本发明专利技术提供了一种喷淋板的辅助拆装装置及喷淋板安装方法，该用于在半导体薄膜制备装置中辅助喷淋板在上盖板上的预设安装位置的定位安装，该辅助拆装装置包括：支撑板，该支撑板用于垂直固定于该上盖板上的该预设安装位置的下方以支撑该喷淋板与该上盖板之间的定位拆装；设于该支撑板上的滑轨，该滑轨的滑动方向垂直于该上盖板的所在平面；以及定位板，该定位板的上侧形状与该喷淋板的外周形状相匹配以使该定位板沿该喷淋板的外周与该喷淋板相固定，该定位板的下侧与该滑轨配合安装以使该定位板带动该喷淋板沿该滑轨滑动至该预设安装位置。设安装位置。设安装位置。
【技术实现步骤摘要】
一种喷淋板的辅助拆装装置及喷淋板安装方法
[0001]本专利技术涉及半导体设备领域，尤其涉及一种喷淋板的辅助拆装装置及喷淋板安装方法。
技术介绍
[0002]在半导体喷淋工艺设备的实际使用中，新设备装机调试、或者设备在使用一段时间后，都需要安装或拆卸位于上盖板预设位置的工艺气体喷淋板。而随着半导体薄膜制备技术的发展，喷淋板结构设计变得复杂多样，且由于喷淋板整体质量过大，为其拆装过程带来不便。
[0003]本领域技术人员容易理解地，对于质量较大的喷淋板，在拆装时需要保证各个部件之间的同心度的同时还需使得喷淋板与其他部件之间避免出现磕碰、摩擦等问题。而在现有技术中，常常没有专用的拆卸辅助工装，需要由设备维护人员手动完成喷淋板的拆装。又或者有一些技术方案中采用简易的三爪式辅助工装，该工装采用简单的机械结构，无较好的支撑，不能保证各个部件之间的定位精度，缺乏稳定性，增加了维护时间；此外，由于该工装均为金属材料，因此在维护过程中极易对喷淋板外表面造成刮碰，降低了其使用寿命，从而造成运行成本的增加，存在着诸多缺陷。
[0004]为了克服现有技术存在的上述缺陷，本领域亟需一种喷淋板的辅助拆装装置及喷淋板安装方法，用于辅助喷淋板的安装拆卸工作，使得喷淋板在拆装过程中可以有效避免喷淋板与金属工装间相互窜动所造成的刮碰、摩擦等问题，进而可以提高喷淋板使用寿命，同时可以实现喷淋板在上盖板预设位置上的准确定位，使得操作人员的装卸工作简单便捷、易于操作，从而提升设备维护工作的效率。
技术实现思路
[0005]以下给出一个或多个方面的简要概述以提供对这些方面的基本理解。此概述不是所有构想到的方面的详尽综览，并且既非旨在指认出所有方面的关键性或决定性要素亦非试图界定任何或所有方面的范围。其唯一的目的是要以简化形式给出一个或多个方面的一些概念以为稍后给出的更加详细的描述之序。
[0006]为了克服现有技术存在的上述缺陷，本专利技术提供了一种喷淋板的辅助拆装装置，用于在半导体薄膜制备装置中辅助喷淋板在上盖板上的预设安装位置的定位安装，该辅助拆装装置包括：支撑板，该支撑板用于垂直固定于该上盖板上的该预设安装位置的下方以支撑该喷淋板与该上盖板之间的定位拆装；设于该支撑板上的滑轨，该滑轨的滑动方向垂直于该上盖板的所在平面；以及定位板，该定位板的上侧形状与该喷淋板的外周形状相匹配以使该定位板沿该喷淋板的外周与该喷淋板相固定，该定位板的下侧与该滑轨配合安装以使该定位板带动该喷淋板沿该滑轨滑动至该预设安装位置。
[0007]在一实施例中，优选地，该辅助拆装装置还包括：定位插销，该定位插销用于当该喷淋板沿该滑轨滑动至该预设安装位置后，插入设于该喷淋板侧周及该上盖板对应位置上
的定位孔内以实现该喷淋板在该上盖板上的定位。
[0008]在一实施例中，优选地，该定位板在与该喷淋板之间的接触面上设有多个沉头孔，用于与设于该喷淋板上对应位置的螺纹孔相配合以实现该定位板与该喷淋板之间的定位与安装。
[0009]在一实施例中，优选地，该辅助拆装装置还包括：非金属材料制成的第一垫片，该第一垫片安装于该喷淋板与该定位板之间，其形状与该喷淋板与该定位板之间的接触面相匹配；以及非金属材料制成的第二垫片，该第二垫片安装于该支撑板与该上盖板之间，其形状与该支撑板与该上盖板之间的接触面相匹配。
[0010]在一实施例中，优选地，该第一垫片和该第二垫片采用特氟龙材料。
[0011]在一实施例中，优选地，该支撑板在与该上盖板的接触面上设有定位销和螺钉孔，分别用于与设于该上盖板上对应位置的定位孔与螺钉孔相配合以实现该支撑板与该上盖板之间的定位与安装。
[0012]在一实施例中，优选地，该喷淋板的外周与该上盖板的对应位置设有多个对称排布的螺钉孔。
[0013]在一实施例中，优选地，该滑轨与该支撑板之间、该定位板与设于该滑轨上的滑台之间采用螺钉固定方式安装固定。
[0014]本专利技术的另一方面还提供了一种用于半导体薄膜制备装置中的喷淋板安装方法，采用以上所描述的喷淋板的辅助拆装装置，该喷淋板安装方法包括：将该支撑板固定安装与该上盖板上的预定位置；固定安装该喷淋板和该定位板；推动该定位板以使该喷淋板滑动至该预设安装位置；将该喷淋板固定安装至该预设安装位置后，拆除该喷淋板与该定位板之间的固定安装；以及拆除该支撑板与该上盖板之间的固定安装以卸除该辅助拆装装置。
[0015]在一实施例中，优选地，该辅助拆装装置还包括定位插销，该喷淋板安装方法还包括：在推动该定位板以使该喷淋板滑动至该预设安装位置后，松动该喷淋板与该定位板之间的固定安装，将该定位插销插入设于该喷淋板侧周及该上盖板对应位置上的定位孔内以实现该喷淋板在该上盖板上的定位，再将该喷淋板固定安装在该上盖板的该预设安装位置。
[0016]在一实施例中，优选地，在该辅助拆装装置中该定位板在与该喷淋板之间的接触面上设有多个沉头孔，该固定安装该喷淋板和该定位板，包括：通过多个该螺纹孔与沉头孔固定安装该喷淋板与该定位板。
[0017]在一实施例中，优选地，该将该喷淋板固定安装至该预设安装位置后，拆除该喷淋板与该定位板之间的固定安装包括：通过设于该喷淋板外周与该上盖板上对应位置的部分螺钉孔以实现该喷淋板与该上盖板之间的初步固定安装；以及拆除该喷淋板与该定位板之间的固定安装，反向拉动该定位板，通过设于该喷淋板外周与该上盖板上对应位置的其余螺钉孔实现该喷淋板与该上盖板之间的完全固定安装。
[0018]在一实施例中，优选地，该喷淋板的外周与该上盖板的对应位置设有多个对称排布的螺钉孔，该喷淋板安装方法还包括：在执行该喷淋板与该上盖板之间的该初步固定安装以及该完全固定安装时，依次用螺钉紧固排布位置呈中心对称的该螺钉孔。
[0019]在一实施例中，优选地，该支撑板在与该上盖板的接触面上设有定位销，该将该支
撑板固定安装与该上盖板上的预定位置包括：通过该定位销将该支撑板在该上盖板上的该预定位置进行定位，再用螺钉固定安装该支撑板与该上盖板。
附图说明
[0020]在结合以下附图阅读本公开的实施例的详细描述之后，能够更好地理解本专利技术的上述特征和优点。在附图中，各组件不一定是按比例绘制，并且具有类似的相关特性或特征的组件可能具有相同或相近的附图标记。
[0021]图1是根据本专利技术的一实施例绘示的喷淋板辅助拆装装置的装置结构爆炸图；
[0022]图2是根据本专利技术的一实施例绘示的喷淋板辅助拆装装置的装配方法示意图；以及
[0023]图3是根据本专利技术的一实施例绘示的喷淋板辅助拆装装置的装配效果示意图。
[0024]为清楚起见，以下给出附图标记的简要说明：
[0025]1ꢀꢀꢀ
喷淋板
[0026]2ꢀꢀꢀ
支撑板
[0027]3ꢀꢀꢀ
滑轨
[0028]4ꢀꢀꢀ
定位板
[0029]5ꢀꢀꢀ
定位插销
[0030]6ꢀꢀꢀ
第一垫片<本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种喷淋板的辅助拆装装置，用于在半导体薄膜制备装置中辅助喷淋板在上盖板上的预设安装位置的定位安装，所述辅助拆装装置包括：支撑板，所述支撑板用于垂直固定于所述上盖板上的所述预设安装位置的下方以支撑所述喷淋板与所述上盖板之间的定位拆装；设于所述支撑板上的滑轨，所述滑轨的滑动方向垂直于所述上盖板的所在平面；以及定位板，所述定位板的上侧形状与所述喷淋板的外周形状相匹配以使所述定位板沿所述喷淋板的外周与所述喷淋板相固定，所述定位板的下侧与所述滑轨配合安装以使所述定位板带动所述喷淋板沿所述滑轨滑动至所述预设安装位置。2.如权利要求1所述的辅助拆装装置，其特征在于，还包括：定位插销，所述定位插销用于当所述喷淋板沿所述滑轨滑动至所述预设安装位置后，插入设于所述喷淋板侧周及所述上盖板对应位置上的定位孔内以实现所述喷淋板在所述上盖板上的定位。3.如权利要求1所述的辅助拆装装置，其特征在于，所述定位板在与所述喷淋板之间的接触面上设有多个沉头孔，用于与设于所述喷淋板上对应位置的螺纹孔相配合以实现所述定位板与所述喷淋板之间的定位与安装。4.如权利要求1所述的辅助拆装装置，其特征在于，还包括：非金属材料制成的第一垫片，所述第一垫片安装于所述喷淋板与所述定位板之间，其形状与所述喷淋板与所述定位板之间的接触面相匹配；以及非金属材料制成的第二垫片，所述第二垫片安装于所述支撑板与所述上盖板之间，其形状与所述支撑板与所述上盖板之间的接触面相匹配。5.如权利要求4所述的辅助拆装装置，其特征在于，所述第一垫片和所述第二垫片采用特氟龙材料。6.如权利要求1所述的辅助拆装装置，其特征在于，所述支撑板在与所述上盖板的接触面上设有定位销和螺钉孔，分别用于与设于所述上盖板上对应位置的定位孔与螺钉孔相配合以实现所述支撑板与所述上盖板之间的定位与安装。7.如权利要求1所述的辅助拆装装置，其特征在于，所述喷淋板的外周与所述上盖板的对应位置设有多个对称排布的螺钉孔。8.如权利要求1所述的辅助拆装装置，其特征在于，所述滑轨与所述支撑板之间、所述定位板与设于所述滑轨上的滑台之间采用螺钉固定方式安装固定。9.一种用于半导体薄膜制备装置中的喷淋板安装方法，采用如权利要求1所述的喷淋板的辅助拆装装置...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈庆尧，吴凤丽，刘振，刘润哲，
申请(专利权)人：拓荆科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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