一种大尺寸硅片插片机分片装置制造方法及图纸

技术编号:36087469 阅读:14 留言:0更新日期:2022-12-24 11:03
本实用新型专利技术公开了硅片生产技术领域的一种大尺寸硅片插片机分片装置,包括水箱,水箱顶部设有放置座,水箱顶部设有安装架,安装架内左右侧壁均设有喷水机构,安装架顶部设有液压缸,液压缸输出端连接设有液压杆,液压杆一端贯穿安装架顶部与安装架内设有的固定板相连接,固定板内开设有空腔,空腔内设有移动机构,固定板底部滑动连接设有的安装板,安装板底部设有四组吸盘,本实用解决了传统的大尺寸硅片在清洗过后,在水作用力的情况下使得硅片之间会吸附的很紧,手工方式分片由于用力不均,很容易将硅片弄碎的问题,提高分片效率。提高分片效率。提高分片效率。

【技术实现步骤摘要】
一种大尺寸硅片插片机分片装置


[0001]本技术涉及硅片生产
,具体为一种大尺寸硅片插片机分片装置。

技术介绍

[0002]在米粒大的硅片上,已能集成16万个晶体管,这是科学技术进步的又一个里程碑,自太阳能发电行业推广大尺寸硅片产品以来,在硅片生产环节的插片工序中,通常会使用到插片机。
[0003]大尺寸硅片在清洗过后,在水作用力的情况下使得硅片之间会吸附的很紧,手工方式分片由于用力不均,很容易将硅片弄碎,分片效率也较低,所以,需要一种大尺寸硅片插片机分片装置。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种大尺寸硅片插片机分片装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种大尺寸硅片插片机分片装置,包括水箱,所述水箱顶部设有放置座,所述水箱顶部设有安装架,所述安装架内左右侧壁均设有喷水机构,所述安装架顶部设有液压缸,所述液压缸输出端连接设有液压杆,所述液压杆一端贯穿安装架顶部与安装架内设有的固定板相连接,所述固定板内开设有空腔,所述空腔内设有移动机构,所述固定板底部滑动连接设有的安装板,所述安装板底部设有四组吸盘。
[0006]进一步的,所述喷水机构包括安装架内右侧壁开设有的滑槽,所述滑槽内顶部设有电动伸缩杆,所述电动伸缩杆一端连接设有滑块,所述滑块左侧壁设有喷水板,所述喷水板左侧壁设有多组喷嘴,所述水箱内底部设有水泵,所述水泵出水端连接设有输水管,所述输水管一端与喷水板内部相连通。
[0007]进一步的,多组所述喷嘴在所述喷水板左侧壁纵向呈线性阵列分布。
[0008]进一步的,所述滑槽内右侧壁开设有限位槽,所述滑块右侧壁设有与限位槽相匹配的限位块。
[0009]进一步的,所述移动机构包括空腔内左侧壁通过轴承连接设有的丝杆,所述固定板右侧壁设有电机,所述电机输出端贯穿固定板右侧壁与丝杆一端相连接,所述丝杆外壁套接设有滑动块,所述滑动块底部设有安装杆,所述安装杆底部与安装板顶部相连接。
[0010]进一步的,所述空腔内顶部开设有导向槽,所述滑动块顶部设有与导向槽相匹配的导向块。
[0011]进一步的,所述固定板底部开设有滑槽一,所述安装杆与滑槽一滑动连接。
[0012]进一步的,所述水箱顶部开均匀开设有透水口,所述水箱内设有两组过滤网,两组所述过滤网从上到下滤孔依次减小。
[0013]进一步的,所述水箱顶部设有挡水框架,所述挡水框架呈矩形状设置。
[0014]与现有技术相比,本技术的有益效果是:
[0015]1、本实用在喷水机构的作用下对两两硅片之间的缝隙进行喷水,从而水进入缝隙中会将硅片分离,然后在液压缸和液压杆的作用下带动吸盘向下移动对硅片进行吸附固定,然后在移动机构的作用下带动硅片进行移动,从而能够对硅片进行分片,解决了传统的大尺寸硅片在清洗过后,在水作用力的情况下使得硅片之间会吸附的很紧,手工方式分片由于用力不均,很容易将硅片弄碎的问题,提高分片效率。
[0016]2、在透水口的作用下能够将喷出的水收集到水箱内,在两组滤孔不同过滤网的作用下能够将水中的杂质进行过滤,使得水能够循环使用,提高分片装置的节能性。
附图说明
[0017]图1为本技术结构示意图;
[0018]图2为本技术空腔内部结构右视图。
[0019]图中:1、水箱;2、喷水机构;20、水泵;21、输水管;22、喷嘴;23、喷水板;24、滑块;25、电动伸缩杆;26、滑槽;3、吸盘;4、安装板;5、固定板;6、液压杆;7、液压缸;8、放置座;9、透水口;10、挡水框架;11、过滤网;12、空腔;13、移动机构;130、导向块;131、滑动块;132、安装杆;133、导向槽;134、丝杆;135、电机;14、安装架。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0021]实施例1:
[0022]请参阅图1,本技术提供一种技术方案:一种大尺寸硅片插片机分片装置,包括水箱1,水箱1顶部开均匀开设有透水口9,水箱1内设有两组过滤网11,两组过滤网11从上到下滤孔依次减小,在透水口9的作用下能够将喷出的水收集到水箱1内,在两组滤孔不同过滤网11的作用下能够将水中的杂质进行过滤,使得水能够循环使用,水箱1顶部设有挡水框架10,挡水框架10呈矩形状设置,在挡水框架10的作用下能够对喷出的水进行阻挡,水箱1顶部设有放置座8,水箱1顶部设有安装架14,安装架14内左右侧壁均设有喷水机构2,安装架14顶部设有液压缸7,液压缸7输出端连接设有液压杆6,液压杆6一端贯穿安装架14顶部与安装架14内设有的固定板5相连接,固定板5内开设有空腔12,空腔12内设有移动机构13,固定板5底部滑动连接设有的安装板4,安装板4底部设有四组吸盘3。
[0023]请参阅图1,喷水机构2包括安装架14内右侧壁开设有的滑槽26,滑槽26内顶部设有电动伸缩杆25,电动伸缩杆25一端连接设有滑块24,滑槽26内右侧壁开设有限位槽,滑块24右侧壁设有与限位槽相匹配的限位块,在限位槽和限位块的作用下使得滑块24在滑槽26内移动更加稳定,滑块24左侧壁设有喷水板23,喷水板23左侧壁设有多组喷嘴22,多组喷嘴22在喷水板23左侧壁纵向呈线性阵列分布,能够更好的将水喷射到缝隙内,通过硅片的分离效率,水箱1内底部设有水泵20,水泵20出水端连接设有输水管21,输水管21一端与喷水板23内部相连通。
[0024]请参阅图2,移动机构13包括空腔12内左侧壁通过轴承连接设有的丝杆134,固定板5右侧壁设有电机135,电机135输出端贯穿固定板5右侧壁与丝杆134一端相连接,丝杆134外壁套接设有滑动块131,空腔12内顶部开设有导向槽133,滑动块131顶部设有与导向槽133相匹配的导向块130,在导向槽133和导向块130的作用下使得滑动块131在丝杆134外壁移动更加稳定,滑动块131底部设有安装杆132,安装杆132底部与安装板4顶部相连接,固定板5底部开设有滑槽一,安装杆132与滑槽一滑动连接,在滑槽一的作用下使得安装杆132移动更加稳定,从而安装杆132带动安装板4移动更加稳定。
[0025]工作原理:在水泵20的作用下将水箱1内的水通过输水管21输送到喷水板23内,然后在喷嘴22的作用下能够对上面两两硅片的缝隙进行喷水,从而水进入缝隙中会将硅片分离,然后液压缸7带动液压杆6向下移动,液压杆6带动固定板5向下移动,固定板5带动安装板4向下移动,从而在吸盘3的作用下能够对硅片进行吸附固定,然后在电机135的作用下带动丝杆134进行转动,从而滑动块131在丝杆134外壁进行移动,滑本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种大尺寸硅片插片机分片装置,包括水箱(1),其特征在于:所述水箱(1)顶部设有放置座(8),所述水箱(1)顶部设有安装架(14),所述安装架(14)内左右侧壁均设有喷水机构(2),所述安装架(14)顶部设有液压缸(7),所述液压缸(7)输出端连接设有液压杆(6),所述液压杆(6)一端贯穿安装架(14)顶部与安装架(14)内设有的固定板(5)相连接,所述固定板(5)内开设有空腔(12),所述空腔(12)内设有移动机构(13),所述固定板(5)底部滑动连接设有的安装板(4),所述安装板(4)底部设有四组吸盘(3)。2.根据权利要求1所述的一种大尺寸硅片插片机分片装置,其特征在于:所述喷水机构(2)包括安装架(14)内右侧壁开设有的滑槽(26),所述滑槽(26)内顶部设有电动伸缩杆(25),所述电动伸缩杆(25)一端连接设有滑块(24),所述滑块(24)左侧壁设有喷水板(23),所述喷水板(23)左侧壁设有多组喷嘴(22),所述水箱(1)内底部设有水泵(20),所述水泵(20)出水端连接设有输水管(21),所述输水管(21)一端与喷水板(23)内部相连通。3.根据权利要求2所述的一种大尺寸硅片插片机分片装置,其特征在于:多组所述喷嘴(22)在所述喷水板(23)左侧壁纵向呈线性阵列分布。4.根据权利要求2所述的一种大尺寸硅片插片机分片装置,其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员:曹志勇杭智华姜志刚
申请(专利权)人:扬州伟业创新科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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