本申请涉及一种刻蚀液补给方法及补给装置、刻蚀设备。所述刻蚀液补给方法，包括：获取酸槽内刻蚀液的更换状态；于每次更换所述刻蚀液之后，采集生产批次的顺序号；根据生产批次的顺序号，获取对应的补液预设容积，并根据所述补液预设容积对所述酸槽进行补液。所述刻蚀液补给方法及补给装置、刻蚀设备，可以提高产线生产效率、产品良品率及降低生产成本。产品良品率及降低生产成本。产品良品率及降低生产成本。
【技术实现步骤摘要】
刻蚀液补给方法及补给装置、刻蚀设备
[0001]本申请涉及半导体
，特别是涉及一种刻蚀液补给方法及补给装置、刻蚀设备。
技术介绍
[0002]随着集成电路特征尺寸的一再缩小，例如缩小到7nm甚至更小，钴（Co）因在较小的特征尺寸下具有低电阻率、高可靠性、高电子迁移率及良好的共沉积特性，被认为是最具发展前景的下一代小型器件互连或插塞材料，已经越来越多的被应用到半导体加工中。
[0003]相关技术中，一般使用混合酸溶液作为湿法刻蚀的主要刻蚀液，以对多余的Co及相邻的多余阻挡材料进行刻蚀去除。并且，在产品的批量生产中，为了确保刻蚀液对Co及阻挡材料的去除效果，往往需要及时进行刻蚀液补充。
[0004]然而，目前的刻蚀液补充方式主要依赖于人工干预，并按照预设的固定剂量进行多次反复的溶液补充。因此，因人为失误导致刻蚀液漏补充或者少补充的情况时有发生，容易影响产线的生产效率及产品的良品率。并且，在连续生产过程中，若持续按照预设的固定剂量进行溶液补充，也容易造成刻蚀液的累积超量，导致物料浪费，从而提高生产成本。
技术实现思路
[0005]基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种刻蚀液补给方法及补给装置、刻蚀设备，以提高产线生产效率、产品良品率及降低生产成本。
[0006]一方面，本申请实施例提供了一种刻蚀液补给方法，包括：获取酸槽内刻蚀液的更换状态；于每次更换所述刻蚀液之后，采集生产批次的顺序号；根据生产批次的顺序号，获取对应的补液预设容积，并根据所述补液预设容积对所述酸槽进行补液。<br/>[0007]本申请实施例中，可以通过获取酸槽内刻蚀液的更换状态以及每次更换刻蚀液后的生产批次的顺序号，进而进行对应预设容积的溶液补充。如此，在每次更换刻蚀液之后，可以针对生产批次的顺序号进行针对性的补液，在实现自动补液的基础上，确保各生产批次产品的生产均可在满足刻蚀需求的刻蚀液中进行，从而提高产品良品率。并且，本申请实施例中，通过对刻蚀液更换状态及生产批次顺序号的采集，还可以有效避免出现溶液漏补、少补及因过程累积而导致溶液中个别组分超量的问题，从而提升产线的生产效率，并节约化学物料，以降低生产成本。
[0008]在一些实施例中，所述根据生产批次的顺序号，获取对应的补液预设容积，还包括：根据所述生产批次的顺序号，获取所述生产批次所处的生产阶段，根据所述生产阶段，获取对应的所述补液预设容积。其中，一个所述生产阶段对应一个所述补液预设容积，一个所述生产阶段包括至少一个所述生产批次。
[0009]本申请实施例中，可以根据生产批次的顺序号确定对应的生产阶段，以根据生产
阶段来获取对应的补液预设容积。如此，有利于根据生产阶段进行补液，以简化补液操作的工艺流程，从而进一步提高生产效率。
[0010]在一些实施例中，不同所述生产阶段对应的所述补液预设容积不同，和/或，所述补液预设容积的数值与所述生产阶段的先后顺序负相关。
[0011]本申请实施例中，对酸槽内刻蚀液补液所需的补液预设容积，可以根据刻蚀设备的类型、刻蚀工艺的参数等不同而充分的灵活设置，例如可以针对不同的生产阶段设置不同的补液预设容积，以具有更好的补液准确度；例如可以设置补液预设容积的数值与生产阶段的先后顺序负相关，以有效避免因连续生产过程中刻蚀液补液的累计而出现溶液个别组分超量的问题，节约了化学物料，利于降低生产成本。
[0012]在一些实施例中，所述刻蚀液补给方法还包括：监测生产时间，获取相邻所述生产批次之间的时间间隔，若所述时间间隔大于第一预设时长，变更相邻所述生产批次中后者对应的所述补液预设容积为补液目标容积，并根据所述补液目标容积对所述酸槽进行补液。
[0013]本申请实施例中，通过监测生产时间，可以获取相邻生产批次之间的时间间隔，以在该时间间隔大于第一预设时长时，利用补液目标溶液对酸槽进行补液。如此，在实际生产过程中，可以有效监测因偶发故障或者其他原因造成的机台是否临时停机及停机多久，并基于此调整待补液的容积，即可以将原补液预设容积变更为补液目标容积，以避免酸槽中刻蚀液因为长时间蒸发而出现浓度不足的情况。从而确保各生产批次的产品刻蚀均可得到有效保障，以进一步提高产品良品率。
[0014]在一些实施例中，所述刻蚀液补给方法还包括：获取所述生产批次的结束时间，在所述生产批次结束之后的监测时长达到第二预设时长，且未执行下一次所述生产批次时，停止所述监测，在执行下一次所述生产批次时，重启所述监测，并获取该所述生产批次的开始时间。
[0015]本申请实施例中，通过对生产批次结束时间及下一次生产批次开始时间的监测，可以在停机时间较久的情况下，及时停止时间监测，以便于降低刻蚀液补给装置及刻蚀设备的功耗。
[0016]在一些实施例中，所述刻蚀液补给方法还包括：所述第二预设时长小于等于所述第一预设时长。
[0017]在一些实施例中，所述刻蚀液补给方法还包括：每次更换所述刻蚀液之后，且采集所述生产批次的顺序号之前，可以从固定补液方式和分阶段补液方式中选择一种作为更换所述刻蚀液之后的补液方式。其中，在选择所述固定补液方式时，针对各所述生产批次分别进行相同容积溶液的补液；在选择所述分阶段补液方式时，执行所述采集生产批次的顺序号的步骤及其后续步骤。
[0018]本申请实施例中，在每次更换刻蚀液之后，增设了补液模式选择，可以结合产品的实际生产情况，进行固定补液方式或分阶段补液方式的择一选择，以增加刻蚀液补给的多样性和合理性。
[0019]另一方面，本申请实施例提供了一种刻蚀液补给装置，包括：换液状态监测器，用于获取酸槽内刻蚀液的更换状态；生产批次计数器，与所述换液状态监测器相连接，用于在每次更换所述刻蚀液之
后采集生产批次的顺序号；补液处理器，与所述换液状态监测器、所述生产批次计数器相连接，用于在每次更换所述刻蚀液之后，根据生产批次的顺序号获取对应的补液预设容积，并根据所述补液预设容积控制供液管路对所述酸槽进行补液。
[0020]在一些实施例中，所述刻蚀液补给装置还包括时间监测器。所述时间监测器用于监测生产时间，以获取各所述生产批次的开始时间和结束时间。所述补液处理器还与所述时间监测器相连接，用于根据相邻所述生产批次中前者的结束时间及后者的开始时间，确定相邻所述生产批次之间的时间间隔，以及在所述时间间隔大于第一预设时长时，获取相邻所述生产批次中后者对应的补液目标容积，以根据所述补液目标容积控制所述供液管路对所述酸槽进行补液。
[0021]在一些实施例中，所述刻蚀液补给装置还包括模式选择器，所述模式选择器用于从固定补液方式和分阶段补液方式中择一选择。所述补液处理器还与所述模式选择器相连接，用于根据所述模式选择器的选择结果，在所述固定补液方式下控制所述供液管路针对各所述生产批次分别进行相同容积溶液的补液，或在所述分阶段补液方式下控制所述供液管路根据所述生产批次对应的所述补液预设容积进行补液。
[0022]又一方面，本申请实施例提供了一种刻蚀设备，包括上述一些实施例中所述本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种刻蚀液补给方法，其特征在于，包括：获取酸槽内刻蚀液的更换状态；于每次更换所述刻蚀液之后，采集生产批次的顺序号；根据生产批次的顺序号，获取对应的补液预设容积，并根据所述补液预设容积对所述酸槽进行补液。2.根据权利要求1所述的刻蚀液补给方法，其特征在于，所述根据生产批次的顺序号，获取对应的补液预设容积，还包括：根据所述生产批次的顺序号，获取所述生产批次所处的生产阶段；根据所述生产阶段，获取对应的所述补液预设容积；其中，一个所述生产阶段对应一个所述补液预设容积；一个所述生产阶段包括至少一个所述生产批次。3.根据权利要求2所述的刻蚀液补给方法，其特征在于，不同所述生产阶段对应的所述补液预设容积不同；和/或，所述补液预设容积的数值与所述生产阶段的先后顺序负相关。4.根据权利要求1~3中任一项所述的刻蚀液补给方法，其特征在于，还包括：监测生产时间，获取相邻所述生产批次之间的时间间隔；若所述时间间隔大于第一预设时长，变更相邻所述生产批次中后者对应的所述补液预设容积为补液目标容积，并根据所述补液目标容积对所述酸槽进行补液。5.根据权利要求4所述的刻蚀液补给方法，其特征在于，还包括：获取所述生产批次的结束时间；在所述生产批次结束之后的监测时长达到第二预设时长，且未执行下一次所述生产批次时，停止所述监测；在执行下一次所述生产批次时，重启所述监测，并获取该所述生产批次的开始时间。6.根据权利要求1所述的刻蚀液补给方法，其特征在于，每次更换所述刻蚀液之后，且采集所述生产批次的顺序号之前，所述刻蚀液补给方法还包括：从固定补液方式和分阶段补液方式中选择一种作为更换所述刻蚀液之后的补液方式；其中，在选择...
【专利技术属性】
技术研发人员：涂程林，郝利兰，张永仓，
申请(专利权)人：合肥新晶集成电路有限公司，
类型：发明
国别省市：
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