【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体，特别是涉及一种包装袋的检测方法。
技术介绍
1、相关技术中，通常采用包装袋对晶圆载具进行包装，以起到防尘作用。基于此，需要设计一种能够对包装袋的洁净度进行检测的检测方法，以更好地利用包装袋对晶圆载具进行包装。
技术实现思路
1、基于此，有必要针对如何提供一种能够对包装袋的洁净度进行检测的检测方法的问题，提供一种包装袋的检测方法。
2、本申请提供了一种包装袋的检测方法，所述检测方法包括：
3、在洁净室内，通过所述包装袋的袋口向所述包装袋内注入预设深度的超纯水；
4、密封所述包装袋的袋口；
5、对所述包装袋进行多次翻转，以使所述包装袋的袋口沿第一方向或沿与所述第一方向垂直的第二方向设置；
6、将所述袋口沿所述第二方向朝上设置的所述包装袋放置在敞口容器内，并在所述包装袋的侧面开设一开口；其中，沿所述第二方向，所述开口高于所述包装袋内的超纯水的液面预设距离；
7、使液体颗粒计数器通过所述开口伸入所述包装袋内的...
【技术保护点】
1.一种包装袋的检测方法，其特征在于，所述检测方法包括：
2.根据权利要求1所述的包装袋的检测方法，其特征在于，所述洁净室具有预设洁净度等级。
3.根据权利要求1所述的包装袋的检测方法，其特征在于，所述包装袋包括用于容纳所述超纯水且具有所述袋口的袋主体，以及凸伸出所述袋主体设置所述袋口一端的封口部；所述密封所述包装袋的袋口，具体包括：
4.根据权利要求3所述的包装袋的检测方法，其特征在于，沿所述封口部凸伸出所述袋主体的方向，所述封口部的尺寸大于或等于5cm。
5.根据权利要求1所述的包装袋的检测方法，其特征在于，所述预设...
【技术特征摘要】
1.一种包装袋的检测方法，其特征在于，所述检测方法包括：
2.根据权利要求1所述的包装袋的检测方法，其特征在于，所述洁净室具有预设洁净度等级。
3.根据权利要求1所述的包装袋的检测方法，其特征在于，所述包装袋包括用于容纳所述超纯水且具有所述袋口的袋主体，以及凸伸出所述袋主体设置所述袋口一端的封口部；所述密封所述包装袋的袋口，具体包括：
4.根据权利要求3所述的包装袋的检测方法，其特征在于，沿所述封口部凸伸出所述袋主体的方向，所述封口部的尺寸大于或等于5cm。
5.根据权利要求1所述的包装袋的检测方法，其特征在于，所述预设距离大于或等于10cm。
6.根据权利要求1所述的包装袋的检测方法，其特征在于，所述对所述包装袋进行多次翻转，以使所述包装袋的袋口沿第一方向或沿与所述第一方向垂...
【专利技术属性】
技术研发人员：顾梦丹，张炜，曾根，汪富强，
申请(专利权)人：晶芯半导体黄石有限公司，
类型：发明
国别省市：
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