一种离子溅射镀膜机专用复合旋转机架及其使用方法技术

本发明专利技术公开了一种离子溅射镀膜机专用复合旋转机架及其使用方法，涉及离子束溅射镀膜机技术领域，解决了离子束溅射镀膜机在进行使用时将产品放置在设备内部的旋转机架上，但设备内部的旋转支架只能围绕其轴线旋转，产品无法进行转动，导致产品在镀膜时表面原料分布不均匀，影响产品的合格率，且上层产品表面滴落的原料容易污染下层产品表面，导致不同层次的产品表面镀层的厚度不一致等的问题。一种离子溅射镀膜机专用复合旋转机架及其使用方法，包括镀膜机镀膜箱，所述镀膜机镀膜箱的前方旋转设置有旋转密封舱门。本发明专利技术可以保证产品在离子溅射镀膜时表面镀膜均匀，有效的降低次品率并提高产品质量。并提高产品质量。并提高产品质量。

【技术实现步骤摘要】
一种离子溅射镀膜机专用复合旋转机架及其使用方法


[0001]本专利技术涉及离子束溅射镀膜机领域，具体为一种离子溅射镀膜机专用复合旋转机架及其使用方法。

技术介绍

[0002]镀膜是在表面镀上非常薄的金属薄膜，目的是希望增强基体的硬度、耐磨性和耐腐蚀性。
[0003]镀膜机是对产品表面进行自动化镀膜操作的一种机械设备，相较于人工而言，镀膜机操作时间快、工作效率高，离子束溅射镀膜机属于镀膜机的一种，是用于物理学领域的工艺试验仪器。
[0004]但是，现有的离子束溅射镀膜机在进行使用时将产品放置在设备内部的旋转机架上，但设备内部的旋转支架只能围绕其轴线旋转，产品无法进行转动，导致产品在镀膜时表面原料分布不均匀，影响产品的合格率，且上层产品表面低落的原料容易污染下层产品表面，导致不用层次的产品表面镀层的厚度不一致等；因此，不满足现有的需求，对此我们提出了一种离子溅射镀膜机专用复合旋转机架及其使用方法。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种离子溅射镀膜机专用复合旋转机架及其使用方法，以解决上述
技术介绍
中提出的现有的离子束溅射镀膜机在进行使用时将产品放置在设备内部的旋转机架上，但设备内部的旋转支架只能围绕其轴线旋转，产品无法进行转动，导致产品在镀膜时表面原料分布不均匀，影响产品的合格率，且上层产品表面低落的原料容易污染下层产品表面，导致不用层次的产品表面镀层的厚度不一致等问题。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种离子溅射镀膜机专用复合旋转机架，包括镀膜机镀膜箱，所述镀膜机镀膜箱的前方旋转设置有旋转密封舱门，所述镀膜机镀膜箱的中间设置有立式旋转支撑轴杆，所述立式旋转支撑轴杆的底端插接在镀膜机镀膜箱的底端内部并通过电机驱动，所述立式旋转支撑轴杆的外表面固定设置有旋转支撑杆，所述旋转支撑杆的另一端设置有旋转镀膜机构；
[0007]所述旋转镀膜机构包括固定外环，所述固定外环与镀膜机镀膜箱的内壁中间固定设置有固定连接杆，所述固定外环的内壁上固定设置有齿轮环，所述齿轮环的内侧设置有旋转内环，所述旋转支撑杆远离立式旋转支撑轴杆的端部与旋转内环的内壁固定连接，所述旋转连接轴的底部外边缘设置有U形卡接槽，所述U形卡接槽的内部卡接有轴承，所述轴承的中间贯穿设置还有旋转连接轴，所述旋转连接轴的顶端外侧设置有旋转齿轮，所述旋转齿轮与齿轮环啮合且其下方设置有悬挂板，所述悬挂板固定在旋转连接轴的外表面且底面镶嵌设置有滚珠；
[0008]所述旋转连接轴的下方设置有调节悬挂机构，所述调节悬挂机构包括悬挂连接块，所述悬挂连接块固定在旋转连接轴的底端，所述悬挂连接块的外表面设置有四个对称
分布的侧边支杆，所述侧边支杆远离悬挂连接块的端部贯穿滑动设置有调节支杆，所述侧边支杆的内壁上设置有调节卡槽，所述调节支杆位于侧边支杆内部的端部两侧均设置有调节限位块，所述调节限位块的一端卡接在调节卡槽内侧另一端位于调节支杆内部，两个所述调节限位块的中间设置有调节弹簧，所述调节支杆的外端下方设置有旋转转轴，所述旋转转轴的下方设置有挂钩。
[0009]优选的，所述固定外环的上表面设置有滴落物接受装置，所述滴落物接受装置包括固定块，所述固定块固定在固定外环的上表面且内部设置有升降电机，所述升降电机的端部设置有升降齿轮，所述升降齿轮的一侧设置有和其啮合的螺杆齿轮，所述螺杆齿轮的中间贯穿设置有升降螺杆，所述升降螺杆的顶端外侧设置有方形升降套管，所述方形升降套管的顶端贯穿固定块的上表面且与固定块滑动连接。
[0010]优选的，所述方形升降套管的顶端固定设置有滴落物收集盆，所述滴落物收集盆的外表面设置有排出管，所述滴落物收集盆的内侧底面且倾斜状态且位于排出管处的边缘处于最低点。
[0011]优选的，所述方形升降套管的底端设置有插接孔，所述固定块的顶端插接在插接孔中，所述插接孔的内壁上设置有与固定块外表面旋向相同且啮合的螺纹，所述固定块与方形升降套管通过螺纹传动。
[0012]优选的，所述调节支杆的底面设置有限位滑槽，所述侧边支杆远离悬挂连接块的端部底面贯穿设置有限位插接槽。
[0013]优选的，所述限位插接槽的下方设置有L形限位板，所述L形限位板的一端从限位插接槽中穿过并插接在限位滑槽内侧，所述L形限位板的另一端贴合侧边支杆的底面并与侧边支杆通过螺钉连接。
[0014]优选的，所述旋转转轴的上下端与调节支杆和挂钩均旋转活动连接，所述挂钩和旋转转轴均可以围绕旋转转轴的轴线轻易旋转。
[0015]一种离子溅射镀膜机专用复合旋转机架的使用方法，所述使用方法包括以下步骤：
[0016](A)首先工作人员将待进行镀膜处理的产品悬挂在挂钩上，在悬挂产品时需要根据产品的粗度、宽度考虑是否需要将调节支杆从侧边支杆的内部拉出，以改变挂钩与和相邻的挂钩之间的间距，以便产品在镀膜并旋转时不会相互接触，然后将所有的产品悬挂在镀膜机内部，并将旋转密封舱门进行旋转封闭；
[0017](B)接通镀膜机电源对产品进行镀膜处理，在镀膜处理时可以通过立式旋转支撑轴杆连接的电机驱动立式旋转支撑轴杆匀速进行旋转，此时立式旋转支撑轴杆会带动旋转支撑杆旋转而使得旋转支撑杆带动旋转内环随着立式旋转支撑轴杆同步进行旋转，由于立式旋转支撑轴杆的启动带动旋转内环围绕立式旋转支撑轴杆的轴线转动会使得原先悬挂且处于静止状态的产品因为旋转内环启动的惯性而出现摆动，此时由于旋转转轴的两端均可以旋转，导致产品会围绕旋转转轴的轴线出现自转；
[0018](C)同时旋转内环围绕立式旋转支撑轴杆轴线进行旋转时会带动旋转连接轴围绕立式旋转支撑轴杆的轴线同步旋转，此时旋转连接轴会带动旋转齿轮贴合齿轮环的内壁围绕立式旋转支撑轴杆的轴线同步做圆周运动，由于齿轮环和旋转齿轮相互啮合，此时旋转齿轮会贴合齿轮环的内壁座圆周运动并围绕旋转连接轴的轴线进行旋转，此时旋转连接轴
会带动悬挂连接块和四个侧边支杆同步围绕旋转连接轴的轴线旋转，使得自转中的产品同步围绕立式旋转支撑轴杆的轴线做圆周运动；
[0019](D)做圆周运动并进行自转的产品在镀膜时，其表面附着的镀膜原料会进行均匀分布，保证产品表面镀膜后表面膜的各部分厚度一致，保证产质量，在产品镀膜的过程中会有多余的镀膜原料顺着产品的表面向下滑落；
[0020](E)从产品表面滑落的镀膜原料会落在位于产品正下方的滴落物收集盆的内部，并在滴落物收集盆的内部进行收集并向排出管方向流动并堆积在排出管处，在对于不同悬挂长度的产品进行镀膜操作时，可以接通升降电机的电源并启动；
[0021](F)通过升降电机启动后驱动升降齿轮和螺杆齿轮旋转，使得升降螺杆围绕其轴线进行自转，此时升降螺杆会通过和方形升降套管之间的螺纹传动，使得方形升降套管从固定块的内部进行升起或下降，有效的调节滴落物收集盆与产品底端之间的间距，保证产品上滴落的原料落在滴落物收集盆中不会溅射处滴落物收集盆的上端边缘。
[0022]优选的，所述滴落物收集盆上端的开口处直径尺寸大于位于其上方被悬挂在挂钩本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种离子溅射镀膜机专用复合旋转机架，包括镀膜机镀膜箱(1)，其特征在于：所述镀膜机镀膜箱(1)的前方旋转设置有旋转密封舱门(2)，所述镀膜机镀膜箱(1)的中间设置有立式旋转支撑轴杆(3)，所述立式旋转支撑轴杆(3)的底端插接在镀膜机镀膜箱(1)的底端内部并通过电机驱动，所述立式旋转支撑轴杆(3)的外表面固定设置有旋转支撑杆(7)，所述旋转支撑杆(7)的另一端设置有旋转镀膜机构(4)；所述旋转镀膜机构(4)包括固定外环(401)，所述固定外环(401)与镀膜机镀膜箱(1)的内壁中间固定设置有固定连接杆(8)，所述固定外环(401)的内壁上固定设置有齿轮环(405)，所述齿轮环(405)的内侧设置有旋转内环(402)，所述旋转支撑杆(7)远离立式旋转支撑轴杆(3)的端部与旋转内环(402)的内壁固定连接，所述旋转连接轴(403)的底部外边缘设置有U形卡接槽(404)，所述U形卡接槽(404)的内部卡接有轴承(408)，所述轴承(408)的中间贯穿设置还有旋转连接轴(403)，所述旋转连接轴(403)的顶端外侧设置有旋转齿轮(407)，所述旋转齿轮(407)与齿轮环(405)啮合且其下方设置有悬挂板(406)，所述悬挂板(406)固定在旋转连接轴(403)的外表面且底面镶嵌设置有滚珠；所述旋转连接轴(403)的下方设置有调节悬挂机构(6)，所述调节悬挂机构(6)包括悬挂连接块(601)，所述悬挂连接块(601)固定在旋转连接轴(403)的底端，所述悬挂连接块(601)的外表面设置有四个对称分布的侧边支杆(602)，所述侧边支杆(602)远离悬挂连接块(601)的端部贯穿滑动设置有调节支杆(603)，所述侧边支杆(602)的内壁上设置有调节卡槽(608)，所述调节支杆(603)位于侧边支杆(602)内部的端部两侧均设置有调节限位块(609)，所述调节限位块(609)的一端卡接在调节卡槽(608)内侧另一端位于调节支杆(603)内部，两个所述调节限位块(609)的中间设置有调节弹簧(610)，所述调节支杆(603)的外端下方设置有旋转转轴(604)，所述旋转转轴(604)的下方设置有挂钩(605)。2.根据权利要求1所述的一种离子溅射镀膜机专用复合旋转机架，其特征在于：所述固定外环(401)的上表面设置有滴落物接受装置(5)，所述滴落物接受装置(5)包括固定块(503)，所述固定块(503)固定在固定外环(401)的上表面且内部设置有升降电机(508)，所述升降电机(508)的端部设置有升降齿轮(507)，所述升降齿轮(507)的一侧设置有和其啮合的螺杆齿轮(506)，所述螺杆齿轮(506)的中间贯穿设置有升降螺杆(505)，所述升降螺杆(505)的顶端外侧设置有方形升降套管(504)，所述方形升降套管(504)的顶端贯穿固定块(503)的上表面且与固定块(503)滑动连接。3.根据权利要求2所述的一种离子溅射镀膜机专用复合旋转机架，其特征在于：所述方形升降套管(504)的顶端固定设置有滴落物收集盆(501)，所述滴落物收集盆(501)的外表面设置有排出管(502)，所述滴落物收集盆(501)的内侧底面且倾斜状态且位于排出管(502)处的边缘处于最低点。4.根据权利要求2所述的一种离子溅射镀膜机专用复合旋转机架，其特征在于：所述方形升降套管(504)的底端设置有插接孔，所述固定块(503)的顶端插接在插接孔中，所述插接孔的内壁上设置有与固定块(503)外表面旋向相同且啮合的螺纹，所述固定块(503)与方形升降套管(504)通过螺纹传动。5.根据权利要求1所述的一种离子溅射镀膜机专用复合旋转机架，其特征在于：所述调节支杆(603)的底面设置有限位滑槽(606)，所述侧边支杆(602)远离悬挂连接块(601)的端部底面贯穿设置有限位插接槽。
6.根据权利要求5所述的一种离子溅射镀膜机专用复合旋转机架，其特征在于：所述限位插接槽的下方设置有...

【专利技术属性】
技术研发人员：王美姣，杜锋，孔德新，沙学锋，许钊，张文启，王岩，艾春雨，梁雪，郑亚娜，冯素丽，
申请(专利权)人：中国人民解放军陆军装甲兵学院士官学校，
类型：发明
国别省市：