷凝以回收液态氯硅烷，再通过低温氯硅烷吸收
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高温脱吸的方式分离回收不凝气中绝大部分的氯化氢，之后经活性炭吸附其中极少量的氯硅烷、氯化氢及其它杂质，吸附后的绝大部分回收氢气返回到四氯化硅氢化系统，少部分的回收氢气作为反吹气将活性炭吸附的氯硅烷和氯化氢脱附，脱附后混合气体返回至干法回收系统的冷凝工序，分离出的氯化氢送至四氯化硅氢化系统参与反应。
[0003]多晶硅干法回收工艺过程中，采用活性炭吸附柱对生产尾气中的氢气进行提纯和净化是目前“改本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅生产尾气回收过程中能量梯级利用系统，其特征在于，包括活性炭吸附柱（100）、吸收塔（200）、解析塔（300）、第一换热器（410）、第二换热器（420）和第三换热器（430），所述活性炭吸附柱（100）的吸附出口连接有氢气储罐（110），所述氢气储罐（110）与所述第一换热器（410）的管程进口相连，所述第一换热器（410）的管程出口与所述活性炭吸附柱（100）的脱附进口相连通，所述活性炭吸附柱（100）的脱附出口与所述第一换热器（410）的壳程进口相连，所述第一换热器（410）的壳程出口与所述第二换热器（420）的壳程进口相连，所述第二换热器（420）的壳程出口与所述第三换热器（430）的壳程进口相连，所述第三换热器（430）的气相出口与所述吸收塔（200）的废气进口相连，所述吸收塔（200）的富液出口与所述第三换热器（430）的管程进口相连，所述第三换热器（430）的液相出口与所述第二换热器（420）的管程进口相连，所述第二换热器（420）和所述第三换热器（430）的管程出口均与所述解析塔（300）的富液进口相连通。2.根据权利要求1所述的能量梯级利用系统，其特征在于，还包括第四换热器（440），所述第二换热器（420）和所述第三换热器（430）的管程出口均与所述第四换热器（440）的管程进口相连通，所述第四换热器（440）的管程出口与所述解析塔（300）的富液进口相连，所述解析塔（300）的贫液出口与所述第四换热器（440）的壳程进口相连，所述第四换热器（440）的壳程出口与所述吸收塔（200）的贫液进口相连通。3.根据权利要求2所述的能量梯级利用系统，其特征在于，还包括第五换热器（450），所述第三换热器（430）的管程出口与所述第五换热器（450）的管程进口相连，所述第五换热器（450）的管程出...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘建明，王鹏，马鑫，
申请(专利权)人：宁夏润阳硅材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：