一种防震型晶圆研磨机制造技术

本实用新型专利技术公布了一种防震型晶圆研磨机，包括工作台、研磨组件和转动盘，工作台的顶部左右两侧对称固接有竖板，研磨组件设置在竖板的顶部，研磨组件包括研磨盖和研磨盘，各竖板的顶部均设置有支撑板，支撑板的顶部之间固接有横板，横板的底部中心处固定安装有液压缸，研磨盖的上表面与液压缸的活塞杆头部固定连接，研磨盖内设置有研磨盘，转动盘设置在工作台的上表面，转动盘的上表面圆周均匀开设有复数个研磨腔；本实用新型专利技术的有益效果是，使晶圆在研磨盘与转动盘之间研磨的过程中，增加对转动盘的转动稳定性，避免进行长时间的晶圆研磨中出现偏斜、抖动的现象，进而提高研磨机对晶圆的研磨质量与研磨的合格率。圆的研磨质量与研磨的合格率。圆的研磨质量与研磨的合格率。

【技术实现步骤摘要】
一种防震型晶圆研磨机


[0001]本技术涉及研磨机
，具体涉及一种防震型晶圆研磨机。

技术介绍

[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其中晶圆的尺寸分别为8英寸和12英寸。
[0003]现有大多数的晶圆研磨机的转动盘在转动时只靠电机的输出轴提供支撑作用，在进行长时间的晶圆研磨时，转动盘的稳定性会逐渐降低，容易造成晶圆在研磨的过程中出现偏斜、抖动的现象，影响研磨机对晶圆的研磨质量，降低晶圆研磨的合格率。
[0004]因此，有必要提供一种防震型晶圆研磨机解决上述技术问题。

技术实现思路

[0005]为解决上述问题，本技术提供了一种防震型晶圆研磨机，本技术是通过以下技术方案来实现的。
[0006]一种防震型晶圆研磨机，包括工作台、研磨组件和转动盘，所述工作台的顶部左右两侧对称固接有竖板，所述研磨组件设置在竖板的顶部，所述研磨组件包括研磨盖和研磨盘，各所述竖板的顶部均设置有支撑板，所述支撑板的顶部之间固接有横板，所述横板的底部中心处固定安装有液压缸，所述研磨盖的上表面与液压缸的活塞杆头部固定连接，所述研磨盖内设置有活动板，活动板的顶部与研磨盖的内腔顶部之间固定连接有缓冲弹簧，所述研磨盘固定连接在活动板的底部，所述转动盘设置在工作台的上表面，并位于研磨盘的正下方，所述转动盘的上表面圆周均匀开设有复数个研磨腔，所述工作台的内腔顶部固定安装有电机，且电机的输出轴头部贯穿到工作台的顶部并与转动盘的底部固定连接。
[0007]优选的，所述工作台的顶部圆周均匀固接有复数个支撑杆，各支撑杆的顶部均活动连接有滚珠，所述转动盘的底部固接有固定环，且固定环的下表面开设有与对应各滚珠滑动连接的环形槽。
[0008]优选的，所述活动板的外侧壁上开设有环形限位槽，所述研磨盖的内侧壁固接有与环形限位槽滑动连接的环形限位块。
[0009]优选的，各所述竖板的顶部均开设有与对应各支撑板插接的插槽，所述插槽的底部开设有定位孔，且定位孔沿插槽的长度方向均匀设有三个，所述支撑板的底部固接有与对应各定位孔插接的定位销，所述竖板上位于插槽的前侧螺纹连接有固定螺杆，且固定螺杆的后侧端延伸到对应的插槽内，所述支撑板的前侧开设有与对应固定螺杆插接的固定孔。
[0010]优选的，所述工作台的上表面固接有环形收集框，且环形收集框位于转动盘的正下方，所述工作台的内腔底部固定安装有收集盒，所述环形收集框的前侧底部固接有排放
管，且排放管的另一端贯穿到工作台的内部，并延伸至收集盒内。
[0011]优选的，所述环形收集框的内侧壁高度低于转动盘的底部高度，环形收集框的外侧壁高度高于转动盘的顶部高度。
[0012]优选的，所述工作台的底部四角处固接有四个支撑柱，各支撑柱的底部均固接有弹性垫。
[0013]本技术的有益效果是：
[0014](1)本晶圆研磨机通过设置的支撑杆、滚珠、固定环和环形槽，使晶圆在研磨盘与转动盘之间研磨的过程中，增加对转动盘的转动稳定性，避免进行长时间的晶圆研磨中出现偏斜、抖动的现象，进而提高研磨机对晶圆的研磨质量与研磨的合格率。
[0015](2)通过设置的活动板和缓冲弹簧，使转动盘通过电机带动，同时研磨盘在缓冲弹簧的作用下紧贴晶圆，使晶圆转动进行研磨，提高了晶圆研磨的效率，降低晶圆研磨的时间。
[0016](3)支撑板与竖板之间可拆卸式的连接，可方便对研磨盘与转动盘进行维修与保养。
[0017](4)设置的环形收集框便于对晶圆研磨后的碎屑进行收集，通过排放管便于将环形收集框内收集的碎屑进行收集到下方的收集盒中，增加碎屑清除的便捷性，降低碎屑清除的时间。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本技术的技术方案，下面将对具体实施方式描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1：本技术所述一种防震型晶圆研磨机的结构示意图；
[0020]图2：本技术所述一种防震型晶圆研磨机的剖视图；
[0021]图3：本技术所述竖板与支撑板的安装示意图；
[0022]图4：本技术所述工作台与环形收集框的结构示意图；
[0023]图5：本技术所述转动盘的结构示意图；
[0024]图6：本技术所述图2中A处的局部放大图；
[0025]图7：本技术所述图2中B处的局部放大图。
[0026]附图标记如下：
[0027]1、工作台；11、竖板；12、电机；13、支撑杆；14、滚珠；15、插槽；16、定位孔；17、固定螺杆；18、支撑柱；19、弹性垫；
[0028]2、研磨组件；21、研磨盖；22、研磨盘；23、支撑板；24、横板；25、液压缸；26、活动板；27、缓冲弹簧；28、环形限位槽；29、环形限位块；210、定位销；211、固定孔；
[0029]3、转动盘；31、研磨腔；32、固定环；33、环形槽；
[0030]4、环形收集框；41、收集盒；42、排放管。
具体实施方式
[0031]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0032]如图1
‑
7所示，本技术提供以下实施例：
[0033]实施例一
[0034]一种防震型晶圆研磨机，包括工作台1、研磨组件2和转动盘3，工作台1的顶部左右两侧对称固接有竖板11，研磨组件2设置在竖板11的顶部，研磨组件2包括研磨盖21和研磨盘22，各竖板11的顶部均设置有支撑板23，支撑板23的顶部之间固接有横板24，横板24的底部中心处固定安装有液压缸25，研磨盖21的上表面与液压缸25的活塞杆头部固定连接，研磨盖21内设置有活动板26，活动板26的顶部与研磨盖21的内腔顶部之间固定连接有缓冲弹簧27，研磨盘22固定连接在活动板26的底部，转动盘3设置在工作台1的上表面，并位于研磨盘22的正下方，转动盘3的上表面圆周均匀开设有复数个研磨腔31，工作台1的内腔顶部固定安装有电机12，且电机12的输出轴头部贯穿到工作台1的顶部并与转动盘3的底部固定连接，设置的多个研磨腔31可以进行多个晶圆的研磨工作，进而提高研磨工作的效率；通过设置的活动板26和缓冲弹簧27，使转动盘3通过电机12带动，同时研磨盘22在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防震型晶圆研磨机，其特征在于：包括工作台(1)、研磨组件(2)和转动盘(3)，所述工作台(1)的顶部左右两侧对称固接有竖板(11)，所述研磨组件(2)设置在竖板(11)的顶部，所述研磨组件(2)包括研磨盖(21)和研磨盘(22)，各所述竖板(11)的顶部均设置有支撑板(23)，所述支撑板(23)的顶部之间固接有横板(24)，所述横板(24)的底部中心处固定安装有液压缸(25)，所述研磨盖(21)的上表面与液压缸(25)的活塞杆头部固定连接，所述研磨盖(21)内设置有活动板(26)，活动板(26)的顶部与研磨盖(21)的内腔顶部之间固定连接有缓冲弹簧(27)，所述研磨盘(22)固定连接在活动板(26)的底部，所述转动盘(3)设置在工作台(1)的上表面，并位于研磨盘(22)的正下方，所述转动盘(3)的上表面圆周均匀开设有复数个研磨腔(31)，所述工作台(1)的内腔顶部固定安装有电机(12)，且电机(12)的输出轴头部贯穿到工作台(1)的顶部并与转动盘(3)的底部固定连接。2.根据权利要求1所述一种防震型晶圆研磨机，其特征在于：所述工作台(1)的顶部圆周均匀固接有复数个支撑杆(13)，各支撑杆(13)的顶部均活动连接有滚珠(14)，所述转动盘(3)的底部固接有固定环(32)，且固定环(32)的下表面开设有与对应各滚珠(14)滑动连接的环形槽(33)。3.根据权利要求1所述一种防震型晶圆研磨机，其特征在于：所述活动板(26)的外侧壁上开设有环形限...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏村村，钟喜琳，曾根，席欣梅，张丙勇，黄敏慧，马强，李席席，
申请(专利权)人：晶芯半导体黄石有限公司，
类型：新型
国别省市：