本发明专利技术属于半导体领域，具体为一种多尺寸集合外延片装置，包括固定底座、连接管和第一圆形齿轮，所述固定底座上焊接固定有固定框，所述固定框上安装有驱动组件，所述连接管上安装有吸附定位组件，所述固定底座上焊接固定有伺服电机，所述连接管上焊接固定有滤网板和排风扇，所述第二圆形齿轮上啮合连接有第三圆形齿轮，所述第二圆形齿轮和第三圆形齿轮上均安装有自动定位脱离组件，解决了现有的集合装置在使用过程中，不能够对不同直径的衬底进行便捷稳定批量式吸附固定的问题，同时不能够将集合装置整体吸附固定在制造设备内，进而不能够保证后续外延片生长状态的稳定和安全的问题。保证后续外延片生长状态的稳定和安全的问题。保证后续外延片生长状态的稳定和安全的问题。
【技术实现步骤摘要】
一种多尺寸集合外延片装置
[0001]本专利技术涉及半导体领域，具体为一种多尺寸集合外延片装置。
技术介绍
[0002]半导体照明作为新型高效固体光源，具有寿命长、节能、环保、安全等优点，其应用领域正在迅速扩大，半导体照明的核心是发光二极管(LED)，而为了增加LED的发光效率一般会在PN结的N型层和P型层之间增加一个发光层，LED的具体结构大都是利用外延生长方法按照N型层、有源区、P型层的顺序依次生长在衬底之上，由于没有廉价的GaN同质衬底，GaN基LED一般生长在Si、SiC或蓝宝石等异质衬底之上，其中蓝宝石衬底是使用最广泛的衬底，通过使用集合装置将大量衬底同时放置在制造设备内，并利用外延生长方法制成有N型层，发光层和P型层的材料称为LED外延片，在LED外延片上可通过制备N电极，P电极和隔离保护层等常规半导体工艺制成LED器件，而现有的一些外延片生产用集合设备存在一些问题。
[0003]由于衬底大多为圆形，且不同衬底的直径不同，因此常规的集合装置在使用过程中，不能够对不同直径的衬底进行便捷稳定批量式吸附固定，同时不能够将集合装置整体吸附固定在制造设备内，进而不能够保证后续外延片生长状态的稳定和安全，且外延片在生长工作结束后，集合装置不能够对衬底进行便捷稳定的批量式脱离工作，进而不能够保证工作人员后续对于外延片拿取工作的便捷和高效，因此需要提供一种多尺寸集合外延片装置来满足使用者的需求。
技术实现思路
[0004]鉴于现有多尺寸集合外延片装置中存在的问题，提出了本专利技术。
[0005]为解决上述技术问题，根据本专利技术的一个方面，本专利技术提供了如下技术方案：一种多尺寸集合外延片装置，包括固定底座、连接管和第一圆形齿轮，所述固定底座上焊接固定有固定框，所述固定框上安装有驱动组件，所述连接管上安装有吸附定位组件，所述固定底座上焊接固定有伺服电机，所述连接管上焊接固定有滤网板和排风扇，所述滤网板的底端面上螺栓安装有电加热管，所述第一圆形齿轮上啮合连接有第二圆形齿轮，所述第二圆形齿轮上啮合连接有第三圆形齿轮，所述第二圆形齿轮和第三圆形齿轮上均安装有自动定位脱离组件。
[0006]作为本专利技术所述的一种多尺寸集合外延片装置的一种优选方案，其中：所述驱动组件包括固定管和连接杆，所述固定管焊接固定在固定框上，所述固定管上贯穿开设有卡孔，所述连接杆和连接管均限位滑动连接在固定管内，所述连接杆的顶端焊接固定有托板，所述连接杆的底端与连接管的顶端为转动连接，所述连接杆上焊接固定有伸缩卡杆，所述伸缩卡杆内焊接固定有固定弹簧，所述连接管的顶端焊接固定有复位弹簧，所述复位弹簧套设在连接管上，所述第一圆形齿轮焊接固定在固定管上。
[0007]作为本专利技术所述的一种多尺寸集合外延片装置的一种优选方案，其中：所述固定
管的直径大于连接管的直径，所述连接杆固定在连接管的顶部中心部位，所述伸缩卡杆对称分布在连接杆的两侧，所述伸缩卡杆与卡孔一一对应，所述伸缩卡杆的顶端面呈圆弧状。
[0008]作为本专利技术所述的一种多尺寸集合外延片装置的一种优选方案，其中：所述吸附定位组件包括密封圈，所述密封圈螺钉连接在连接管的底端面上，所述连接管内限位滑动连接有第一橡胶活塞，所述第一橡胶活塞固定连接在伺服电机输出轴的顶端，所述伺服电机的输出轴限位滑动连接在密封圈上，所述连接管上螺钉连接有滤网筒，所述连接管通过密封轴承连接有连接筒，所述连接筒上螺栓连接有输送管，所述输送管上螺栓连接有橡胶软管，所述橡胶软管的底端螺栓连接有橡胶吸盘，所述橡胶吸盘的顶端固定连接在固定底座的底端面上。
[0009]作为本专利技术所述的一种多尺寸集合外延片装置的一种优选方案，其中：所述密封圈的直径大于伺服电机输出轴的直径，所述滤网筒的直径和厚度分别与连接管的直径和厚度相等，所述滤网筒的长度小于连接筒的长度，所述输送管等角度分布在连接筒上，所述橡胶软管等距分布在连接筒上，所述橡胶软管与橡胶吸盘一一对应。
[0010]作为本专利技术所述的一种多尺寸集合外延片装置的一种优选方案，其中：所述电加热管呈螺旋状，所述第二圆形齿轮等角度分布在第一圆形齿轮上，所述第三圆形齿轮对称分布在第二圆形齿轮的两侧。
[0011]作为本专利技术所述的一种多尺寸集合外延片装置的一种优选方案，其中：所述自动定位脱离组件包括集合筒，所述集合筒分别焊接固定在第二圆形齿轮的中心轴和第三圆形齿轮的中心轴上，所述集合筒上螺钉连接有橡胶框，所述橡胶框内螺钉连接有橡胶板，所述橡胶板上开设有分级槽，所述集合筒的外表面焊接连接有分流扇叶。
[0012]作为本专利技术所述的一种多尺寸集合外延片装置的一种优选方案，其中：所述橡胶板的内径大于集合筒的内径，所述分级槽等距分布在橡胶板上，所述分级槽的直径由上向下逐级递减。
[0013]作为本专利技术所述的一种多尺寸集合外延片装置的一种优选方案，其中：所述集合筒内限位滑动连接有第二橡胶活塞，所述第二橡胶活塞的底端螺钉连接有支撑杆，所述支撑杆的底端焊接固定在滤网板的顶端面上，所述集合筒转动连接在衔接网板上，所述衔接网板转动连接在固定管上。
[0014]作为本专利技术所述的一种多尺寸集合外延片装置的一种优选方案，其中：所述集合筒通过第二橡胶活塞与支撑杆一一对应，所述支撑杆固定在第二橡胶活塞的底部中心部位，所述支撑杆的长度大于集合筒的长度。
[0015]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：1、设置有自动定位脱离组件，利用橡胶板上的各个分级槽能够对不同规格大小的外延片进行便捷稳定的限位放置工作，随后在装置放置稳定后，利用驱动组件能够带动第二橡胶活塞自动向下运动，进而能够对橡胶板上放置的外延片进行自动稳定的吸附固定工作，从而能够保证外延片后续制造工作的稳定，同理，在将装置拿取后，利用驱动组件能够带动第二橡胶活塞自动向上运动，进而能够将橡胶板上放置的外延片自动向上推动脱离，从而能够保证外延片后续拿取工作的便捷和高效，有效地提高了集合装置的使用便捷性和高效性。
[0016]2、设置有吸附定位组件，装置放置稳定后，利用复位弹簧能够带动连接管向上运
动，其内部的第一橡胶活塞能够在连接管内向上进行稳定的相对运动，利用第一橡胶活塞的运动，通过输送管上的橡胶软管能够将橡胶吸盘内的空气进行自动抽取，利用各个橡胶吸盘内的负压能够将装置整体自动稳定的吸附固定在装置内，进而能够保证外延片后续生产制造工作的稳定和安全。
[0017]3、设置有驱动组件，工作人员只需拿取托板向上运动，此时托板通过连接杆能够带动连接管向上运动，进而能够同时驱动吸附定位组件和自动定位脱离组件，且利用伸缩卡杆与卡孔的配合能够保证连接杆固定状态的稳定，进而能够保证装置整体工作状态的稳定，有效提高了装置的工作效率。
[0018]4、设置有排风扇和分流扇叶，利用排风扇和各个分流扇叶的转动能够将电加热管加热产生的热空气稳定均匀的输送至各个外延片处，且利用第一圆形齿轮、第二圆形齿轮和第三圆形齿轮之间的啮合，能够带动各个外延片自转的同时进行公转，进而能够进一步提高外延片的加热均匀和稳定，从而能够保本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种多尺寸集合外延片装置，包括固定底座（1）、连接管（4）和第一圆形齿轮（11），其特征在于：所述固定底座（1）上焊接固定有固定框（2），所述固定框（2）上安装有驱动组件（3），所述连接管（4）上安装有吸附定位组件（6），所述固定底座（1）上焊接固定有伺服电机（7），所述连接管（4）上焊接固定有滤网板（8）和排风扇（10），所述滤网板（8）的底端面上螺栓安装有电加热管（9），所述第一圆形齿轮（11）上啮合连接有第二圆形齿轮（12），所述第二圆形齿轮（12）上啮合连接有第三圆形齿轮（13），所述第二圆形齿轮（12）和第三圆形齿轮（13）上均安装有自动定位脱离组件（14）。2.根据权利要求1所述一种多尺寸集合外延片装置，其特征在于：所述驱动组件（3）包括固定管（301）和连接杆（303），所述固定管（301）焊接固定在固定框（2）上，所述固定管（301）上贯穿开设有卡孔（302），所述连接杆（303）和连接管（4）均限位滑动连接在固定管（301）内，所述连接杆（303）的顶端焊接固定有托板（304），所述连接杆（303）的底端与连接管（4）的顶端为转动连接，所述连接杆（303）上焊接固定有伸缩卡杆（305），所述伸缩卡杆（305）内焊接固定有固定弹簧（306），所述连接管（4）的顶端焊接固定有复位弹簧（5），所述复位弹簧（5）套设在连接管（4）上，所述第一圆形齿轮（11）焊接固定在固定管（301）上。3.根据权利要求2所述一种多尺寸集合外延片装置，其特征在于：所述固定管（301）的直径大于连接管（4）的直径，所述连接杆（303）固定在连接管（4）的顶部中心部位，所述伸缩卡杆（305）对称分布在连接杆（303）的两侧，所述伸缩卡杆（305）与卡孔（302）一一对应，所述伸缩卡杆（305）的顶端面呈圆弧状。4.根据权利要求1所述一种多尺寸集合外延片装置，其特征在于：所述吸附定位组件（6）包括密封圈（601），所述密封圈（601）螺钉连接在连接管（4）的底端面上，所述连接管（4）内限位滑动连接有第一橡胶活塞（602），所述第一橡胶活塞（602）固定连接在伺服电机（7）输出轴的顶端，所述伺服电机（7）的输出轴限位滑动连接在密封圈（601）上，所述连接管（4）上螺钉连接有滤网筒（603），所述连接管（4）通过密封轴承连接有连接筒（604），所述连接筒（604）上螺栓连接有输送管（605），所述输送管（605）上螺栓连...
【专利技术属性】
技术研发人员：周建军，张峰，顾凯峰，陈浩，杜朝辉，寿浙琼，张羽丰，
申请(专利权)人：浙江晶睿电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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