本实用新型专利技术涉及用于晶圆包装盒的密封性检测装置，包括第一模具、第二模具、驱动机构、充压组件、以及气压检测组件；第一模具以及第二模具可开合设置，用于供待检晶圆包装盒装入；驱动机构与第一模具和/或第二模具连接，用于带动第一模具以及第二模具做开合运动；充压组件与第一模具和/或第二模具连接，用于在第一模具以及第二模具合并后向第一模具以及第二模具中充压；气压检测组件与第一模具和/或第二模具连接，用于检测合并后第一模具以及第二模具中的压力变化。用于晶圆包装盒的密封性检测装置实现在无拆封晶圆包装盒的状态下，对晶圆包装盒进行密封性检测，避免晶圆包装盒在检测过程中破坏，实现对晶圆包装盒进行无尘保护，提高检测效率。提高检测效率。提高检测效率。
【技术实现步骤摘要】
用于晶圆包装盒的密封性检测装置
[0001]本技术涉及晶圆包装盒密封性检测领域，更具体地说，涉及一种用于晶圆包装盒的密封性检测装置。
技术介绍
[0002]相关技术中，用于检测FOSB(晶圆包装盒)的密封性，通常是将FOSB(晶圆包装盒)放入水中检测，或者人为将盖部破坏，往FOSB(晶圆包装盒)里面充气，这几种方案操作不方便，也不利于FOSB(晶圆包装盒)无尘保护，容易导致产品被破坏，不能继续使用。
技术实现思路
[0003]本技术要解决的技术问题在于，提供一种用于晶圆包装盒的密封性检测装置。
[0004]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：构造一种用于晶圆包装盒的密封性检测装置，包括第一模具、第二模具、驱动机构、充压组件、以及气压检测组件；
[0005]所述第一模具以及所述第二模具可开合设置，用于供待检晶圆包装盒装入；
[0006]所述驱动机构与所述第一模具和/或所述第二模具连接，用于带动所述第一模具以及所述第二模具做开合运动；
[0007]所述充压组件与所述第一模具和/或第二模具连接，用于在所述第一模具以及第二模具合并后向所述第一模具以及第二模具中充压；
[0008]所述气压检测组件与所述第一模具和/或第二模具连接，用于检测合并后所述第一模具以及所述第二模具中的压力变化。
[0009]在一些实施例中，所述充压组件包括管接头、充气管路；所述管接头设置于所述第一模具上，且与所述充气管路连接。
[0010]在一些实施例中，所述驱动机构包括带动所述第二模具朝所述第一模具做开合运动的升降气缸。
[0011]在一些实施例中，还包括用于给所述第二模具运动导向的导向结构。
[0012]在一些实施例中，所述导向结构包括第一安装板、与所述第一安装板平行且间隔设置的第二安装板、设置于所述第一安装板以及所述第二安装板之间的两组导向杆、设置于每组导向杆上且沿所述导向杆的轴向滑动的滑架；
[0013]所述第二模具上设置有第一连接板，所述第一连接板与所述滑架连接；
[0014]所述驱动机构与所述滑架连接，通过驱动所述滑架沿所述导向杆的轴向滑动，进而带动所述第二模具与所述第一模具开合运动。
[0015]在一些实施例中，每组导向杆包括两个导向杆；所述滑架包括与两个所述导向杆对应设置的两个滑套、以及连接两个所述滑套的第二连接板，所述第一连接板与所述第二连接板连接。
[0016]在一些实施例中，还包括第一缓冲结构；
[0017]所述第一缓冲结构设置于所述第一安装板上，用于给所述第二模具向远离第一模具方向运动缓冲。
[0018]在一些实施例中，还包括第二缓冲结构；所述第二缓冲结构可与所述第一连接板弹性接触设置，用于给所述第二模具向靠近所述第一模具方向运动缓冲。
[0019]在一些实施例中，所述第一模具和/或所述第二模具中设置有固定待检工件的固定结构。
[0020]在一些实施例中，所述固定结构上设置有气流通孔。
[0021]实施本技术的用于晶圆包装盒的密封性检测装置，具有以下有益效果：该用于晶圆包装盒的密封性检测装置通过将第一模具以及第二模具开合设置，以及通过充压组件向该第一模具和第二模具中充入压力，并通过气压检测组件检测合并后第一模具以及第二模具的压力变化，从而实现在无拆封晶圆包装盒的状态下，对晶圆包装盒进行密封性检测，避免晶圆包装盒在检测过程中破坏以及可实现对晶圆包装盒进行无尘保护，提高检测效率。
附图说明
[0022]下面将结合附图及实施例对本技术作进一步说明，附图中：
[0023]图1是本技术一些实施例中用于晶圆包装盒的密封性检测装置的结构示意图；
[0024]图2是图1所示的用于晶圆包装盒的密封性检测装置的局部结构示意图；
[0025]图3是图2所示的用于晶圆包装盒的密封性检测装置的局部结构分解示意图。
具体实施方式
[0026]为了对本技术的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图详细说明本技术的具体实施方式。
[0027]图1示出了本技术用于晶圆包装盒的密封性检测装置的一些优选实施例。该用于晶圆包装盒的密封性检测装置可在晶圆包装盒无拆封的状态下对晶圆包装盒的密封性进行检测。用于晶圆包装盒的密封性检测装置可避免晶圆包装盒在检测过程中破坏以及可实现对晶圆包装盒进行无尘保护，提高检测效率。
[0028]如图1及图2所示，在一些实施例中，该用于晶圆包装盒的密封性检测装置包括第一模具10、第二模具20、驱动机构30、充压组件以及气压检测组件。该第一模具10以及第二模具20可开合设置，以便于待检晶圆包装盒装入或取出。该驱动机构30与该第二模具20连接，用于驱动该第二模具20升降，也即朝该第一模具10做靠近或远离运动，实现与该第一模具10开合。可以理解地，在其他一些实施例中，该驱动机构30也可与该第一模具10或者只与该第一模具10连接，用于带动该第一模具10朝该第二模具20做靠近或者远离运动，实现与该第二模具20开合。该充压组件可与该第一模具10连接，当然，在其他一些实施例中，该充压组件也可与该第二模具20连接，可在第一模具 10和该第二模具20合并后用于向该第一模具10和第二模具20中充压。在一些实施例中，该气压检测组件可与该第一模具10连接，其可用于检测合并后第一模具10以及该第二模具20中的压力变化，进而可实现对晶圆包装盒的密封性进行检测。
[0029]进一步地，在一些实施例中，该第一模具10可包括第一本体11以及第一腔体12，该第一本体11可呈长方体状，当然，可以理解地，在其他一些实施例中，该第一本体11可不限于呈长方体状。在一些实施例中，该第一腔体12 可形成于该第一本体11中，该第一腔体12可供待检的晶圆包装盒至少部分容置于其中。在一些实施例中，该第一模具10可采用塑料制成，当然，可以理解地，在其他一些实施例中，该第一模具10可不限于采用塑料制成。
[0030]在一些实施例中，该第二模具20的形状以及尺寸可与该第一模具10相适配。该第二模具20可包括第二本体21以及第二腔体22；该第二本体21可呈长方体状，当然，可以理解地，该第二本体21可不限于呈长方体状。在一些实施例中，该第二腔体22可形成于该第二本体21中，该第二腔体22可与该第一腔体12拼接形成容置腔，用于将整个晶圆包装盒容置于其中。在一些实施例中，该第二模具20可采用塑料制成，当然，可以理解地，在其他一些实施例中，该第二模具20可不限于采用塑料制成。在一些实施例中，该第二模具20上设置有第一连接板23，该第一连接板23可位于该第二模具20的顶部，且可向该第二模具20的两相对侧延伸出。在一些实施例中，该第一连接板23 可与该驱动机构30通过该导向结构50中的滑架54连接，当然，可以理解地，在其他一些实施例中，该第一连接板23也可直接与该驱动机构30连接。可以理解地，在其他一些实施例中，该第一连接板23可以省去。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆包装盒的密封性检测装置，其特征在于，包括第一模具(10)、第二模具(20)、驱动机构(30)、充压组件、以及气压检测组件；所述第一模具(10)以及所述第二模具(20)可开合设置，用于供待检晶圆包装盒装入；所述驱动机构(30)与所述第一模具(10)和/或所述第二模具(20)连接，用于带动所述第一模具(10)以及所述第二模具(20)做开合运动；所述充压组件与所述第一模具(10)和/或第二模具(20)连接，用于在所述第一模具(10)以及第二模具(20)合并后向所述第一模具(10)以及第二模具(20)中充压；所述气压检测组件与所述第一模具(10)和/或第二模具(20)连接，用于检测合并后所述第一模具(10)以及所述第二模具(20)中的压力变化。2.根据权利要求1所述的用于晶圆包装盒的密封性检测装置，其特征在于，所述充压组件包括管接头(40)、充气管路；所述管接头(40)设置于所述第一模具(10)上，且与所述充气管路连接。3.根据权利要求1所述的用于晶圆包装盒的密封性检测装置，其特征在于，所述驱动机构(30)包括带动所述第二模具(20)朝所述第一模具(10)做开合运动的升降气缸。4.根据权利要求1所述的用于晶圆包装盒的密封性检测装置，其特征在于，还包括用于给所述第二模具(20)运动导向的导向结构(50)。5.根据权利要求4所述的用于晶圆包装盒的密封性检测装置，其特征在于，所述导向结构(50)包括第一安装板(51)、与所述第一安装板(51)平行且间隔设置的第二安装板(52)、设置于所述第一安装板(51)以及所述第二安装板(52)之间的两...
【专利技术属性】
技术研发人员：邱摩西，何江波，谭文明，
申请(专利权)人：义柏应用技术深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：
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