一种硅片加工载具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种硅片加工载具，涉及硅片加工技术领域，具体包括工装底座，工装底座的上表面设有对硅片进行放置的放置槽，工作底座的上表面靠近放置槽处设有对硅片进行固定的固定组件，工装底座的两侧均开设有放取操作开口；该硅片加工载具，通过固定组件、抬升组件和放置槽等装置的设置，当工作人员需要使用硅片加工载具时，只需将硅片放入放置槽，在通过限制块对硅片进行定位，从而到达重复定位精准度高，减少操作步骤的效果，再通过固定组件对硅片进行固定，从而避免了传动的粘结固定，导致的操作较为繁琐，精度较低，较易产生外观问题，进而提高了工作人员的工作效率，继而达到了省时省力，方便快捷的效果。方便快捷的效果。方便快捷的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片加工载具


[0001]本技术涉及硅片加工
，具体为一种硅片加工载具。

技术介绍

[0002]微电子技术正在悄悄走进航空、航天、工业、农业和国防，也正在悄悄进入每一个家庭，用于硅片制作的芯片具有着超强的计算能力，硅片广泛应用于各个领域，而在硅片切分加工时通常需要借助载具对硅片进行加工。
[0003]硅片加工载具是一种常用的加工设备，但其在实际使用过程时，因加工时需要用一种粘性物质将硅片固定在基板上，导致操作较为繁琐，精准度较低，且容易产生大量的外观问题，在完成对硅片加工时，因采用的是粘结固定，导致不便于工作人员将加工完成的硅片取出较为耗时，从而影响工作人员的工作效率。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足，本技术提供了一种硅片加工载具，解决了上述
技术介绍
中提出的操作较为繁琐，精准度较低，不便拿取，容易产生外观问题，较为耗时，影响工作人员的工作效率的问题。
[0005]为实现以上目的，本技术提供的硅片加工载具，包括工装底座，所述工装底座的上表面设有对硅片进行放置的放置槽，所述工装底座的上表面靠近放置槽处设有对硅片进行固定的固定组件，所述工装底座的两侧均开设有放取操作开口，所述工装底座的内部设有对硅片进行顶起的抬升组件，所述工装底座上表面对应放置槽处固定连接有对硅片进行定位的限制块。
[0006]可选的，所述固定组件包括压块，所述压块的上表面开设有通槽，所述压块通过通槽套接有螺栓。
[0007]可选的，所述压块的数量为四个，四个所述压块呈对称分布于工装底座的上表面，所述工装底座上表面对应螺栓处均开设有与其相适配的螺纹孔。
[0008]可选的，所述抬升组件包括挡块，所述挡块的下表面固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆贯穿工装底座的上表面与固定块转动连接。
[0009]可选的，所述螺纹杆的表面套接有挡板，所述挡板的两侧均固定连接有滑块，所述工装底座内侧壁对应滑块处开设有与其相适配的滑槽。
[0010]可选的，所述挡板的上表面固定连接有顶块，所述顶块的上表面固定连接有对硅片进行保护的保护垫。
[0011]本技术提供的硅片加工载具，具备以下有益效果：
[0012]该硅片加工载具，通过固定组件、抬升组件和放置槽等装置的设置，当工作人员需要使用硅片加工载具时，只需将硅片放入放置槽，在通过限制块对硅片进行定位，从而到达重复定位精准度高，减少操作步骤的效果。
[0013]该硅片加工载具，还可通过固定组件对硅片进行固定，从而避免了传动的粘结固
定，导致的操作较为繁琐，精度较低，较易产生外观问题，进而提高了工作人员的工作效率，继而达到了省时省力，方便快捷的效果。
附图说明
[0014]为了更清楚地说明本技术的实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是示例性的，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图引申获得其他的实施附图。
[0015]图1为本技术结构第一形态示意图；
[0016]图2为本技术结构整体俯视示意图；
[0017]图3为本技术结构剖面示意图；
[0018]图4为本技术结构第二形态示意图。
[0019]图中：1、工装底座；2、放置槽；3、固定组件；301、压块；302、通槽；303、M6螺栓；4、操作开口；5、抬升组件；501、挡块；502、螺纹杆；503、挡板；504、滑块；505、滑槽；506、顶块；6、限制块。
具体实施方式
[0020]本说明书所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本技术可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本技术所揭示的
技术实现思路
的能涵盖的范围内。
[0021]参见图1与图2，本实例给出的硅片加工载具主要包括工装底座1、固定组件3、抬升组件5以及限制块6。
[0022]具体的，本实例方案在工装底座1的上表面设有对硅片进行放置的放置槽2，放置槽2的尺寸优选为12寸。
[0023]同时在工装底座1的上表面靠近放置槽2处设有对硅片进行固定的固定组件3。
[0024]本实例方案进一步在工装底座1的两侧均开设有放取操作开口4。
[0025]本实例方案进一步在工装底座1的内部设有对硅片进行顶起的抬升组件5。
[0026]本实例方案进一步在工装底座1上表面对应放置槽2处固定连接有对硅片进行定位的限制块6。
[0027]参见图1与图4，如此形成的硅片加工载具在应用时，当工作人员需要使用硅片加工载具时，只需要将硅片放入放置槽2，通过限制块6对硅片进行限位，从而到达重复定位精准度高，减少操作步骤的效果。
[0028]再通过固定组件3对硅片进行固定，从而避免了传动的粘结固定，导致的操作较为繁琐，精度较低，较易产生外观的问题，进而提高了工作人员的工作效率。
[0029]当对硅片加工完成时，只需要打开固定组件3对硅片的固定，在打开抬升组件5，使抬升组件5将硅片抬起，从而达到方便拿取，省时省力，方便快捷的效果。
[0030]以下具体说明一下本硅片加工载具的构成方案。
[0031]参见图3，本实例方案中采用的固定组件3包括压块301，压块301优选由特氟龙构成，压块301的上表面开设有通槽302，压块301通过通槽302套接有M6螺栓303。
[0032]作为优选，这里的压块301的数量为四个，四个压块301呈对称分布于工装底座1的上表面，工装底座1上表面对应M6螺栓303处均开设有与其相适配的螺纹孔，当需要对硅片进行固定时，只需要将硅片放入放置槽2内，在将压块301移动至指定位置对硅片进行固定再通过M6螺栓303对压块301进行固定，从而对硅片的多处进行固定，进而到达省时省力，方便快捷的效果。
[0033]参见图3，本实例方案中采用的抬升组件5包括挡块501，挡块501的下表面固定连接有螺纹杆502，螺纹杆502贯穿工装底座1的上表面与固定块转动连接，固定块的下表面与工装底座1的内底壁固定连接。
[0034]螺纹杆502的表面套接有挡板503，挡板503的两侧均固定连接有滑块504，工装底座1内侧壁对应滑块504处开设有与其相适配的滑槽505。
[0035]进一步的，本实例方案在挡板503的上表面固定连接有顶块506，顶块506的上表面固定连接有对硅片进行保护的保护垫。
[0036]如此，当工作人员对硅片加工完成时，只需要解除固定组件3对硅片的固定，再转动挡块501，挡块501带动螺纹杆502转动，使挡板503向上移动，同时带动滑块504在滑槽505内移动，挡板503向上移动带动顶块506向上移动，使顶块506将硅片本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片加工载具，包括工装底座(1)，其特征在于：所述工装底座(1)的上表面设有对硅片进行放置的放置槽(2)，所述工装底座(1)的上表面靠近放置槽(2)处设有对硅片进行固定的固定组件(3)，所述工装底座(1)的两侧均开设有放取操作开口(4)，所述工装底座(1)的内部设有对硅片进行顶起的抬升组件(5)，所述工装底座(1)上表面对应放置槽(2)处固定连接有对硅片进行定位的限制块(6)。2.根据权利要求1所述的一种硅片加工载具，其特征在于：所述固定组件(3)包括压块(301)，所述压块(301)的上表面开设有通槽(302)，所述压块(301)通过通槽(302)套接有螺栓(303)。3.根据权利要求2所述的一种硅片加工载具，其特征在于：所述压块(301)的数量为四个,四个所述压块(301)呈对称分布于工装底...

【专利技术属性】
技术研发人员：周荣华，杨战营，
申请(专利权)人：上海圣永丞半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：