一种带有冷却功能的环保型全自动硅片清洗机制造技术

本实用新型专利技术公开了硅片清洗技术领域的一种带有冷却功能的环保型全自动硅片清洗机，包括硅片清洗机本体，硅片清洗机本体右侧壁上方设有安装板，安装板左侧壁开设有滑槽，滑槽内滑动连接设有滑块，滑块左侧壁设有调节组件，滑块左侧转动连接设有喷盘，喷盘底部设有多组出风嘴，活动杆一端贯穿滑槽内前侧壁与外部设有的活动板相连接，活动杆外壁套接设有弹簧硅片清洗机本体前侧壁设有固定板，固定板左侧壁设有电机，电机输出端连接设有凸轮，凸轮凸起处与活动板前侧壁相搭接，本实用在电机的作用下带动凸轮进行转动，凸轮间接性对活动板进行敲打，在弹簧的配合下能够带动滑块在滑槽内往复运动，从而能够更好的对硅片进行冷却。从而能够更好的对硅片进行冷却。从而能够更好的对硅片进行冷却。

An environmental friendly automatic silicon wafer cleaning machine with cooling function

【技术实现步骤摘要】
一种带有冷却功能的环保型全自动硅片清洗机
一：

[0001]本技术涉及硅片清洗
，具体为一种带有冷却功能的环保型全自动硅片清洗机。
二：
技术介绍

[0002]硅片在切割完成后需要经过脱胶、清洗，硅片在清洗机内清洗过后还有通过热风进行烘干。目前硅片清洗机烘干出来的硅片温度在60～70℃，温度过高会影响分选机对硅片的检测准确性。原有的解决方案是通过放置一段时间待硅片温度降低到30℃左右的时候，再上分选机进行分选，这样就造成了加工时间的延长，影响了生产效率。
[0003]现有的硅片清洗机在烘干后需要对硅片进行冷却，但是现有硅片清洗机的冷却装置的出风嘴大多都是固定设置的，出风嘴的角度不能够进行合理的调节，不能够快速的对硅片的温度进行冷却，冷却效果差，影响生产效率。
三：
技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种带有冷却功能的环保型全自动硅片清洗机，现有硅片清洗机的冷却装置的出风嘴大多都是固定设置的，出风嘴的角度不能够进行合理的调节，不能够快速的对硅片的温度进行冷却，冷却效果差，影响生产效率以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种带有冷却功能的环保型全自动硅片清洗机，包括硅片清洗机本体，所述硅片清洗机本体顶部设有冷风机，所述硅片清洗机本体左侧壁下方设有下料台，所述硅片清洗机本体右侧壁上方设有安装板，所述安装板左侧壁开设有滑槽，所述滑槽内滑动连接设有滑块，所述滑块左侧壁设有调节组件，所述滑块左侧转动连接设有喷盘，所述喷盘底部设有多组出风嘴，所述冷风机与喷盘之间设有输风管，所述滑块前侧壁设有活动杆，所述活动杆一端贯穿滑槽内前侧壁与外部设有的活动板相连接，所述活动杆外壁套接设有弹簧，所述弹簧一端与安装板前侧壁相连接，所述弹簧另一端与活动板后侧壁相连接，所述硅片清洗机本体前侧壁设有固定板，所述固定板左侧壁设有电机，所述电机输出端连接设有凸轮，所述凸轮凸起处与活动板前侧壁相搭接。
[0006]作为优选，所述调节组件包括滑块左侧壁通过轴承连接设有的转动盘，所述转动盘左侧壁与喷盘右侧壁相连接，所述转动盘左侧壁贯穿设有插杆，所述插杆左侧壁设有拉板，所述插杆外壁套接设有复位弹簧，所述复位弹簧一端与转动盘左侧壁相连接，所述复位弹簧另一端与拉板右侧壁相连接，所述滑块左侧壁开设有多组与插杆相匹配的插孔。
[0007]作为优选，多组所述插孔在滑块左侧壁呈环形阵列分布。
[0008]作为优选，所述滑槽右侧壁开设有限位槽，所述滑块右侧壁设有与限位槽相匹配的限位块。
[0009]作为优选，多组所述出风嘴在喷盘底部呈线性阵列分布。
[0010]作为优选，所述硅片清洗机本体左侧壁开设有下料口，所述下料口与下料台相匹
配。
[0011]作为优选，所述输风管一端与冷风机出风口相连接，所述输风管另一端与喷盘进风口相连接，所述输风管为软管。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0013]1、本实用设置冷风机，冷风机通过输风管将冷风输送到喷盘内，然后在出风嘴的作用下能够在硅片通过下料台时进行冷却，同时在电机的作用下带动凸轮进行转动，凸轮间接性对活动板进行敲打，在弹簧的配合下能够带动滑块在滑槽内往复运动，从而能够更好的对硅片进行冷却，冷却范围大，冷却效果好。
[0014]2、转动转动盘带动喷盘进行转动，然后在插杆的作用下与插孔相插接，从而能够对出风嘴的角度进行调节，能够改变冷风的角度，能够更好的对硅片进行冷却，增强冷却效果。
四：附图说明
[0015]图1为本技术结构示意图；
[0016]图2为本技术A结构示意图。
[0017]图中：1、硅片清洗机本体；2、电机；3、凸轮；4、活动板；5、固定板；6、弹簧；7、活动杆；8、滑槽；9、滑块；10、安装板；11、冷风机；12、输风管；13、喷盘；14、出风嘴；15、下料口；16、下料台；17、调节组件；18、拉板；19、复位弹簧；20、插杆；21、插孔；22、转动盘。
五：具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]实施例1
[0020]请参阅图1，本技术提供一种技术方案：一种带有冷却功能的环保型全自动硅片清洗机，包括硅片清洗机本体1，硅片清洗机本体1顶部设有冷风机11，硅片清洗机本体1左侧壁下方设有下料台16，硅片清洗机本体1右侧壁上方设有安装板10，安装板10左侧壁开设有滑槽8，滑槽8内滑动连接设有滑块9，滑块9左侧壁设有调节组件17，滑块9左侧转动连接设有喷盘13，喷盘13底部设有多组出风嘴14，出风嘴14与喷盘13内部相连通，冷风机11与喷盘13之间设有输风管12，滑块8前侧壁设有活动杆7，活动杆7一端贯穿滑槽8内前侧壁与外部设有的活动板4相连接，活动杆7外壁套接设有弹簧6，弹簧6一端与安装板10前侧壁相连接，弹簧6另一端与活动板4后侧壁相连接，硅片清洗机本体1前侧壁设有固定板5，固定板5左侧壁设有电机2，电机2输出端连接设有凸轮3，凸轮3凸起处与活动板4前侧壁相搭接，能够在凸轮3转动的时候间接性对活动板4进行敲打。
[0021]本实施例中，请参阅图1，滑槽8右侧壁开设有限位槽，滑块9右侧壁设有与限位槽相匹配的限位块，在限位槽和限位块的作用下使得滑块9在滑槽8内前后往复运动的时候更加稳定。
[0022]本实施例中，请参阅图1，多组出风嘴14在喷盘13底部呈线性阵列分布，能够更好
的对下料台16上的硅片进行冷却，冷却效果好。
[0023]本实施例中，请参阅图1，硅片清洗机本体1左侧壁开设有下料口15，下料口15与下料台16相匹配，硅片在硅片清洗机本体1内清洗烘干后从下料口15下料到下料台16上。
[0024]本实施例中，请参阅图1，输风管12一端与冷风机11出风口相连接，输风管12另一端与喷盘13进风口相连接，输风管12为软管，在对输风管12进行拉伸的时候不会受损，在输风管12的作用下能够将冷风机11的冷风输送到喷盘13内。
[0025]工作原理：硅片从下料口15下料后，硅片通过下料台16时进行冷却，冷风机11将冷风通过输风管12输送到喷盘13内，然后在出风嘴14的作用下对下料台16上的硅片进行冷却，同时在电机2的作用下带动凸轮3进行转动，凸轮3对活动板4进行间接性的敲打，活动板4带动活动杆7进行移动，活动杆7带动滑块9进行移动，同时在弹簧6的作用下使得滑块9在滑槽8内往复运动，从而能够带动出风嘴14往复运动，能够更好的对硅片进行冷却，冷却范围大，冷却效果好。
[0026]实施例2
[0027]请参阅图2，该实施例不同于第一个实施例的是：调本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种带有冷却功能的环保型全自动硅片清洗机，包括硅片清洗机本体(1)，其特征在于：所述硅片清洗机本体(1)顶部设有冷风机(11)，所述硅片清洗机本体(1)左侧壁下方设有下料台(16)，所述硅片清洗机本体(1)右侧壁上方设有安装板(10)，所述安装板(10)左侧壁开设有滑槽(8)，所述滑槽(8)内滑动连接设有滑块(9)，所述滑块(9)左侧壁设有调节组件(17)，所述滑块(9)左侧转动连接设有喷盘(13)，所述喷盘(13)底部设有多组出风嘴(14)，所述冷风机(11)与喷盘(13)之间设有输风管(12)，所述滑块(8)前侧壁设有活动杆(7)，所述活动杆(7)一端贯穿滑槽(8)内前侧壁与外部设有的活动板(4)相连接，所述活动杆(7)外壁套接设有弹簧(6)，所述弹簧(6)一端与安装板(10)前侧壁相连接，所述弹簧(6)另一端与活动板(4)后侧壁相连接，所述硅片清洗机本体(1)前侧壁设有固定板(5)，所述固定板(5)左侧壁设有电机(2)，所述电机(2)输出端连接设有凸轮(3)，所述凸轮(3)凸起处与活动板(4)前侧壁相搭接。2.根据权利要求1所述的一种带有冷却功能的环保型全自动硅片清洗机，其特征在于：所述调节组件(17)包括滑块(9)左侧壁通过轴承连接设有的转动盘(22)，所述转动盘(22)左侧壁与喷盘(13)右侧壁相连...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹志勇，杭智华，姜志刚，
申请(专利权)人：扬州伟业创新科技有限公司，
类型：新型
国别省市：