System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 刻蚀清洗机优化烘干系统装置制造方法及图纸_技高网

刻蚀清洗机优化烘干系统装置制造方法及图纸

技术编号:39999999 阅读:8 留言:0更新日期:2024-01-09 03:17
本发明专利技术公开了一种刻蚀清洗机优化烘干系统装置,包括装设于所述机架上的热风发生机构;与热风发生机构连通的管路组件;设于相邻的上滚筒组件之间位置的上风盒组件、设于相邻的所述下滚筒组件之间位置的下风盒组件;所述上风盒组件和所述下风盒组件分别连通管路组件,且所述上风盒组件和所述下风盒组件一一对应。本发明专利技术的热风是经过静电吸尘和滤袋过滤两重过滤,保证热风是清洁的空气,使得整个环境是干净的,保证硅片的表面洁净,从而实现硅片经滚筒运输出刻蚀清洗设备后表面干燥清洁,方便硅片后续操作处理。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光伏自动化设备,特别是涉及一种刻蚀清洗机优化烘干系统装置


技术介绍

1、hit太阳能光伏电池是以光照射侧的p/i型a‑si膜和背面侧的i/n型a‑si膜夹住单结晶硅片来构成的。hit太阳能光伏电池基板以硅基板为主,在硅基板上沉积高能隙的硅纳米薄膜,表层再沉积透明导电膜,背面设有背表面电场。通过优化硅的表面结构,可以降低透明导电氧化层和a‑si层的光学吸收损耗。

2、电池的硅片在清洗的最后一道工艺会采用“冷水脱水”的方法以使得电池片拥有更好的电性能,因此,硅片由滚筒运输经过刻蚀清洗设备前道工序水洗时会有大量的冷水被带入设备内,影响设备正常运行,且容易影响硅片的生产质量。

3、由此可见,硅片的干燥和清洁是一个重要的因素。

4、本专利技术提供了一种刻蚀清洗机优化烘干系统装置,具有热风过滤,并且便于调整出风方向的特点。


技术实现思路

1、为了解决上述问题,本专利技术的目的是提供了一种刻蚀清洗机优化烘干系统装置,解决了上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为了实现上述目的,本专利技术采用如下技术方案:

3、刻蚀清洗机优化烘干系统装置,布设于刻蚀清洗机上,所述刻蚀清洗机包括机架以及设于机架上的多个上滚筒组件和多个下滚筒组件,生产用的硅片在所述上滚筒组件和所述下滚筒组件之间运动;优化烘干装置包括:装设于所述机架上的热风发生机构;与热风发生机构连通的管路组件;设于相邻的上滚筒组件之间位置的上风盒组件、设于相邻的所述下滚筒组件之间位置的下风盒组件;所述上风盒组件和所述下风盒组件分别连通管路组件,且所述上风盒组件和所述下风盒组件一一对应。

4、进一步的改进技术方案,所述热风发生机构包括空气过滤器、以及与空气过滤器连通的风机,所述空气过滤器内设有加热丝;所述风机连通管路组件。

5、进一步的改进技术方案,所述空气过滤器包括外壳以及设于外壳内部的过滤组件;所述外壳的一侧设有进风口,另一侧设有出风口;所述进风口内侧的外壳内设有加热丝,所述加热丝连接外部市电;所述过滤组件连通在所述进风口和所述出风口之间;所述过滤组件包括相互连通的静电除尘机构和滤袋除尘机构。

6、进一步的改进技术方案,所述静电除尘机构包括平行安装在外壳内的多个集尘电极和多个电晕电极;所述集尘电极和电晕电极电连接有外部电源;所述外部电源包括控制箱、升压变压器和整流器;所述外部市电连接升压变压器;所述控制箱内安装有电压表和刀闸开关;所述外壳上设有第一除灰料斗,所述第一除灰料斗位于静电除尘机构的正下方;所述滤袋除尘机构为设于所述外壳内的滤袋;所述滤袋的一端与出风口连通;所述外壳上设有第二除灰料斗,所述第二除灰料斗位于滤袋的正下方。

7、进一步的改进技术方案,所述管路组件包括与风机连通的进风管,所述进风管的内侧端部连通有多个风阀,每一个所述风阀连通有分进风管;一个所述分进风管连通一个所述上风盒组件和一个所述下风盒组件。

8、进一步的改进技术方案,所述上风盒组件包括安装在机架内且位于相邻上滚筒组件之间上方的上风盒,所述上风盒连通分进风管;所述上风盒的下端设有多个上进风管管头;所述上风盒的下部安装有安装架,所述安装架上安装有上风刀;所述上风刀的内部设有上通风流道;所述上风刀的下部安装有上出风组件。

9、进一步的改进技术方案,所述上进风管管头的数目为两个,按照热风流动的方向,分别为第一上进风管管头和第二上进风管管头;所述第一上进风管管头的侧面设有多个第一侧出风孔,所述第二上进风管管头的侧面设有多个第二侧出风孔;所述第一上进风管管头上的第一侧出风孔数量多于所述第二上进风管管头上的第二侧出风孔;所述第一侧出风孔的孔径大于所述第二侧出风孔的孔径。

10、进一步的改进技术方案,所述上出风组件包括设于所述上风刀下部的上卡槽,所述上通风流道与所述上卡槽连通;所述上卡槽的侧壁上设有上凸起;所述上卡槽内滑动安装有上出风块,所述上出风块的两侧分别设有对应上凸起的上滑槽;所述上出风块内设有多个平行设计的上斜向流道;所述上斜向流道的倾斜方向朝向硅片的运动的反方向且所述上斜向流道的出口在硅片的上方。

11、进一步的改进技术方案,所述下风盒组件包括安装在机架内且位于相邻下滚筒组件之间下方的上风盒,所述下风盒的上部设有安装架,所述安装架上安装有下风刀;所述下风刀的内部设有下通风流道;所述下风刀的上部安装有下出风组件。

12、进一步的改进技术方案,所述下出风组件包括设于所述下风刀下部的下卡槽,所述下通风流道与所述下卡槽连通;所述下卡槽的侧壁上设有下凸起;所述下卡槽内滑动安装有下出风块,所述下出风块的两侧分别设有对应下凸起的下滑槽;所述下出风块内设有多个平行设计的下斜向流道;所述下斜向流道的倾斜方向朝向硅片的运动的反方向且所述下斜向流道的出口在硅片的下方。

13、与现有技术相比,本专利技术实现的有益效果:

14、本专利技术的热风从第一风管和第二风管进入上风刀和下风刀内,通过上风刀和下风刀斜吹向硅片。当硅片经过时,硅片上残留的水在热风的作用下向硅片主体移动的反方向移动,同时两个上进风管管头也吹出热风,整体热量足够,使得残留的水在3-5秒时间内蒸发掉,无残留的水在硅片表面,达到硅片被吹干的效果,便于满足硅片主体表面干燥无水渍的工艺需求。

15、热风是经过静电吸尘和滤袋过滤两重过滤,保证热风是清洁的空气,使得整个环境是干净的,保证硅片的表面洁净,从而实现硅片经滚筒运输出刻蚀清洗设备后表面干燥清洁,方便硅片后续操作处理。

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【技术保护点】

1.刻蚀清洗机优化烘干系统装置,布设于刻蚀清洗机上,所述刻蚀清洗机包括机架以及设于机架上的多个上滚筒组件和多个下滚筒组件,生产用的硅片在所述上滚筒组件和所述下滚筒组件之间运动;

2.根据权利要求1所述的刻蚀清洗机优化烘干系统装置,其特征在于,所述热风发生机构包括空气过滤器、以及与空气过滤器连通的风机,所述空气过滤器内设有加热丝;所述风机连通管路组件。

3.根据权利要求2所述的刻蚀清洗机优化烘干系统装置,其特征在于,所述空气过滤器包括外壳以及设于外壳内部的过滤组件;所述外壳的一侧设有进风口,另一侧设有出风口;所述进风口内侧的外壳内设有加热丝,所述加热丝连接外部市电;所述过滤组件连通在所述进风口和所述出风口之间;所述过滤组件包括相互连通的静电除尘机构和滤袋除尘机构。

4.根据权利要求3所述的刻蚀清洗机优化烘干系统装置,其特征在于,所述静电除尘机构包括平行安装在外壳内的多个集尘电极和多个电晕电极;所述集尘电极和电晕电极电连接有外部电源;所述外部电源包括控制箱、升压变压器和整流器;所述外部市电连接升压变压器;所述控制箱内安装有电压表和刀闸开关;所述外壳上设有第一除灰料斗,所述第一除灰料斗位于静电除尘机构的正下方;所述滤袋除尘机构为设于所述外壳内的滤袋;所述滤袋的一端与出风口连通;所述外壳上设有第二除灰料斗,所述第二除灰料斗位于滤袋的正下方。

5.根据权利要求4所述的刻蚀清洗机优化烘干系统装置,其特征在于,所述管路组件包括与风机连通的进风管,所述进风管的内侧端部连通有多个风阀,每一个所述风阀连通有分进风管;一个所述分进风管连通一个所述上风盒组件和一个所述下风盒组件。

6.根据权利要求5所述的刻蚀清洗机优化烘干系统装置,其特征在于,所述上风盒组件包括安装在机架内且位于相邻上滚筒组件之间上方的上风盒,所述上风盒连通分进风管;所述上风盒的下端设有多个上进风管管头;所述上风盒的下部安装有安装架,所述安装架上安装有上风刀;所述上风刀的内部设有上通风流道;所述上风刀的下部安装有上出风组件。

7.根据权利要求6所述的刻蚀清洗机优化烘干系统装置,其特征在于,所述上进风管管头的数目为两个,按照热风流动的方向,分别为第一上进风管管头和第二上进风管管头;所述第一上进风管管头的侧面设有多个第一侧出风孔,所述第二上进风管管头的侧面设有多个第二侧出风孔;所述第一上进风管管头上的第一侧出风孔数量多于所述第二上进风管管头上的第二侧出风孔;所述第一侧出风孔的孔径大于所述第二侧出风孔的孔径。

8.根据权利要求7所述的刻蚀清洗机优化烘干系统装置,其特征在于,所述上出风组件包括设于所述上风刀下部的上卡槽,所述上通风流道与所述上卡槽连通;所述上卡槽的侧壁上设有上凸起;所述上卡槽内滑动安装有上出风块,所述上出风块的两侧分别设有对应上凸起的上滑槽;所述上出风块内设有多个平行设计的上斜向流道;所述上斜向流道的倾斜方向朝向硅片的运动的反方向且所述上斜向流道的出口在硅片的上方。

9.根据权利要求5所述的刻蚀清洗机优化烘干系统装置,其特征在于,所述下风盒组件包括安装在机架内且位于相邻下滚筒组件之间下方的上风盒,所述下风盒的上部设有安装架,所述安装架上安装有下风刀;所述下风刀的内部设有下通风流道;所述下风刀的上部安装有下出风组件。

10.根据权利要求9所述的刻蚀清洗机优化烘干系统装置,其特征在于,所述下出风组件包括设于所述下风刀下部的下卡槽,所述下通风流道与所述下卡槽连通;所述下卡槽的侧壁上设有下凸起;所述下卡槽内滑动安装有下出风块,所述下出风块的两侧分别设有对应下凸起的下滑槽;所述下出风块内设有多个平行设计的下斜向流道;所述下斜向流道的倾斜方向朝向硅片的运动的反方向且所述下斜向流道的出口在硅片的下方。

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【技术特征摘要】

1.刻蚀清洗机优化烘干系统装置,布设于刻蚀清洗机上,所述刻蚀清洗机包括机架以及设于机架上的多个上滚筒组件和多个下滚筒组件,生产用的硅片在所述上滚筒组件和所述下滚筒组件之间运动;

2.根据权利要求1所述的刻蚀清洗机优化烘干系统装置,其特征在于,所述热风发生机构包括空气过滤器、以及与空气过滤器连通的风机,所述空气过滤器内设有加热丝;所述风机连通管路组件。

3.根据权利要求2所述的刻蚀清洗机优化烘干系统装置,其特征在于,所述空气过滤器包括外壳以及设于外壳内部的过滤组件;所述外壳的一侧设有进风口,另一侧设有出风口;所述进风口内侧的外壳内设有加热丝,所述加热丝连接外部市电;所述过滤组件连通在所述进风口和所述出风口之间;所述过滤组件包括相互连通的静电除尘机构和滤袋除尘机构。

4.根据权利要求3所述的刻蚀清洗机优化烘干系统装置,其特征在于,所述静电除尘机构包括平行安装在外壳内的多个集尘电极和多个电晕电极;所述集尘电极和电晕电极电连接有外部电源;所述外部电源包括控制箱、升压变压器和整流器;所述外部市电连接升压变压器;所述控制箱内安装有电压表和刀闸开关;所述外壳上设有第一除灰料斗,所述第一除灰料斗位于静电除尘机构的正下方;所述滤袋除尘机构为设于所述外壳内的滤袋;所述滤袋的一端与出风口连通;所述外壳上设有第二除灰料斗,所述第二除灰料斗位于滤袋的正下方。

5.根据权利要求4所述的刻蚀清洗机优化烘干系统装置,其特征在于,所述管路组件包括与风机连通的进风管,所述进风管的内侧端部连通有多个风阀,每一个所述风阀连通有分进风管;一个所述分进风管连通一个所述上风盒组件和一个所述下风盒组件。

6.根据权利要求5所述的刻蚀清洗机优化烘干系统装置,其特征在于,所述上风盒组件包括安装在机架内且位于相邻上滚筒组件之间上方的上风盒,所述上风盒连通分进风管;所述上...

【专利技术属性】
技术研发人员:冯华鱼科军代聪
申请(专利权)人:釜川无锡智能科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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