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本实用新型公开了一种真空烘干槽的密封机构，属于硅片烘干设备技术领域，其包括开设有槽口的槽体；一面与槽口无缝连接，另一面设置唇形密封圈的密封条压板；盖合槽口以配合槽体形成内腔的槽内盖，槽内盖外周设置配合密封条压板以密封内腔的槽盖密封板；槽盖支...
该专利属于釜川（无锡）智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过釜川（无锡）智能科技有限公司授权不得商用。

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