一种真空烘干槽的密封机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空烘干槽的密封机构，属于硅片烘干设备技术领域，其包括开设有槽口的槽体；一面与槽口无缝连接，另一面设置唇形密封圈的密封条压板；盖合槽口以配合槽体形成内腔的槽内盖，槽内盖外周设置配合密封条压板以密封内腔的槽盖密封板；槽盖支架；驱动槽内盖支架牵拉槽盖相对槽口沿竖直方向和水平方向移动的动力组件；以及一端连接槽盖支架，另一端连接槽盖密封板的若干弹性预压组件。本技术方案提高烘干槽密封性能，进而提高硅片烘干效率。硅片烘干效率。硅片烘干效率。

【技术实现步骤摘要】
一种真空烘干槽的密封机构


[0001]本技术属于硅片烘干设备
，具体涉及一种真空烘干槽的密封机构。

技术介绍

[0002]在硅片烘干工艺中，需要将装有硅料的转篮筒放入烘干槽中，烘干槽盖上槽盖，再对烘干槽槽内空腔抽真空，进行烘干。具体是在槽口盖合尺寸大于或等于槽口口径的盖体，利用机械臂将其移动至槽口或移出槽口，机械臂移动后再次盖合槽体的槽盖存在偏差的概率增大，随着移动次数的增多，槽盖和槽体在相互闭合因对位不精准，产生缝隙，并且槽盖和槽体之间盖合时需要缓慢移动直至闭合，若快速移动闭合，则两者之间存在撞击，槽盖因撞击产生形变，也会产生缝隙，上述两种情况都会使得烘干槽密封效果降低，槽内腔抽真空效率降低，真空度不能保持，槽内的硅料得不到充分烘干，还会会出现二次烘干的问题。

技术实现思路

[0003]为了解决上述技术问题，本技术的技术方案是：一种真空烘干槽的密封机构，包括开设有槽口的槽体；
[0004]一面与槽口无缝连接，另一面设置唇形密封圈的密封条压板；
[0005]盖合槽口以配合槽体形成内腔的槽内盖，槽内盖外周设置配合本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空烘干槽的密封机构，其特征在于，包括开设有槽口的槽体；一面与槽口无缝连接，另一面设置唇形密封圈的密封条压板；盖合槽口以配合槽体形成内腔的槽内盖，槽内盖外周设置配合密封条压板以密封内腔的槽盖密封板；槽盖支架；驱动槽内盖支架牵拉槽盖相对槽口沿竖直方向和水平方向移动的动力组件；以及一端连接槽盖支架，另一端连接槽盖密封板的若干弹性预压组件。2.如权利要求1所述的真空烘干槽的密封机构，其特征在于，还包括连通内腔的抽真空装置。3.如权利要求1所述的真空烘干槽的密封机构，其特征在于，所述槽盖支架包括相对槽体固定的外支架、连接若干弹性预压组件的内支架以及若干驱动外支架和内支架相对移动的升降气缸，内支架包括若干纵横交错的支撑架。4.如权利要求3所述的真空烘干槽的密封机构，其特征在于，所述支撑架包括第一横梁、第二横梁以及垂直第一横梁和第二横梁设置的第一纵梁、第二纵梁、第三纵梁和第四纵梁，第二纵梁和第三纵梁上设置有升降气缸，第一横梁、第...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵珀，冯华，
申请(专利权)人：釜川无锡智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：