硅片脱胶与插片一体机制造技术

本发明专利技术公开一种硅片脱胶与插片一体机，包括：脱胶装置；插片装置；花篮，包括主体和两夹持杆，主体包括料框和设于料框两端的连接板，料框有容纳腔，至少一连接板设供插片装置的吸水板进入容纳腔吸取硅片的出料口，两连接板均有沿料框宽度方向延伸的活动通道，两夹持杆设于容纳腔内且两端设于活动通道内，两夹持杆同一端用拉伸弹簧连接以使二者距离可调，夹持杆两端各通过一驱动板与连接板连接，驱动板有分别沿料框深度和宽度方向延伸的容纳槽和长条孔，夹持杆两端位于容纳槽内，驱动板经长条孔与连接板活动连接，夹持杆包括与主体连接的刚性件和套于其外壁的弹性件；传送机构。本方案可提高生产效率、降低生产不良率，避免人员在恶劣环境中作业。恶劣环境中作业。恶劣环境中作业。

【技术实现步骤摘要】
硅片脱胶与插片一体机


[0001]本专利技术涉及硅片制造
，具体的是一种硅片脱胶与插片一体机。

技术介绍

[0002]光伏或半导体硅片通常由切片机将粘在晶托上的硅棒切割而成，硅棒被切片成硅片后，硅片仍粘在晶托上，需将晶托及其上的硅片一同放入脱胶机内进行脱胶处理，方能使硅片与晶托分离。为避免脱胶后的硅片因失去支撑而出现倒塌、受损现象，通常，先将晶托和硅片放入脱胶用花篮（以下简称脱胶花篮）中，再将脱胶花篮、晶托和硅片一同放入脱胶机内。待硅片脱胶后，再由人员手动将脱胶花篮中的硅片转移至适用于插片机的花篮（以下简称插片花篮）上，然后将插片花篮及其内的硅片放入插片机中进行插片作业。
[0003]由于现有的脱胶花篮不能直接用于插片机内的插片作业，需要先将脱胶花篮从脱胶机的水槽内取出，由人员手动将硅片从脱胶花篮转移至插片花篮中，再将装有硅片的插片花篮放入插片机内进行插片作业。在转移过程中，硅片容易出现破裂而导致成品率不高，再加上该工作的作业环境恶劣、对人体具有伤害，导致该岗位人员流失率较大。本领域技术人员持续致力于解决上述问题。

技术实现思路

[0004]为了克服现有技术中的缺陷，本专利技术实施例提供了一种硅片脱胶与插片一体机，其用于解决上述问题。
[0005]本申请实施例公开了：一种硅片脱胶与插片一体机，包括：脱胶装置，用于对晶托和硅片进行脱胶；插片装置，用于对脱胶后的硅片进行插片；花篮，用于在硅片的脱胶和插片过程中对硅片进行承载，所述花篮包括主体和两个夹持杆，所述主体具有用于容置所述硅片的容纳腔和用于供插片装置的吸水板进入所述容纳腔内以吸取所述硅片的出料口，两个所述夹持杆设置于所述容纳腔内以夹持所述硅片，两个所述夹持杆弹性连接，至少一个所述夹持杆与所述主体能活动地连接，从而使得两个所述夹持杆之间的距离可调，所述夹持杆包括用于与所述主体连接的刚性件和套设于所述刚性件外壁的弹性件；传送机构，用于将所述花篮从所述脱胶装置传送至所述插片装置内。
[0006]具体地，所述主体包括料框和设置于所述料框长度方向两端的连接板，至少一个所述连接板上设有所述出料口。
[0007]具体地，两个所述连接板上分别设有沿所述料框的宽度方向延伸的活动通道，所述夹持杆的两端分别设置于所述活动通道内，两个所述夹持杆的同一端通过拉伸弹簧连接。
[0008]具体地，所述夹持杆的两端分别通过一个驱动板与所述连接板连接，所述驱动板设有沿所述料框的深度方向延伸的容纳槽和沿所述料框的宽度方向延伸的长条孔，所述夹
持杆的两端分别位于所述容纳槽内，所述驱动板通过所述长条孔与所述连接板能活动地连接。
[0009]具体地，同一所述连接板上设有两个所述驱动板，位于同一所述连接板上的两个驱动板通过拉伸弹簧连接。
[0010]具体地，所述驱动板靠近所述料框底部的一端具有斜壁面，所述斜壁面位于所述驱动板朝向另一个驱动板的一侧。
[0011]具体地，所述弹性件的外壁上还套设有硅胶管。
[0012]具体地，所述容纳腔内设有用于对所述硅片进行定位的定位件，所述定位件位于所述主体背离所述出料口的一端。
[0013]具体地，所述料框的底部设有用于对所述硅片进行承载的支撑杆，所述支撑杆的位置沿所述料框的深度方向可调。
[0014]具体地，所述传送机构包括设置于所述脱胶装置和所述插片装置之间的导轨、能滑动地连接于所述导轨上的移动框、用于驱动所述移动框沿所述导轨滑动的驱动单元以及用于将所述花篮从所述脱胶装置取出并放置于所述移动框内的搬运机械臂。
[0015]本专利技术至少具有如下有益效果：1.与传统的脱胶花篮和插片花篮不通用的技术相比，本实施例的花篮通过在主体上设有用于供插片装置的吸水板进入容纳腔中以吸取硅片的出料口、将夹持杆设计成包括与主体连接的刚性件和套设于刚性件外壁的弹性件的方式，可以实现本花篮通用于脱胶装置和插片装置，无需人员手动将脱胶后的硅片转移至传统的插片花篮中，因此，本实施例可将脱胶装置、插片装置和传送机构设置于相对封闭的空间内以形成一完全自动化的一体设备，既提高了生产效率、降低因转移过程出现硅片破损而导致的生产不良率，也避免了人员在恶劣环境中作业而导致身体受到伤害。
[0016]2.本实施例的花篮，结构简单，配以一些辅助的工装，很容易实现自动化生产，可进一步提高生产效率、节约人工成本。
[0017]为让本专利技术的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1是本专利技术实施例中硅片脱胶与插片一体机的结构示意图；图2是本专利技术实施例中花篮在第一视角下的结构示意图；图3是本专利技术实施例中花篮在第二视角下的结构示意图；图4是本专利技术实施例中吸水板与滚轮连接的结构示意图；图5是本专利技术实施例中料框一端连接板的结构示意图；图6是本专利技术实施例中料框另一端连接板的结构示意图；图7是本专利技术实施例中驱动板的结构示意图；
图8是本专利技术实施例中夹持杆的结构示意图。
[0020]以上附图的附图标记：1、花篮；11、料框；111、支撑杆；12、连接板；121、出料口；122、活动通道；2、夹持杆；21、刚性件；22、弹性件；23、硅胶管；3、拉伸弹簧；4、驱动板；41、容纳槽；42、长条孔；43、斜壁面；5、定位件；6、滚轮；100、晶托；200、硅片；30、插片装置；300、吸水板；410、导轨；420、移动框。
具体实施方式
[0021]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0022]结合图1至图3所示，本实施例的硅片脱胶与插片一体机主要包括脱胶装置（未图示）、插片装置30、花篮1和传送机构。其中，脱胶装置可大体上设置于传送机构背离插片装置30的一端，其用于对晶托100和硅片200进行脱胶；插片装置30用于对脱胶后的硅片200进行插片；花篮1用于在硅片200的脱胶和插片过程中对硅片200进行承载；传送机构用于将花篮1从脱胶装置传送至插片装置30内。具体来说，切割后的硅片200连同晶托100一起放入花篮1内，随后硅片200被放入脱胶装置内进行脱胶处理，待脱胶结束后，晶托100与硅片200分离，花篮1及其上的硅片200可直接通过传送机构被放入插片装置30内进行硅片200的插片处理。如此，无需人员手动将脱胶后的硅片200转移至传统的插片花篮中，既提高了生产效率、降低因转移过程出现硅片200破损而导致的生产不良率本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片脱胶与插片一体机，其特征在于，包括：脱胶装置，用于对晶托和硅片进行脱胶；插片装置，用于对脱胶后的硅片进行插片；花篮，用于在硅片的脱胶和插片过程中对硅片进行承载，所述花篮包括主体和两个夹持杆，所述主体包括料框和设置于所述料框长度方向两端的连接板，所述料框具有用于容置所述硅片的容纳腔，至少一个所述连接板上设有用于供插片装置的吸水板进入所述容纳腔内以吸取所述硅片的出料口，两个所述连接板上分别设有沿所述料框的宽度方向延伸的活动通道，两个所述夹持杆设置于所述容纳腔内以夹持所述硅片，且所述夹持杆的两端分别设置于所述活动通道内，两个所述夹持杆的同一端通过拉伸弹簧连接，从而使得两个所述夹持杆之间的距离可调，所述夹持杆的两端分别通过一个驱动板与所述连接板连接，所述驱动板设有沿所述料框的深度方向延伸的容纳槽和沿所述料框的宽度方向延伸的长条孔，所述夹持杆的两端分别位于所述容纳槽内，所述驱动板通过所述长条孔与所述连接板能活动地连接，所述夹持杆包括用于与所述主体连接的刚性件和套设于所述刚性件外壁的弹性件；传送机构，用于将所述花篮从所述脱胶装置传送至所述插片装置内。...

【专利技术属性】
技术研发人员：殷志江，冯华，
申请(专利权)人：釜川无锡智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：