一种便于移动的中段清洗机制造技术

本实用新型专利技术公布了一种便于移动的中段清洗机，包括箱体、吸盘和移动组件，箱体内固接有横板，吸盘设置在横板上，箱体内的顶部固定安装有喷水管，箱体内的底部固接有收集箱和储水箱，移动组件设置在箱体的底部，移动组件包括支撑块、滚轮和双向螺杆，支撑块固接在箱体的底部，并呈矩形阵列排布，左右侧支撑块上均开设有向内侧倾斜向下的斜槽，前后侧对应的斜槽之间均插接有横杆，横杆的前后两端均转动连接有滚轮，箱体的底部设置有双向螺杆，各横杆上均固接有与双向螺杆螺纹连接的驱动板；本实用新型专利技术的有益效果是，便于实现对清洗机的移动，使用者可以将清洗机移动到指定的地方，从而提高工作的效率，同时使用方便，提高了清洗机的实用性。实用性。实用性。

【技术实现步骤摘要】
一种便于移动的中段清洗机


[0001]本技术涉及清洗机
，具体涉及一种便于移动的中段清洗机。

技术介绍

[0002]在半导体晶圆的加工工艺中，显影和蚀刻是两个重要的加工流程，而在对晶圆进行显影和蚀刻加工后，晶圆上不可避免的会残留一些化学药剂，化学药剂的存在会在一定程度上影响晶圆品质，因此，需使用清洗装置来对晶圆表面的化学药剂残留进行清洗。
[0003]目前市场上现有的清洗机大多都不具备移动的功能，在需要对清洗机进行移动时，通常需要消耗大量的人力物力，同时耗时长，降低了清洗机的实用性，不满足现有使用者的使用需求。
[0004]因此，有必要提供一种便于移动的中段清洗机解决上述技术问题。

技术实现思路

[0005]为解决上述问题，本技术提供了一种便于移动的中段清洗机，本技术是通过以下技术方案来实现的。
[0006]一种便于移动的中段清洗机，包括箱体、吸盘和移动组件，所述箱体内固接有横板，所述吸盘设置在横板上，所述箱体内的顶部固定安装有喷水管，且喷水管的底部沿长度方向均匀设有多个喷头，所述箱体内的底部固接有收集箱和储水箱，所述储水箱内设有吸水泵，所述吸水泵的出水口固接有出水管，且出水管的另一端分别贯穿储水箱的顶部与横板并与喷水管的右侧固定连接，所述收集箱的顶部与横板的顶部之间通过排水管固定连接，所述移动组件设置在箱体的底部，移动组件包括支撑块、滚轮和双向螺杆，所述支撑块固接在箱体的底部，并呈矩形阵列排布，左侧两个支撑块与右侧两个支撑块上均开设有向内侧倾斜向下的斜槽，前侧两个所述斜槽与对应的后侧两个所述斜槽之间均插接有横杆，所述横杆的前后两端均转动连接有滚轮，所述箱体的底部固接有U型架，所述U型架的内侧壁开设有滑槽，所述滑槽内滑动连接有滑块，所述双向螺杆转动连接在对应的滑块上，且双向螺杆的右侧端固接有转轮，转轮的右侧转动连接有转杆，各所述横杆上均固接有与双向螺杆螺纹连接的驱动板。
[0007]优选的，所述吸盘的顶部中心处开设有锥形孔，且吸盘的底部固接有与锥形孔相连通的空心轴，所述空心轴上转动连接有轴承，且轴承的外侧壁固定嵌设在横板上，所述空心轴的底部转动连接有连接座，且连接座的右侧与横板的底部之间固接有L型固定板，所述箱体内的左侧底部固定安装有吸气泵，且吸气泵的吸气口与连接座的底部之间通过吸气管相连通。
[0008]优选的，所述吸盘的顶部设有弹性硅胶垫。
[0009]优选的，所述空心轴上位于连接座的一侧固接有传动轮，横板下方所述箱体的左侧内部固定安装有电机，所述电机的输出轴头部固接有驱动轮，所述驱动轮与传动轮之间通过皮带传动连接。
[0010]优选的，所述横板的上方开设有废水收集槽。
[0011]优选的，横板上方所述箱体的前侧转动连接有第一箱门，横板下方所述箱体的前侧转动连接有第二箱门，所述箱体的右侧壁固接有推拉把手。
[0012]本技术的有益效果是：
[0013](1)本清洗机设置的支撑块、斜槽、横杆、滚轮、双向螺杆、U型架、滑块和驱动板，通过顺时针转动双向螺杆带动左右两侧的滚轮向中间运动，并在斜槽的作用下会使滚轮与地面接触，从而便于实现对清洗机的移动，使用者可以通过推拉把手快速的将清洗机移动到指定的地方，从而提高工作的效率，同时使用方便，提高了清洗机的实用性，当移动到指定位置后，反向转动双向螺杆使滚轮与地面分离，通过支撑块来对本清洗机起到支撑作用，从而增加了清洗机在使用时的稳定性。
[0014](2)通过设置的吸盘便于对需要清洗的晶圆起到固定的作用，同时也避免了一些固定夹具对晶圆的某些地方造成遮挡从而增加清洗的效果。
[0015](3)通过电机带动吸盘的转动，可以增加清洗的效率与质量。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本技术的技术方案，下面将对具体实施方式描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1：本技术所述一种便于移动的中段清洗机的结构示意图一；
[0018]图2：本技术所述一种便于移动的中段清洗机的结构示意图二；
[0019]图3：本技术所述一种便于移动的中段清洗机的前视图；
[0020]图4：本技术所述图3中A处的局部放大图。
[0021]附图标记如下：
[0022]1、箱体；11、横板；12、收集箱；13、储水箱；14、吸水泵；15、出水管；16、排水管；17、电机；18、驱动轮；19、皮带；110、废水收集槽；111、第一箱门；112、第二箱门；113、推拉把手；
[0023]2、吸盘；21、锥形孔；22、空心轴；23、轴承；24、连接座；25、L型固定板；26、吸气泵；27、吸气管；28、弹性硅胶垫；29、传动轮；
[0024]3、移动组件；31、支撑块；32、滚轮；33、双向螺杆；34、斜槽；35、横杆；36、U型架；37、滑槽；38、滑块；39、转轮；310、转杆；311、驱动板；
[0025]4、喷水管；41、喷头。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0027]如图1
‑
4所示，本技术提供以下实施例：
[0028]一种便于移动的中段清洗机，包括箱体1、吸盘2和移动组件3，箱体1内固接有横板
11，吸盘2设置在横板11上，箱体1内的顶部固定安装有喷水管4，且喷水管4的底部沿长度方向均匀设有多个喷头41，箱体1内的底部固接有收集箱12和储水箱13，储水箱13内设有吸水泵14，吸水泵14的出水口固接有出水管15，且出水管15的另一端分别贯穿储水箱13的顶部与横板11并与喷水管4的右侧固定连接，收集箱12的顶部与横板11的顶部之间通过排水管16固定连接，移动组件3设置在箱体1的底部，移动组件3包括支撑块31、滚轮32和双向螺杆33，支撑块31固接在箱体1的底部，并呈矩形阵列排布，左侧两个支撑块31与右侧两个支撑块31上均开设有向内侧倾斜向下的斜槽34，前侧两个斜槽34与对应的后侧两个斜槽34之间均插接有横杆35，横杆35的前后两端均转动连接有滚轮32，箱体1的底部固接有U型架36，U型架36的内侧壁开设有滑槽37，滑槽37内滑动连接有滑块38，双向螺杆33转动连接在对应的滑块38上，且双向螺杆33的右侧端固接有转轮39，转轮39的右侧转动连接有转杆310，各横杆35上均固接有与双向螺杆33螺纹连接的驱动板311。
[0029]进一步的，吸盘2的顶部中心处开设有锥形孔21，且吸盘2的底部固接有与锥形孔2本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种便于移动的中段清洗机，其特征在于：包括箱体(1)、吸盘(2)和移动组件(3)，所述箱体(1)内固接有横板(11)，所述吸盘(2)设置在横板(11)上，所述箱体(1)内的顶部固定安装有喷水管(4)，且喷水管(4)的底部沿长度方向均匀设有多个喷头(41)，所述箱体(1)内的底部固接有收集箱(12)和储水箱(13)，所述储水箱(13)内设有吸水泵(14)，所述吸水泵(14)的出水口固接有出水管(15)，且出水管(15)的另一端分别贯穿储水箱(13)的顶部与横板(11)并与喷水管(4)的右侧固定连接，所述收集箱(12)的顶部与横板(11)的顶部之间通过排水管(16)固定连接，所述移动组件(3)设置在箱体(1)的底部，移动组件(3)包括支撑块(31)、滚轮(32)和双向螺杆(33)，所述支撑块(31)固接在箱体(1)的底部，并呈矩形阵列排布，左侧两个支撑块(31)与右侧两个支撑块(31)上均开设有向内侧倾斜向下的斜槽(34)，前侧两个所述斜槽(34)与对应的后侧两个所述斜槽(34)之间均插接有横杆(35)，所述横杆(35)的前后两端均转动连接有滚轮(32)，所述箱体(1)的底部固接有U型架(36)，所述U型架(36)的内侧壁开设有滑槽(37)，所述滑槽(37)内滑动连接有滑块(38)，所述双向螺杆(33)转动连接在对应的滑块(38)上，且双向螺杆(33)的右侧端固接有转轮(39)，转轮(39)的右侧转动连接有转杆(310)，各所述横杆(35)上均固接有与双向螺杆(33)螺纹连接的驱...

【专利技术属性】
技术研发人员：戴维廷，左鹏，王志腾，杨顺，张丙勇，黄敏慧，马强，李席席，
申请(专利权)人：晶芯半导体黄石有限公司，
类型：新型
国别省市：