测量治具、动作精度测量系统和动作精度测量方法技术方案

提供测量治具、动作精度测量系统和动作精度测量方法。短时间高精度地测量直线移动机构的动作精度。动作精度测量方法测量具有支承工作台、作业单元以及直线移动机构的装置中的直线移动机构的动作精度，将具有平面状的底面、与底面对置且平行的平行面和经由直线状的边界线而与平行面连接且相对于平行面倾斜的倾斜面的测量治具载置于支承工作台，调整测量治具的朝向以使边界线与进给方向平行，并调整测量治具和白光干涉仪的位置以便利用白光干涉仪同时观测平行面和倾斜面，使支承工作台和作业单元在进给方向上相对地直线移动并利用白光干涉仪观测平行面和倾斜面从而观测干涉条纹的变化，并根据观测到的干涉条纹的变化推算直线移动机构的动作精度。直线移动机构的动作精度。直线移动机构的动作精度。

【技术实现步骤摘要】
测量治具、动作精度测量系统和动作精度测量方法


[0001]本专利技术涉及用于测量使部件直线移动的直线移动机构的动作精度的测量治具、动作精度测量系统和动作精度测量方法。

技术介绍

[0002]搭载有半导体器件的器件芯片由半导体晶片或封装基板、陶瓷基板、玻璃基板等形成。将交叉的多条分割预定线设定于半导体晶片等的正面上，在由该分割预定线划分的各区域内形成半导体器件，之后当将该半导体晶片等沿着分割预定线进行分割时，能够形成各个器件芯片。
[0003]在半导体晶片等的分割中，例如使用切削装置。切削装置具有：卡盘工作台(支承工作台)，其对半导体晶片等被加工物进行吸引保持；以及切削单元，其对该卡盘工作台所保持的被加工物进行切削。卡盘工作台支承于工作台基座。切削单元具有圆环状的切削刀具。
[0004]在对被加工物进行切削时，切削装置使切削刀具在与被加工物的正面垂直的面内旋转，使切削单元和卡盘工作台沿着加工进给方向相对地移动，由此使切削刀具沿着分割预定线切入至被加工物。然后，为了沿着其他分割预定线对被加工物进行切削，在与加工进给方向垂直的分度进给方向上使切削单元和卡盘工作台相对地移动。
[0005]切削装置具有用于使切削单元和卡盘工作台相对地移动的各种移动机构。更详细而言，具有使卡盘工作台等在加工进给方向上移动的加工进给单元和使卡盘工作台等在分度进给方向上移动的分度进给单元等直线移动机构。
[0006]在切削装置中，若这些直线移动机构未适当地进行动作，则无法对被加工物实施规定的切削加工，因此期望测量各直线移动机构的动作精度即纵摇(pitching)和偏摆(yawing)。并且，在测量直线移动机构的动作精度时，使用用于在切削时在切削刀具与被加工物接触的加工点的附近测量纵摇和偏摆的测量治具(参照专利文献1)。该测量治具安装于切削单元而进行使用。
[0007]专利文献1：日本特开2017
‑
199777号公报
[0008]在使用该测量治具的情况下，在每次变更纵摇和偏摆等测量项目时，必须变更该测量治具的安装位置等。该安装位置的变更作业由作业者实施，因此成为在直线移动机构的动作精度的测量中花费时间的原因。另外，在期望测量的动作精度的测量项目中，除了纵摇和偏摆以外，还存在横摇(rolling)，但该测量治具无法用于横摇的测量。

技术实现思路

[0009]本专利技术是鉴于该问题点而完成的，其目的在于提供能够用于在短时间内高精度地测量直线移动机构的动作精度的测量治具、动作精度测量系统、动作精度测量方法。
[0010]根据本专利技术的一个方式，提供测量治具，其特征在于，该测量治具具有：平面状的底面；平行面，其与该底面对置且与该底面平行；以及倾斜面，其经由直线状的边界线而与
该平行面连接且相对于该平行面倾斜。
[0011]优选该倾斜面相对于该平行面的斜率为1/15000以上且1/5000以下。
[0012]另外，根据本专利技术的另一方式，提供动作精度测量系统，其对具有支承工作台、作业单元以及直线移动机构的装置中的该直线移动机构的动作精度进行测量，其中，该支承工作台具有支承面，对物体进行支承，该作业单元对该支承工作台所支承的物体实施加工或测量中的任意作业，该直线移动机构使该作业单元和该支承工作台沿着进给方向相对地进行直线移动，其特征在于，该动作精度测量系统包含：白光干涉仪，其能够观测该支承工作台上的通过该作业单元对物体实施作业的作业点，该白光干涉仪以能够在与该进给方向垂直的方向上移动的方式连接于该作业单元；以及测量治具，其具有平面状的底面、与该底面对置且与该底面平行的平行面以及经由直线状的边界线而与该平行面连接且相对于该平行面倾斜的倾斜面，按照使该边界线朝向与该进给方向平行的方向并且使该测量治具定位于能够在该白光干涉仪的观测范围内同时观测该平行面和该倾斜面的位置的方式将该测量治具载置于该支承工作台上或能够支承该支承工作台的工作台基座上，一边使该直线移动机构进行动作而使该作业单元和该测量治具在该进给方向上相对地进行直线移动，一边利用该白光干涉仪观测该测量治具的该平行面和该倾斜面的干涉条纹的变化，并根据该干涉条纹的变化而推算该直线移动机构的动作精度。
[0013]优选该测量治具的该倾斜面相对于该平行面的斜率为1/15000以上且1/5000以下。
[0014]根据本专利技术的又一方式，提供动作精度测量方法，对具有支承工作台、作业单元以及直线移动机构的装置中的该直线移动机构的动作精度进行测量，其中，该支承工作台具有支承面，对物体进行支承，该作业单元对该支承工作台所支承的物体实施加工或测量中的任意作业，该直线移动机构使该作业单元和该支承工作台沿着进给方向相对地进行直线移动，其特征在于，该动作精度测量方法包含如下的步骤：载置步骤，在该支承工作台上或能够支承该支承工作台的工作台基座上载置测量治具，其中，该测量治具具有平面状的底面、与该底面对置且与该底面平行的平行面以及经由直线状的边界线而与该平行面连接且相对于该平行面倾斜的倾斜面；调整步骤，按照该测量治具的该边界线与该进给方向平行的方式调整该测量治具的朝向，并且按照能够利用与该作业单元连接的白光干涉仪同时观测该平行面和该倾斜面的方式调整该测量治具和该白光干涉仪的位置；干涉条纹观测步骤，一边通过该直线移动机构使该作业单元和该测量治具在该进给方向上相对地进行直线移动，一边利用该白光干涉仪观测该平行面和该倾斜面而观测干涉条纹的变化；以及动作精度推算步骤，根据所观测的该干涉条纹的变化而推算该直线移动机构的动作精度。
[0015]优选在该动作精度推算步骤中，根据在该作业单元和该测量治具相对地移动的期间所观测的该倾斜面的该干涉条纹的倾斜的最大变化量而推算该动作精度的偏摆精度，根据在该作业单元和该测量治具相对地移动的期间所观测的该干涉条纹的明度的最大变化量而推算该动作精度的纵摇精度，通过对该作业单元和该测量治具相对地移动的期间所观测的该平行面上是否产生干涉条纹或该倾斜面的该干涉条纹的条纹间隔的变化进行观测，推算该动作精度的横摇精度。
[0016]另外，优选该测量治具的该倾斜面相对于该平行面的斜率为1/15000以上且1/5000以下。
[0017]在本专利技术的一个方式的测量治具、动作精度测量系统和动作精度测量方法中，该测量治具具有：平面状的底面；平行面，其与该底面对置且与该底面平行；以及倾斜面，其经由直线状的边界线而与该平行面连接且相对于该平行面倾斜。在推算使支承工作台和作业单元相对地进行直线移动的直线移动机构的动作精度时，将该测量治具载置于支承工作台上或能够支承该支承工作台的工作台基座上。并且，一边通过与作业单元连接的白光干涉仪观测测量治具的上表面一边使直线移动机构进行动作。
[0018]根据此时通过白光干涉仪观测的该平行面和该倾斜面中的干涉条纹的变化，能够高精度地测量直线移动机构的动作精度。例如不仅能够评价偏摆或纵摇，还能够评价横摇。这里，该测量治具无需在变更动作精度的测量项目时重置于支承工作台，仅通过使直线移动机构进行一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种测量治具，其特征在于，该测量治具具有：平面状的底面；平行面，其与该底面对置且与该底面平行；以及倾斜面，其经由直线状的边界线而与该平行面连接且相对于该平行面倾斜。2.根据权利要求1所述的测量治具，其特征在于，该倾斜面相对于该平行面的斜率为1/15000以上且1/5000以下。3.一种动作精度测量系统，其对具有支承工作台、作业单元以及直线移动机构的装置中的该直线移动机构的动作精度进行测量，其中，该支承工作台具有支承面，对物体进行支承，该作业单元对该支承工作台所支承的物体实施加工或测量中的任意作业，该直线移动机构使该作业单元和该支承工作台沿着进给方向相对地进行直线移动，其特征在于，该动作精度测量系统包含：白光干涉仪，其能够观测该支承工作台上的通过该作业单元对物体实施作业的作业点，该白光干涉仪以能够在与该进给方向垂直的方向上移动的方式连接于该作业单元；以及测量治具，其具有平面状的底面、与该底面对置且与该底面平行的平行面以及经由直线状的边界线而与该平行面连接且相对于该平行面倾斜的倾斜面，按照使该边界线朝向与该进给方向平行的方向并且使该测量治具定位于能够在该白光干涉仪的观测范围内同时观测该平行面和该倾斜面的位置的方式将该测量治具载置于该支承工作台上或能够支承该支承工作台的工作台基座上，一边使该直线移动机构进行动作而使该作业单元和该测量治具在该进给方向上相对地进行直线移动，一边利用该白光干涉仪观测该测量治具的该平行面和该倾斜面的干涉条纹的变化，并根据该干涉条纹的变化而推算该直线移动机构的动作精度。4.根据权利要求3所述的动作精度测量系统，其特征在于，该测量治具的该倾斜面相对于该平行面的斜率为1/15000以上且1/5000以下。5.一种动作精度测量方法，对具有支承工作台、作业单元以及直线移动机构的装置中的...

【专利技术属性】
技术研发人员：小田敦，斋藤良信，矢野紘英，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：