双层主鼓组件及带有该主鼓组件的真空镀膜设备制造技术

本申请涉及真空卷绕镀膜设备的领域，尤其是涉及一种双层主鼓组件及带有该主鼓组件的真空镀膜设备。一种双层主鼓组件，包括圆筒状的主鼓，主鼓中心轴向设有贯穿端面的转轴，主鼓由内向外依次设有冷却层、气路层，主鼓外周面上开设有连通于气路层的出气孔，气路层与大气连通。还涉及一种带有上述双层主鼓组件的真空镀膜设备，包括镀膜腔室、放卷辊组、收卷辊组、主鼓组件及镀膜源，主鼓组件、放卷辊组、收卷辊组相互平行且均与镀膜腔室转动连接，镀膜源正对基材设置。镀膜腔室内固定连接有挡板，挡板能够覆盖主鼓外周面未卷绕基材的部分。本申请具有减少气体向镀膜腔室中逸散，降低真空抽气要求，节约能源的效果。节约能源的效果。节约能源的效果。

【技术实现步骤摘要】
双层主鼓组件及带有该主鼓组件的真空镀膜设备


[0001]本申请涉及真空卷绕镀膜设备的领域，尤其是涉及一种双层主鼓组件及带有该主鼓组件的真空镀膜设备。

技术介绍

[0002]物理气相沉积（PVD）技术是在真空条件下，通过物理方法将材料源（固体或液体）表面轰击出或气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过电场、磁场或等离子体的作用，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜。常见的真空卷绕镀膜设备是在柔性基材表面通过真空卷绕镀膜技术镀制一层或多层薄膜。按原理可分为：蒸发卷绕镀膜、磁控溅射卷绕镀膜和组合式卷绕镀膜等。
[0003]在对柔性基材进行真空镀膜的过程中，由于溅射、蒸镀或多弧离子镀等方式均会使基材表面产生大量热量，为防止基材因温度过高而起褶或烧坏，经常需要将基材卷绕在带冷却效果的冷却辊上进行冷却。为了便于传动基材，冷却辊表面一般较为粗糙，冷却辊与基材的接触面存在间隙，对热传递效果产生不良影响，而真空环境则会进一步降低热传递效率。
[0004]目前，通常会向基材与冷却辊之间通入气体来加强对流换热，对基材进行降温。现有的可参考公布号为CN111455344A的专利文献，在上述专利的技术方案中，通入镀膜鼓的气体通过透气层内向外扩散，由于透气层上方敞口处未卷绕基材，导致气体容易从此处逸散到真空环境当中。为了保证镀膜所需的真空效果，会对真空室抽气能力产生更高的要求，从而造成能源的浪费。

技术实现思路

[0005]为了减少气体向镀膜腔室中逸散，降低真空抽气要求，节约能源，本申请提供一种双层主鼓组件及带有该主鼓组件的真空镀膜设备。
[0006]第一方面，本申请提供的一种双层主鼓组件采用如下的技术方案：
[0007]一种双层主鼓组件，用于安装在镀膜设备的镀膜腔室内,包括圆筒状的主鼓，所述主鼓由内向外依次设有冷却层、气路层，所述主鼓外周面上开设有多个连通于所述气路层的出气孔，所述气路层与大气连通，基材卷绕在所述主鼓的外周壁。所述主鼓外侧设有挡板，所述挡板用于遮挡暴露的所述出气孔。
[0008]通过采用上述技术方案，在使用该双层主鼓组件对基材进行降温时，由于镀膜腔室为真空负压环境，从而能够将外部空气吸入主鼓的气路层中，对主鼓进行充气，气体穿过出气孔吹到基材表面，增加了基材与冷却层之间的对流换热效率。利用挡板对暴露的出气孔进行遮挡，减少了从气路层逸散到镀膜腔室中的气体，从而降低了镀膜腔室的抽气要求，起到节约能源的作用。
[0009]可选的，所述挡板表面为圆弧面，所述挡板的内凹面朝向所述主鼓设置。
[0010]通过采用上述技术方案，圆弧形的挡板与圆筒状的主鼓组件形状更加适配，提高
了挡板对主鼓的遮挡范围，使散入镀膜腔室内的气体进一步减少。
[0011]可选的，所述主鼓同轴穿设有筒状的转轴，所述气路层通过所述转轴内腔与大气连通。
[0012]通过采用上述技术方案，利用筒状转轴的内腔，可以从主鼓内部向气路层输送气体，使得在镀膜过程中，利用转轴向气路层供气，能够提高气路层进气的平稳程度，便于对镀膜腔室壁采取密封措施，从而降低了真空室的抽气要求。
[0013]可选的，所述主鼓的端面开有多个连通所述气路层的进气孔，所述主鼓的端部设置有混气罩，所述混气罩内部为混气腔，所述进气孔与所述混气腔连通，所述混气腔与所述转轴内腔连通。
[0014]通过采用上述技术方案，气体先进入混气腔，之后再由均布在主鼓断面的多个进气孔进入到气路层，使得吸入气路层的气体更加均匀，从而增强流换热效率，使基材得到更好的冷却效果。
[0015]可选的，所述混气罩为环形，所述转轴与所述混气罩之间连接有多根通气管。
[0016]通过采用上述技术方案，环形的混气罩减小了混气腔的体积，混气腔与转轴内腔之间用通气管连通，提高了气体的输送效率。
[0017]可选的，所述主鼓外接有与所述冷却层连通的冷媒管，所述转轴周壁上开设输料口，所述冷媒管穿设于所述输料口内。
[0018]通过采用上述技术方案，冷却层与外界通过冷媒管进行冷媒输送，而在转轴周壁上开设输料口，便于对冷媒进行传送。
[0019]第二方面，本申请提供的一种带有双层主鼓组件的真空镀膜设备采用如下的技术方案：
[0020]一种带有双层主鼓组件的真空镀膜设备，用于对基材进行镀膜，包括镀膜腔室、镀膜源，所述镀膜源位于所述镀膜腔室内部，所述镀膜腔室内转动设置有相互平行的主鼓、放卷辊组及收卷辊组，所述镀膜源用于对卷绕在所述主鼓表面的基材进行镀膜，所述镀膜腔室内还固定连接有挡板。
[0021]通过采用上述技术方案，使用双层主鼓提高了基材的散热效率，挡板有效阻挡了气体从主鼓内部向镀膜腔室中扩散，收卷辊组及放卷辊组的设置便于镀膜时对基材进行取用及收纳。
[0022]可选的，所述镀膜腔室内部固定连接有保护罩，所述保护罩贴合于所述主鼓外壁。
[0023]通过采用上述技术方案，在镀膜腔室内壁与主鼓端面之间安装保护罩，将主鼓端面设置的各零部件与镀膜源隔开，既能为双层主鼓组件提供保护，还能为主鼓的转动起到导向作用。
[0024]综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
[0025]1.通过在主鼓上方未卷绕基材的部位设置挡板，从外部吸入气路层的气体穿过出气孔向镀膜腔室中逸散的时候，由于受到了主鼓外部挡板的阻挡，不易向外扩散，从而减少了气体的逸散，降低了真空抽气要求，起到了减少能源浪费的作用。
[0026]2.真空镀膜设备采用上述双层主鼓组件对基材进行降温，增加了基材与主鼓之间的对流换热效率，而且利用真空负压环境，使得无需外部动力即可将气体吸入主鼓的气路层内，起到了简化装置、节约能源的作用。
附图说明
[0027]图1是双层主鼓组件实施例1的结构示意图。
[0028]图2是双层主鼓组件实施例1的轴向剖视图。
[0029]图3是双层主鼓组件实施例1的进气孔分布示意图。
[0030]图4是双层主鼓组件实施例2的轴向剖视图。
[0031]图5是真空镀膜设备的结构示意图。
[0032]图6是图5的A
‑
A剖视图。
[0033]附图标记说明：
[0034]1、基材；2、冷却辊；3、真空镀膜室；4、双层主鼓组件；41、主鼓；411、冷却层；412、气路层；413、出气孔；414、进气孔；42、转轴；421、输料口；422、送气孔；43、挡板；44、混气罩；441、混气腔；442、通孔；45、通气管；46、冷媒管；5、镀膜腔室；6、放卷辊组；7、收卷辊组；8、导向辊；9、镀膜源；10、保护罩。
具体实施方式
[0035]以下结合附图1
‑
6对本申请作进一步详细说明。
[0036]本申请实施例公开一种双层主鼓组件。
[0037]实施例1
[0038]参照图1，双层主鼓组件包括主鼓41,主鼓41上同轴穿设有筒状的转轴42，主鼓41内部由内向外依次设有冷却层41本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双层主鼓组件，用于安装在镀膜腔室（5）内,其特征在于：包括圆筒状的主鼓(41)，所述主鼓(41)由内向外依次设有冷却层(411)、气路层(412)，所述主鼓(41)外周面上开设有多个连通于所述气路层(412)的出气孔(413)，所述气路层(412)与大气连通，基材(1)卷绕在所述主鼓(41)的外周壁,所述主鼓(41)外侧设有挡板(43)，所述挡板(43)用于遮挡暴露的所述出气孔(413)。2.根据权利要求1所述的双层主鼓组件，其特征在于：所述挡板(43)表面为圆弧面，所述挡板(43)的内凹面朝向所述主鼓(41)设置。3.根据权利要求1所述的双层主鼓组件，其特征在于：所述主鼓(41)同轴穿设有筒状的转轴(42)，所述气路层(412)通过所述转轴(42)内腔与大气连通。4.根据权利要求3所述的双层主鼓组件，其特征在于：所述主鼓(41)的端面开有多个连通所述气路层(412)的进气孔(414)，所述主鼓(41)的端部设置有混气罩(44)，所述混气罩(44)内部为混气腔(441)，所述进气孔(414)与所述混气腔(441)连通，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘文丽，金晨，张艳鹏，吴子敬，
申请(专利权)人：北京北方华创真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：