晶圆载运装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种晶圆载运装置，包括第一盖体；所述第一盖体包括第一本体、形成于所述第一本体中以收容晶圆的第一容置腔、设置于所述第一本体的内侧壁且朝所述第一容置腔凸出以对晶圆进行限位的弹性限位件。该晶圆载运装置可通过在该第一盖体的第一本体的内侧壁设置朝第一容置腔凸出的弹性限位件，进而对晶圆进行限位，省去泡沫环。该晶圆载运装置一方面可以使得晶圆在运输过程中受到的冲击力可以被该第一本体内侧壁上的弹性体缓震，另一方面可以省去泡沫环，防止产生颗粒物污染晶圆，从而起到保护晶圆的作用。从而起到保护晶圆的作用。从而起到保护晶圆的作用。

【技术实现步骤摘要】
晶圆载运装置


[0001]本技术涉及晶圆运输领域，更具体地说，涉及一种晶圆载运装置。

技术介绍

[0002]目前市场上常见的圆形晶圆载运装置多为底盖内部空间较大，晶圆放入其中时活动空间较大，在存储和运输过程中晶圆容易因为撞击而损坏，因此在晶圆载运装置的底盖边沿放入泡沫环的方式一方面限制晶圆的活动空间，另一方面使晶圆在存储和运输过程中受到撞击时可以通过泡沫环缓冲，以此保护晶圆，但这样的设计存在以下缺点：
[0003]1.在存储和运输过程中，晶圆与泡沫环撞击和摩擦易产生泡沫颗粒，污染晶圆。
[0004]2.泡沫环的变形量较大，晶圆的活动空间还是较大。
[0005]3.包装零件较多，包装过程较复杂，包装成本较高。

技术实现思路

[0006]本技术要解决的技术问题在于，提供一种改进的晶圆载运装置。
[0007]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：构造一种晶圆载运装置，包括第一盖体；所述第一盖体包括第一本体、形成于所述第一本体中以收容晶圆的第一容置腔、设置于所述第一本体的内侧壁且朝所述第一容置腔凸出以对晶圆进行限位的弹性限位件。
[0008]优选地，所述弹性限位件呈筒状，所述弹性限位件的内侧形成增加所述弹性限位件弹性力的通孔。
[0009]优选地，所述弹性限位件靠近所述第一容置腔的底部设置的一端设有增加所述弹性限位件弹性力的缺口；
[0010]所述缺口与所述通孔连通。
[0011]优选地，所述弹性限位件为多个，多个所述弹性限位件沿所述第一本体的周向间隔设置。
[0012]优选地，相邻设置的两个弹性限位件之间的间隔形成供晶圆存放或拾取手指放置的第一手指位。
[0013]优选地，所述第一盖体的底壁内侧设有对晶圆垫片进行限位的限位结构。
[0014]优选地，所述限位结构包括设置于所述第一本体的底壁且朝所述第一容置腔凸出设置的多个限位凸筋。
[0015]优选地，所述第一盖体的外侧壁上设有第二手指位。
[0016]优选地，还包括与所述第一盖体配合的第二盖体；所述第二盖体包括第二本体以及形成于所述第二本体中的第二容置腔；
[0017]所述第二盖体与所述第一盖体通过设置连接结构可拆卸连接；
[0018]所述连接结构包括设置于所述第二本体内侧壁且朝所述第二容置腔凸出设置的卡台、以及设置于所述第一盖体外侧壁且与所述卡台配合的卡勾。
[0019]优选地，所述第二盖体的外侧壁上设有第三手指位。
[0020]实施本技术的晶圆载运装置，具有以下有益效果：该晶圆载运装置可通过在该第一盖体的第一本体的内侧壁设置朝第一容置腔凸出的弹性限位件，进而对晶圆进行限位，省去泡沫环。该晶圆载运装置一方面可以使得晶圆在运输过程中受到的冲击力可以被该第一本体内侧壁上的弹性体缓震，另一方面可以省去泡沫环，防止产生颗粒物污染晶圆，从而起到保护晶圆的作用。
附图说明
[0021]下面将结合附图及实施例对本技术作进一步说明，附图中：
[0022]图1是本技术一些实施例中晶圆载运装置的结构示意图；
[0023]图2是图1所示晶圆载运装置的剖视图；
[0024]图3是图1所示晶圆载运装置的结构分解示意图；
[0025]图4是图3所示晶圆载运装置的第一盖体的结构示意图；
[0026]图5是图3所示晶圆载运装置的第二盖体的结构示意图。
具体实施方式
[0027]为了对本技术的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图详细说明本技术的具体实施方式。
[0028]图1至图2示出了本技术晶圆载运装置的一些优选实施例。该晶圆载运装置可用于晶圆运输，通过使用该晶圆载运装置可省去泡沫环，该晶圆载运装置可减少晶圆污染，避免晶圆受损，包装零部件少，可简化包装工序，提高包装效率和降低包装成本。
[0029]如图1及图2所示，在一些实施例中，该晶圆载运装置整体可呈圆柱状，该晶圆载运装置可包括第一盖体10以及第二盖体20，该第一盖体10可与该第二盖体20可拆卸装配，该第一盖体10和该第二盖体20的内侧可形成收容空间，用于收容晶圆。
[0030]如图3及图4所示，进一步地，在一些实施例中，该第一盖体10可以为底盖，当然，可以理解地，在其他一些实施例中，该第一盖体10可不限于底盖。在一些实施例中，该第一盖体10可采用塑胶材质制成，当然，可以理解地，在其他一些实施例中，该第一盖体10可不限于成采用塑胶材质制成。在一些实施例中，该第一盖体10可包括第一本体11、以及第一容置腔12。在一些实施例中，该第一本体11可大致呈圆柱状，其横截面可大致呈圆形。该第一本体11可以为一端设有开口的中空结构，该第一容置腔12可形成于该第一本体11的内侧，可用于收容晶圆。
[0031]进一步地，在一些实施例中，该第一盖体10还可包括弹性限位件13，该弹性限位件13可设置于该第一本体11的内侧壁且可朝该第一容置腔12凸出设置，可用于对晶圆进行限位。在一些实施例中，该弹性限位件13可以为多个，该多个弹性限位件13可沿该第一本体11的周向间隔设置。该弹性限位件13可与该第一本体11一体成型，在一些实施例中，该弹性限位件13可与该第一本体11通过注塑一体成型。当然，可以理解地，在其他一些实施例中，该弹性限位件13也可与该第一本体11为分体结构，可通过设置卡扣或者粘贴件等连接组件与该第一本体11可拆卸连接。
[0032]进一步地，在一些实施例中，该弹性限位件13可以呈筒状，具体地，该弹性限位件13的横截面可以为椭圆形，该弹性限位件13可沿该第一本体11的轴向设置，并朝该第一本
体11的底壁延伸。该弹性限位件13的内侧可设置通孔131，该通孔131可沿该第一本体11的轴向贯穿该弹性限位件13设置，该通孔13可用于增加该弹性限位件13的弹性力。在一些实施例中，该弹性限位件13靠近该第一容置腔12的底部设置的一端设有缺口132，该缺口132可沿该第一本体11的周向贯穿该弹性限位件13设置，并与该通孔131连通，可用于增加该弹性限位件13的弹性力。使用时，该晶圆的边缘可通过与该弹性限位件13弹性抵接从而由该弹性限位件13进行限位，并可在运输过程中受到冲击时通过该弹性限位件13对该晶圆进行缓冲和减震，且可省去泡沫环，放置产生泡沫颗粒污染晶圆，从而起到保护晶圆的作用。
[0033]进一步地，在一些实施例中，该第一盖体10的底壁内侧还可设置限位结构14，该限位结构14可位于该第一本体11的底壁，在一些实施例中，该第一限位结构14可以为限位凸筋，该限位凸筋可朝该第一容置腔12凸出设置于该第一本体11的底壁上，且可与该第一本体11一体成型，具体地，在一些实施例中，该限位凸筋可与该第一本体11通过注塑一体成型。该限位凸筋可以为多个，该多个限位凸筋可沿该第一本体11的周向间隔设置，具体地，该每一限位凸筋可与相邻设置的两个弹性限位件13之间的间隔对应设置。通过设置该限位凸筋，可本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆载运装置，其特征在于，包括第一盖体(10)；所述第一盖体(10)包括第一本体(11)、形成于所述第一本体(11)中以收容晶圆的第一容置腔(12)、设置于所述第一本体(11)的内侧壁且朝所述第一容置腔(12)凸出以对晶圆进行限位的弹性限位件(13)。2.根据权利要求1所述的晶圆载运装置，其特征在于，所述弹性限位件(13)呈筒状，所述弹性限位件(13)的内侧形成增加所述弹性限位件(13)弹性力的通孔(131)。3.根据权利要求2所述的晶圆载运装置，其特征在于，所述弹性限位件(13)靠近所述第一容置腔(12)的底部设置的一端设有增加所述弹性限位件(13)弹性力的缺口(132)；所述缺口(132)与所述通孔(131)连通。4.根据权利要求1所述的晶圆载运装置，其特征在于，所述弹性限位件(13)为多个，多个所述弹性限位件(13)沿所述第一本体(11)的周向间隔设置。5.根据权利要求4所述的晶圆载运装置，其特征在于，相邻设置的两个弹性限位件(13)之间的间隔形成供晶圆存放或拾取手指放置的第一手指位(15)。6.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：邱摩西，刘汝拯，陈松平，何江波，
申请(专利权)人：义柏应用技术深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：