下载晶圆存储盒的技术资料

文档序号:38418430

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本实用新型属于晶圆片存储及运输技术领域,具体涉及一种晶圆存储盒。晶圆存储盒包括:顶盖,可拆卸连接有弹片架;底盖,能够容置有多种型号的晶圆片架;锁紧组件,设置于晶圆存储盒;当锁紧组件处于锁紧状态时,弹片架抵接于晶圆片架内的晶圆,以实现晶圆片架...
该专利属于义柏应用技术(深圳)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过义柏应用技术(深圳)有限公司授权不得商用。

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