一种用于硅棒切方/抛光用的随行夹具制造技术

本实用新型专利技术属于单晶硅、多晶硅棒切方、磨削加工设备技术领域，公开了一种用于硅棒切方/抛光用的随行夹具。包括随行夹具座体、定夹头座、动夹头座；随行夹具座体一端安设有定夹头座，定夹头座前端底部插设有浮动定夹头；浮动定夹头上端连接有动力对接齿盘A连接；随行夹具座体上安设有直线导轨A和T形丝杠，动夹头座通过直线导轨A和T形丝杠以及滑块与随行夹具座体活动连接；动夹头座的顶部安装浮动动夹头，动夹头座顶部侧面装设旋转夹紧气缸；气缸活塞杆前端与连接板连接，在随行夹具座体的一端安装有轴承座A，轴承座A内部装有轴承A，轴承A上穿设有夹紧对接轴；该随行夹具装夹基准好、误差率低，同时减少硅料损耗，提高磨削效率。提高磨削效率。提高磨削效率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于硅棒切方/抛光用的随行夹具


[0001]本技术属于单晶硅、多晶硅棒切方、磨削加工设备
，本技术涉及一种用于硅棒切方/抛光用的随行夹具。

技术介绍

[0002]现有技术中对于单晶硅、多晶硅棒切方、磨削加工多采用的是一体成型设备(制造岛)，整个工作流程在一体机内部操作完成，这种一体机成型设备中的工作台夹具在制造岛内随行，但是这样的设备由于是一体成型，其设备成本高，但一个部件需要维修时，就需要整体停工维修，维修设备时间长，维修成本高，同时，当是想要进行切方工序或者单独进行磨削、抛光工序时，其设备整体运行，耗时长，造成不必要的资源浪费。现有技术中另一种是通用切方机(单根切削和双根切)通用磨床与自动化物流技术组成的生产自动线，工作台是单机自带工作台，单独装夹；这样导致成本更高，且装夹误差大，硅料损耗、成品率低。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是克服上述
技术介绍
中的不足，提供一种用于硅棒切方/抛光用的随行夹具，该随行夹具装夹基准好、误差率低，同时减少硅料损耗，提高磨削效率，简化其他切方机、磨削机功能，降低生产成本。
[0004]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种用于硅棒切方/抛光用的随行夹具，包括随行夹具座体、定夹头座、动夹头座；随行夹具座体一端安设有定夹头座，定夹头座前端底部插设有浮动定夹头；浮动定夹头上端连接有动力对接齿盘A连接；随行夹具座体上安设有直线导轨A和T形丝杠，动夹头座通过直线导轨A和T形丝杠以及滑块与随行夹具座体活动连接；动夹头座的顶部安装浮动动夹头，动夹头座顶部侧面装设旋转夹紧气缸；气缸活塞杆前端与连接板连接，在随行夹具座体的一端安装有轴承座A，轴承座A内部装有轴承A，轴承A上穿设有夹紧对接轴；夹紧对接轴通过联轴器A与T形丝杠相连，轴承A相邻处安设气动钳制器。
[0005]进一步的，定夹头座与随行夹具座体的上部一侧固定连接；
[0006]进一步的，动力对接齿盘A与浮动定夹头连接后构成动力连接件，且动力连接件贯穿定夹头座前端设置；
[0007]进一步的，T形丝杠的两端分别安装在丝杠座A和丝杠座B上，丝杠座A和丝杠座B安装在随行夹具座体上。
[0008]进一步的，夹紧对接轴通过轴承座A与随行夹具座体连接，且夹紧对接轴设置在定夹头座一侧。夹紧对接轴上安装锁紧螺母A，用于锁紧轴承A；轴承A相邻处安设气动钳制器用于锁紧T形丝杠。
[0009]进一步的，动夹头座的顶部安装浮动动夹头，通过T形丝杠的旋转，使动夹头座移动，并夹紧单晶硅棒；旋转夹紧气缸用于加工时夹紧单晶硅棒的边皮。连接板设置在动夹头座的底部；连接板上安装有两个夹紧杆。
[0010]进一步的，随行夹具座体上还设有定位板，定位板上设有若干个销孔；且定位板设置在动夹头座的下方。
[0011]进一步的，随行夹具座体的侧面设有定位孔，用于与其他设备的定位销连接。其他设备可以为具有定位销的切方机、磨削机、剖光机等。
[0012]所述随行夹具还配设有PLC系统；气缸、气动钳制器、小型油缸、伺服电机分别与PLC系统相连接，上述均不限定具体型号，实现其工作功能即可。
[0013]本技术与现有技术相比具有的有益效果是：
[0014]本技术提供的一种用于硅棒切方/抛光用的随行夹具，该随行夹具装夹基准好、误差率低，同时减少硅料损耗，提高磨削效率，简化其他切方机、磨削机功能，降低生产成本。随行夹具可以自动夹紧直径200
‑
310mm，长度在700
‑
950mm的各种规格的晶棒。
附图说明
[0015]下面结合附图和实施例对本技术进一步说明：
[0016]图1是本技术一种用于硅棒切方/抛光用的随行夹具的立体图。
[0017]图2是本技术一种用于硅棒切方/抛光用的随行夹具的剖视图。
[0018]图3是实施例中的动力对接机构的立体图。
[0019]图4是实施例中的动力对接机构的剖视图。
[0020]图5是随行夹具与动力对接机构对接使用示意图。
[0021]图中1.随行夹具座体，2.直线导轨A，3.T形丝杠，4.动夹头座，5.浮动动夹头，6.夹紧杆，7.连接板，8.气缸，9.单晶硅棒，10.浮动定夹头，11.动力对接齿盘A，12.定夹头座，13.夹紧对接轴，14.气动钳制器，15.轴承A，16.轴承座A，17.锁紧螺母A，18.联轴器A，19.丝杠座A，20.定位孔，21.丝杠座B，22.动力对接齿盘B，23.解锁销，24.动力对接支座，25.直线导轨B，26.小型油缸，27.伺服电机，28.轴承座B，29.轴承B，30.压盖，31.锁紧螺母B，32.联轴器B，33.销轴，34.弹簧A，35.锁紧销，36.弹簧B。
具体实施方式
[0022]以下结合说明书附图，对本技术进一步说明，但本技术并不局限于以下实施例。实施例中涉及的其他设备包括但不限于切方机、抛光机、上/下料机、磨削机、AGV小车等，不用限制型号，实现其功能即可。实施例中涉及的机器人视觉上下料装置为申请人申请的CN216613042U专利所公开的结构。实施例中简写为视觉机器人。
[0023]实施例1
[0024]一种用于硅棒切方/抛光用的随行夹具，如图1
‑
2所示，包括随行夹具座体1、定夹头座12、动夹头座4；随行夹具座体1一端安设有定夹头座12，定夹头座12前端底部插设有浮动定夹头10；浮动定夹头10上端连接有动力对接齿盘A 11连接；随行夹具座体1上安设有直线导轨A 2和T形丝杠3，动夹头座4通过直线导轨A 2和T形丝杠3以及滑块与随行夹具座体1活动连接；动夹头座4的顶部安装浮动动夹头5，动夹头座4顶部侧面装设旋转夹紧气缸8；气缸8活塞杆前端与连接板7连接，在随行夹具座体1的一端安装有轴承座A 16，轴承座A 16内部装有轴承A 15，轴承A 15上穿设有夹紧对接轴13；夹紧对接轴13通过联轴器A 18与T形丝杠3相连，轴承A 15相邻处安设气动钳制器14。
[0025]进一步的，定夹头座12与随行夹具座体1的上部一侧固定连接；
[0026]进一步的，动力对接齿盘A 11与浮动定夹头10连接后构成动力连接件，且动力连接件贯穿定夹头座12前端设置；
[0027]进一步的，T形丝杠3的两端分别安装在丝杠座A 19和丝杠座B 21上，丝杠座A 19和丝杠座B 21安装在随行夹具座体1上。
[0028]进一步的，夹紧对接轴13通过轴承座A 16与随行夹具座体1连接，且夹紧对接轴13设置在定夹头座12一侧。夹紧对接轴13上安装锁紧螺母A 17，用于锁紧轴承A 15；轴承A 15相邻处安设气动钳制器14用于锁紧T形丝杠3。
[0029]进一步的，动夹头座4的顶部安装浮动动夹头5，通过T形丝杠3的旋转，使动夹头座4移动，并夹紧单晶硅棒9；旋转夹紧气缸8用于加工时夹紧单晶硅棒9的边皮。连接板7设置在动夹头座4的底本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于硅棒切方/抛光用的随行夹具，其特征是，包括随行夹具座体(1)、定夹头座(12)、动夹头座(4)；随行夹具座体(1)一端安设有定夹头座(12)，定夹头座(12)前端底部插设有浮动定夹头(10)；浮动定夹头(10)上端连接有动力对接齿盘A(11)连接；随行夹具座体(1)上安设有直线导轨A(2)和T形丝杠(3)，动夹头座(4)通过直线导轨A(2)和T形丝杠(3)以及滑块与随行夹具座体(1)活动连接；动夹头座(4)的顶部安装浮动动夹头(5)，动夹头座(4)顶部侧面装设旋转夹紧气缸(8)；气缸(8)活塞杆前端与连接板(7)连接，在随行夹具座体(1)的一端安装有轴承座A(16)，轴承座A(16)内部装有轴承A(15)，轴承A(15)上穿设有夹紧对接轴(13)；夹紧对接轴(13)通过联轴器A(18)与T形丝杠(3)相连，轴承A(15)相邻处安设气动钳制器(14)。2.如权利要求1所述的一种用于硅棒切方/抛光用的随行夹具，其特征是，T形丝杠(3)的两端分别安装在丝杠座A(19)和丝杠座B(21)上，丝杠座A(19)和...

【专利技术属性】
技术研发人员：李全普，郑家坤，杨真永，杨旭，
申请(专利权)人：连智大连智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：