薄膜转移装置及设备制造方法及图纸

本公开涉及薄膜领域，具体而言，涉及一种薄膜转移装置及设备。薄膜转移装置包括工作台、固定器和收放装置，固定器设于工作台，第一衬底和第二衬底可选择地设置于固定器，固定器用于固定和释放第一衬底或第二衬底，第一衬底表面具有待转移的薄膜；收放装置用于安装柔性中介层，收放装置可活动地设置，以使柔性中介层靠近或远离固定器，柔性中介层在第一衬底位于固定器上时，剥离第一衬底表面的薄膜，并在第二衬底位于固定器上时，将薄膜转移至第二衬底。由此，本公开的薄膜转移装置及设备可实现贴膜、撕膜和转移的三个主要步骤，且不需要精确定位机构，没有过多的晶圆移动，从而简化了薄膜转移的工艺流程，提高了生产效率。提高了生产效率。提高了生产效率。

【技术实现步骤摘要】
薄膜转移装置及设备


[0001]本公开涉及薄膜领域，具体而言，涉及一种薄膜转移装置及设备。

技术介绍

[0002]在工业生产中，薄膜在制备完成后，常常需要转移至另一衬底上，例如将石墨烯薄膜转移至蓝宝石衬底上制作晶圆，将PI薄膜转移至工作衬底上制作柔性显示器件，或是转移薄膜太阳能电池的工作衬底等。由于直接转移法需要薄膜与第二衬底之间的结合力高于其与第一衬底之间的结合力，该条件较难实现，因此一般采用间接转移法对薄膜进行转移，即利用中介层，先将第一衬底表面待转移的薄膜转移至中介层上，再控制中介层在第二衬底表面释放该薄膜，从而实现薄膜的转移。
[0003]薄膜的间接转移一般包括贴膜、撕膜和转移的三个主要步骤。在现有技术中，上述三个步骤需要三台不同的设备来完成，其中涉及到胶带的裁切，精确定位，晶圆移动等操作，相对复杂且效率不高。
[0004]需要说明的是，在上述
技术介绍
部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

技术实现思路

[0005]本公开的目的在于提供一种薄膜转移装置及设备，可实现贴膜、撕膜和转移的三个主要步骤，且不需要精确定位机构，没有过多的晶圆移动，从而简化了薄膜转移的工艺流程，提高了生产效率。
[0006]根据本公开的第一个方面，提供一种薄膜转移装置，装置用于将薄膜由第一衬底转移至第二衬底，装置包括：
[0007]工作台；
[0008]固定器，固定器设于工作台，第一衬底和第二衬底可选择地设置于固定器，固定器用于固定和释放第一衬底或第二衬底，第一衬底表面具有待转移的薄膜；
[0009]收放装置，收放装置用于安装柔性中介层，收放装置可活动地设置，以使柔性中介层靠近或远离固定器，柔性中介层在第一衬底位于固定器上时，剥离第一衬底表面的薄膜，并在第二衬底位于固定器上时，将薄膜转移至第二衬底。
[0010]在本公开的一种示例性实施方式中，装置还包括工作槽，工作槽设于工作台上，工作槽用于放置第一衬底或第二衬底，固定器与工作槽相邻设置。
[0011]在本公开的一种示例性实施方式中，工作槽的数量为多个，多个工作槽在工作台上间隔设置。
[0012]在本公开的一种示例性实施方式中，工作槽底部设有吸附孔，固定器通过吸附孔真空吸附第一衬底或第二衬底。
[0013]在本公开的一种示例性实施方式中，柔性中介层为热释放胶带；装置还包括加热器，加热器与固定器相邻设置，加热器用于使热释放胶带释放薄膜，以使得薄膜转移至第二
衬底。
[0014]在本公开的一种示例性实施方式中，收放装置包括：
[0015]第一辊，第一辊可转动地设置；
[0016]第二辊，第二辊可转动地设置，柔性中介层的两端分别绕设于第一辊和第二辊，柔性中介层随着第一辊和第二辊的转动而收卷或放卷；
[0017]压辊，压辊设于工作台上方，柔性中介层绕设于压辊，压辊在工作台上可移动地设置，以使柔性中介层靠近或远离固定器。
[0018]在本公开的一种示例性实施方式中，第一辊为收卷辊，第二辊为放卷辊，柔性中介层将薄膜转移至第二衬底后，第一辊收卷柔性中介层，第二辊放卷柔性中介层。
[0019]在本公开的一种示例性实施方式中，柔性中介层上覆盖有保护膜，收放装置还包括第三辊，第三辊用于收卷保护膜；其中，第一辊、第二辊和第三辊沿垂直于工作台的方向依次排列。
[0020]在本公开的一种示例性实施方式中，第二辊设于工作台上方，第一辊设于第二辊上方，第三辊设于工作台下方。
[0021]根据本公开的另一个方面，提供一种薄膜转移设备，设备用于将薄膜由第一衬底转移至第二衬底，设备包括：
[0022]柔性中介层，柔性中间层用于剥离第一衬底表面的薄膜，并在第二衬底表面释放薄膜；
[0023]上述任意一项的薄膜转移装置，柔性中介层安装于薄膜转移装置。
[0024]本公开的装置可选择地将表面具有待转移薄膜的第一衬底和作为薄膜转移目标衬底的第二衬底先后固定于工作台上的同一个位置，由于薄膜的剥离和转移在同一个工位上完成，没有远程移动，所以该装置不需要额外的机械定位或光学定位装置就能做到精确对准，简化了生产设备，提高了薄膜转移的准确率；而且没有过多的晶圆移动，从而简化了操作，提高了生产效率。
附图说明
[0025]此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0026]为了更好地理解本公开，可参考在下面的附图中示出的实施例。在附图中的部件未必是按比例的，并且相关的元件可能省略，以便强调和清楚地说明本公开的技术特征。另外，相关要素或部件可以有如本领域中已知的不同的设置。此外，在附图中，同样的附图标记在各个附图中表示相同或类似的部件。其中：
[0027]图1示意性示出了根据本公开的一种示例性实施方式的薄膜转移装置和系统的第一视角的示意图；
[0028]图2示意性示出了根据本公开的一种示例性实施方式的薄膜转移装置和系统的第二视角的示意图。
[0029]附图标记说明如下：
[0030]10、工作台；20、收放装置；21、第一辊；22、第二辊；23、压辊；24、第三辊；30、工作槽；31、吸附孔；40、加热器；1、柔性中介层；2、保护膜。
具体实施方式
[0031]下面将结合本公开示例实施例中的附图，对本公开示例实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述。本文中的描述的示例实施例仅仅是用于说明的目的，而并非用于限制本公开的保护范围，因此应当理解，在不脱离本公开的保护范围的情况下，可以对示例实施例进行各种修改和改变。
[0032]除非另有规定或说明，术语“连接”、“固定”等均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接，或电连接，或信号连接；“连接”可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本公开中的具体含义。
[0033]进一步地，本公开的描述中，需要理解的是，本公开的示例实施例中所描述的“上”、“下”、“内”、“外”等方位词仅出于方便，例如根据附图所示的角度来进行描述的，不应理解为对本公开的示例实施例的限定。还需要理解的是，在上下文中，当提到一个元件或特征连接在另外元件(一个或多个)“上”、“下”、或者“内”、“外”时，其不仅能够直接连接在另外(一个或多个)元件“上”、“下”或者“内”、“外”，也可以通过中间元件间接连接在另外(一个或多个)元件“上”、“下”或者“内”、“外”。
[0034]用语“一个”、“一”、“该”、“所述”用以表示存在一个或多个要素/组成部分/等；用语“包括”和“具有”用以表示开放式的包括在内的意思并且是指除了本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种薄膜转移装置，所述装置用于将薄膜由第一衬底转移至第二衬底，其特征在于，所述装置包括：工作台(10)；固定器，所述固定器设于所述工作台(10)，所述第一衬底和所述第二衬底可选择地设置于所述固定器，所述固定器用于固定和释放所述第一衬底或所述第二衬底，所述第一衬底表面具有待转移的薄膜；收放装置(20)，所述收放装置(20)用于安装柔性中介层(1)，所述收放装置(20)可活动地设置，以使所述柔性中介层(1)靠近或远离所述固定器，所述柔性中介层(1)在所述第一衬底位于所述固定器上时，剥离所述第一衬底表面的所述薄膜，并在所述第二衬底位于所述固定器上时，将所述薄膜转移至所述第二衬底。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括工作槽(30)，所述工作槽(30)设于所述工作台(10)上，所述工作槽(30)用于放置所述第一衬底或所述第二衬底，所述固定器与所述工作槽(30)相邻设置。3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述工作槽(30)的数量为多个，多个所述工作槽(30)在所述工作台(10)上间隔设置。4.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述工作槽(30)底部设有吸附孔(31)，所述固定器通过所述吸附孔(31)真空吸附所述第一衬底或所述第二衬底。5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述柔性中介层(1)为热释放胶带；所述装置还包括加热器(40)，所述加热器(40)与所述固定器相邻设置，所述加热器(40)用于使所述热释放胶带释放所述薄膜，以使得所述薄膜转移至所述第二衬底。6.根据权利要求1至5中任一项所述的装置，其特征在于，所述收放装置(20)包括：第一辊(21)，所述第一辊(21)可转动地设置；第...

【专利技术属性】
技术研发人员：李琳琳，
申请(专利权)人：北京石墨烯研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：