一种真空镀膜机制造技术

本实用新型专利技术涉及一种真空镀膜机，从上往下依次包括机体和移动箱体，移动箱体的底部设置有若干个万向轮，机体内设置有镀膜基座，机体沿着X轴方向的两侧均设置有散热机构，机体的顶部设置有抽真空机构，旋转电机顶部的驱动端与上方的镀膜基座驱动连接设置，镀膜基座上沿着Z轴方向设置有若干个镀膜工件架，镀膜工件架沿着X轴方向的两侧分别插接入插槽内。本实用新型专利技术通过镀膜基座和镀膜工件架的连接结构设置，使得镀膜工件架在镀膜基座上可进行灵活的调节，来应对不同类型尺寸工件的使用，在实际使用过程中的适应性范围较好。际使用过程中的适应性范围较好。际使用过程中的适应性范围较好。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机


[0001]本技术涉及真空镀膜相关
，尤其涉及一种真空镀膜机。

技术介绍

[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延、PLD激光溅射沉积等很多种。
[0003]经过海量检索，发现现有技术公开号为CN213772198U，公开了一种真空镀膜机的工件架，包括：底座、托盘、承托板、电机、转动盘结构、转动轴以及工件支撑架，所述底座上表面安装有转动盘结构，所述转动盘结构上表面安装有保护外壳,所述转动盘结构下表面安装有电机，电机位于底座内部，所述电机上端设有主动轮盘，与现有技术相比，本技术具有如下的有益效果：通过设置电机和工件支撑架，使得真空镀膜时工件的旋转方式增加，避免工件因旋转方式单一导致的表面镀膜层厚度不一的问题，承托板和托盘的设计，使得工件之间的间隙增加，避免因真空环境中气氛流动性小，当工件量较大，排列间隙较小时，工件下层镀膜完整性较差的问题，提高了镀膜的质量。
[0004]综上所述，现有的真空镀膜机的工件架大多都是固定安装的，不能够灵活的调节相邻工件架之间的距离，来应对不同类型尺寸工件的使用，在实际使用过程中的适应性范围较差。
[0005]有鉴于上述的缺陷，本设计人积极加以研究创新，以期创设一种真空镀膜机，使其更具有产业上的利用价值。

技术实现思路

[0006]为解决上述技术问题，本技术的目的是提供一种真空镀膜机。
[0007]为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：/>[0008]一种真空镀膜机，从上往下依次包括机体和移动箱体，移动箱体的底部设置有若干个万向轮，机体内设置有镀膜基座，机体沿着X轴方向的两侧均设置有散热机构，机体的顶部设置有抽真空机构，移动箱体内的中间位置设置有旋转电机，旋转电机顶部的驱动端与上方的镀膜基座驱动连接设置，镀膜基座上沿着Z轴方向设置有若干个镀膜工件架，镀膜基座上沿着Z轴方向均匀的开设有若干个插槽，插槽沿着Y轴方向设置，镀膜工件架沿着X轴方向的两侧分别插接入插槽内，插槽远离镀膜工件架一侧的镀膜基座上连通设置有通孔，通孔内设置有插接件，插接件穿过通孔后与镀膜工件架上且位于插槽内的插接槽相连接。
[0009]作为本技术的进一步改进，散热机构包括散热机箱，散热机箱内靠近机体的一侧设置有若干个散热风扇，散热机箱和机体之间通过若干个通风孔相连通。
[0010]作为本技术的进一步改进，散热机构包括散热机箱，散热机箱内靠近机体的一侧沿着Z轴方向设置有若干个散热风扇，散热机箱和机体之间通过若干个通风孔相连通，散热机箱内远离机体的一侧沿着Z轴方向设置有吸水棉，散热机箱下方的移动箱体内设置有水箱，吸水棉的底部延伸至下方的水箱内，且吸水棉和若干个散热风扇之间设置有滤网。
[0011]作为本技术的进一步改进，抽真空机构包括抽气罩、抽气泵和存储箱，抽气泵和存储箱均安装在机体的顶部，抽气泵的第一侧通过抽气罩与机体的内部相连通，抽气泵的第二侧与存储箱相连接。
[0012]作为本技术的进一步改进，抽气罩和抽气泵之间还连接设置有除尘器。
[0013]作为本技术的进一步改进，镀膜基座上靠近顶部和底部位置的外侧均设置有若干个滑轮，滑轮外侧的机体上开设有环状滑槽，滑轮与环状滑槽相连接。
[0014]作为本技术的进一步改进，插接件为螺栓，插接槽为螺纹槽，插接件和插接槽之间通过螺纹连接在一起。
[0015]借由上述方案，本技术至少具有以下优点：
[0016]本技术通过镀膜基座和镀膜工件架的连接结构设置，使得镀膜工件架在镀膜基座上可进行灵活的调节，来应对不同类型尺寸工件的使用，在实际使用过程中的适应性范围较好；通过在机体两侧设置的散热机构可以快速对机体内部进行降温处理。
[0017]上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0019]图1是本技术第一实施例的结构示意图；
[0020]图2是本技术第二实施例的结构示意图；
[0021]图3是图1或图2中A处的局部放大结构示意图。
[0022]其中，图中各附图标记的含义如下。
[0023]1 机体
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2 移动箱体
[0024]3 万向轮
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4 抽气罩
[0025]5 除尘器
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6 抽气泵
[0026]7 存储箱
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8 镀膜基座
[0027]9 镀膜工件架
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10 散热机箱
[0028]11 吸水棉
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12 滤网
[0029]13 散热风扇
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14 通风孔
[0030]15 滑轮
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16 环状滑槽
[0031]17 水箱
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18 旋转电机
[0032]19 插槽
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20 通孔
[0033]21 插接件
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22 插接槽
具体实施方式
[0034]下面结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步详细描述。以下
实施例用于说明本技术，但不用来限制本技术的范围。
[0035]为了使本
的人员更好地理解本技术方案，下面将结合本技术实施例中附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0036]实施例
[0037]如图1～图3所示，
[0038]一种真空镀膜机，从上往下依次包括机体1和移动箱体2，移动箱体2的底部设置有若干个万向轮3，机体1内设置有镀膜基座本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机，从上往下依次包括机体(1)和移动箱体(2)，所述移动箱体(2)的底部设置有若干个万向轮(3)，所述机体(1)内设置有镀膜基座(8)，其特征在于，所述机体(1)沿着X轴方向的两侧均设置有散热机构，所述机体(1)的顶部设置有抽真空机构，所述移动箱体(2)内的中间位置设置有旋转电机(18)，所述旋转电机(18)顶部的驱动端与上方的镀膜基座(8)驱动连接设置，所述镀膜基座(8)上沿着Z轴方向设置有若干个镀膜工件架(9)，所述镀膜基座(8)上沿着Z轴方向均匀的开设有若干个插槽(19)，所述插槽(19)沿着Y轴方向设置，所述镀膜工件架(9)沿着X轴方向的两侧分别插接入插槽(19)内，所述插槽(19)远离镀膜工件架(9)一侧的镀膜基座(8)上连通设置有通孔(20)，所述通孔(20)内设置有插接件(21)，所述插接件(21)穿过通孔(20)后与镀膜工件架(9)上且位于插槽(19)内的插接槽(22)相连接。2.如权利要求1所述的一种真空镀膜机，其特征在于，所述散热机构包括散热机箱(10)，所述散热机箱(10)内靠近机体(1)的一侧设置有若干个散热风扇(13)，所述散热机箱(10)和机体(1)之间通过若干个通风孔(14)相连通。3.如权利要求1所述的一种真空镀膜机，其特征在于，所述散热机构包括散热机箱(10)，所述散热机箱(10)内靠近机体(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴长见，蔡彤彤，朱红凯，陈世友，董文捷，
申请(专利权)人：苏州颍泉机电工程有限公司，
类型：新型
国别省市：