晶圆存储盒制造技术

本实用新型专利技术属于晶圆片存储及运输技术领域，具体涉及一种晶圆存储盒。晶圆存储盒包括：顶盖，可拆卸连接有弹片架；底盖，能够容置有多种型号的晶圆片架；锁紧组件，设置于晶圆存储盒；当锁紧组件处于锁紧状态时，弹片架抵接于晶圆片架内的晶圆，以实现晶圆片架内的晶圆固定；当锁紧组件处于解锁状态时，弹片架解除抵接于晶圆片架，以实现晶圆片架内的晶圆解除固定；本实用新型专利技术实施例中的晶圆存储盒能够供多种类型的晶圆片架容置，也就是说，晶圆存储盒在存储和/或运输过程中能够放置多种规格的晶圆片，从而增大了晶圆存储盒的使用范围。从而增大了晶圆存储盒的使用范围。从而增大了晶圆存储盒的使用范围。

【技术实现步骤摘要】
晶圆存储盒


[0001]本技术涉及晶圆片存储以及运输
，特别涉及一种晶圆存储盒。

技术介绍

[0002]目前，市场上的晶圆存储盒多为将晶圆片架竖直放置于晶圆存储盒中，并且现有的晶圆存储盒仅能够存储单一规格的晶圆片，例如，申请号为201821311775.0的一种晶圆存储盒，该晶圆存储盒包括顶盖与底盖，顶盖内设置有供晶圆片架上的晶圆片抵接的弹片架，底盖内设置有限位凸块，参考文中说明书所述，该晶圆存储盒能够保护晶圆片，并且提高了该晶圆存储结构的紧凑程度，但是该晶圆存储盒还是仅能够存储单一规格的晶圆片。
[0003]基于此，提出一种晶圆存储盒以解决前述技术问题。

技术实现思路

[0004]本技术在于提供一种晶圆存储盒，以解决现有的晶圆存储盒适用范围小的技术问题。
[0005]为解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案：
[0006]本技术提供一种晶圆存储盒，所述晶圆存储盒包括：
[0007]顶盖，可拆卸连接有弹片架。
[0008]底盖，能够容置有多种型号的晶圆片架。
[0009]锁紧组件，设置于所述晶圆存储盒；当所述锁紧组件处于锁紧状态时，所述弹片架抵接于所述晶圆片架内的晶圆，以实现所述晶圆片架内的晶圆固定；当所述锁紧组件处于解锁状态时，所述弹片架解除抵接于所述晶圆片架，以实现所述晶圆片架内的晶圆解除固定。
[0010]在一具体实施例中，所述底盖设置有限位部，所述限位部的数量为多个，以适配多种型号的所述晶圆片架，从而实现储存和运输多种规格的晶圆片。<br/>[0011]在一具体实施例中，多个所述限位部的高度不等；多个所述限位部的坡度不等。
[0012]在一具体实施例中，所述限位部具有导向面；所述导向面为斜面，以使所述晶圆片架处于倾斜状态。
[0013]当所述晶圆片架处于倾斜状态时，所述晶圆片架能够供任一所述晶圆片贴合。
[0014]在一具体实施例中，所述锁紧组件包括母部件与子部件，其中，所述母部件设置于所述底盖；及/或，所述母部件与所述底盖一体成型；所述子部件可拆卸连接于所述顶盖。
[0015]所述母部件能够相对所述子部件处于锁紧或者解锁状态；当所述母部件相对所述子部件处于锁紧状态时，所述晶圆存储盒处于闭合状态；当所述母部件相对所述子部件处于解锁状态时，所述晶圆存储盒处于打开状态。
[0016]在一具体实施例中，所述锁紧组件的数量为多个。
[0017]在一具体实施例中，所述晶圆片架与所述弹片架相适配。
[0018]在一具体实施例中，所述顶盖设置有支撑部，所述支撑部设置有锁紧件，以实现所
述弹片架与所述支撑部抵接。
[0019]在一具体实施例中，所述锁紧件适配于多种型号的所述弹片架。
[0020]在一具体实施例中，所述锁紧件与所述顶盖一体成型。
[0021]所述锁紧件的数量为多个，以实现所述锁紧件适配于多种型号的所述弹片架。
[0022]在一具体实施例中，所述晶圆存储盒相对所述锁紧组件一侧设置有铰接件，所述铰接件分别连接于所述顶盖与所述底盖，以实现所述晶圆存储盒在打开状态与闭合状态之间切换。
[0023]由上述技术方案可知，本技术实施例至少具有如下优点和积极效果：
[0024]本技术实施例中的晶圆存储盒能够供多种类型的晶圆片架容置，也就是说，晶圆存储盒在存储和/或运输过程中能够放置多种规格的晶圆片，从而增大了晶圆存储盒的使用范围。
附图说明
[0025]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
[0026]图1为本技术晶圆存储盒关闭状态的结构示意图；
[0027]图2为本技术晶圆存储盒打开状态的结构示意图；
[0028]图3为本技术图1的爆炸示意图。
[0029]附图标记说明如下：
[0030]1‑
晶圆存储盒；
[0031]10
‑
顶盖；100
‑
支撑部；1000
‑
锁紧件；101
‑
弹片架；
[0032]11
‑
底盖；110
‑
第一限位部；1100
‑
第一引导面；111
‑
第二限位部；1110
‑
第二引导面；111
‑
晶圆片架；
[0033]12
‑
锁紧组件；120
‑
母部件；121
‑
子部件；
[0034]13
‑
活动组件。
具体实施方式
[0035]体现本技术特征与优点的典型实施方式将在以下的说明中详细叙述。应理解的是本技术能够在不同的实施方式上具有各种的变化，其皆不脱离本技术的范围，且其中的说明及图示在本质上是当作说明之用，而非用以限制本技术。
[0036]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0037]在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是
两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0038]参考图1，本技术提供了一种晶圆存储盒1，用于在运输过程中或者其他工况下存储晶圆片，其不仅能够防止晶圆片被污染，而且能够通过防止晶圆片在运输过程中振动，以实现防止晶圆片在存储或者运输过程中发生损坏。
[0039]参考图1和图2，晶圆存储盒1包括顶盖10、底盖11和锁紧组件12以及活动组件13，其中，顶盖10与底盖11一侧通过活动组件13转动连接。显而易见地，当顶盖10与底盖11抵接时，晶圆存储盒1处于闭合状态；当顶盖10与底盖11相对分离时，晶圆存储盒1处于打开状态。需要说明的是，晶圆存储盒1不存在半闭合或者半打开状态。顶盖10与底盖11另一侧通过锁紧组件12以使顶盖10相对底盖11抵接或者分离，从而使晶圆存储盒1在打开状态与闭合状态切换。具体地，当锁紧组件12处于锁紧状态时，晶圆存储盒1处于闭合状态；当锁紧组件2处于解锁状态时，晶圆存储盒1处于打开状态或者闭合状态，需要说明的是，此时，虽然晶圆存储盒本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆存储盒，其特征在于，所述晶圆存储盒包括：顶盖，可拆卸连接有弹片架；底盖，能够容置有多种型号的晶圆片架；锁紧组件，设置于所述晶圆存储盒；当所述锁紧组件处于锁紧状态时，所述弹片架抵接于所述晶圆片架内的晶圆，以实现所述晶圆片架内的晶圆固定；当所述锁紧组件处于解锁状态时，所述弹片架解除抵接于所述晶圆片架，以实现所述晶圆片架内的晶圆解除固定。2.根据权利要求1所述的晶圆存储盒，其特征在于，所述底盖设置有限位部，所述限位部的数量为多个，以适配多种型号的所述晶圆片架，从而实现储存和运输多种规格的晶圆片。3.根据权利要求2所述的晶圆存储盒，其特征在于，多个所述限位部的高度不等；多个所述限位部的坡度不等。4.根据权利要求2所述的晶圆存储盒，其特征在于，所述限位部具有导向面；所述导向面为斜面，以使所述晶圆片架处于倾斜状态；当所述晶圆片架处于倾斜状态时，所述晶圆片架能够供任一所述晶圆片贴合。5.根据权利要求1所述的晶圆存储盒，其特征在于，所述锁紧组件包括母部件与子部件，其中，所述母部件设置于所述底盖；及/或，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：邱摩西，何江波，谭文明，
申请(专利权)人：义柏应用技术深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：