检测设备和检测方法技术

本申请实施方式提供一种的检测设备和检测方法。检测设备包括光发射器、第一分光组件、第二分光组件和传感器。光发射器用于发射参考光和检测光；第一分光组件用于将参考光分为第一状态的第一参考光和第二状态的第二参考光，第一状态和第二状态不同；第二分光组件用于将检测光分为第一状态的第一检测光和第二状态的第二检测光，第一检测光和第二检测光入射待测件的角度不同；传感器用于接收第一参考光和第二参考光，并接收被待测件反射的第一检测光和第二检测光，以生成检测图像。通过传感器生成的检测图像，可准确地区分不同角度的检测光的图像，进而更为完整地获取待测件的信息，检测效果较好。测效果较好。测效果较好。

【技术实现步骤摘要】
检测设备和检测方法


[0001]本申请涉及检测
，更具体而言，涉及一种检测设备和检测方法。

技术介绍

[0002]目前，在进行工件的检测时，通常使用照明光源照射待测件，以使得图像传感器能够获取较为清晰的待测件图像，以对待测件进行检测，然而，对于表面具有立体结构的待测件而言，由于存在光源照射的死角，导致待测件的信息采集不全，影响待测件的检测效果。

技术实现思路

[0003]本申请实施方式提供一种检测设备和检测方法。
[0004]本申请实施方式的检测设备包括光发射器、第一分光组件、第二分光组件和传感器。所述光发射器用于发射参考光和检测光；所述第一分光组件用于将所述参考光分为第一状态的第一参考光和第二状态的第二参考光，所述第一状态和所述第二状态不同；所述第二分光组件用于将所述检测光分为所述第一状态的第一检测光和所述第二状态的第二检测光，所述第一检测光和所述第二检测光入射待测件的角度不同；所述传感器用于接收所述第一参考光和所述第二参考光，并接收被所述待测件反射的所述第一检测光和所述第二检测光，以生成检测图像。
[0005]本申请实施方式的检测方法发射参考光和检测光；将所述参考光分为第一状态的第一参考光和第二状态的第二参考光，所述第一状态和所述第二状态不同；将所述检测光分为所述第一状态的第一检测光和所述第二状态的第二检测光，所述第一检测光和所述第二检测光入射待测件的角度不同；接收所述第一参考光和所述第二参考光，并接收被所述待测件反射的所述第一检测光和所述第二检测光，以生成检测图像。
>[0006]本申请实施方式的检测设备中，通过光发射器发射参考光和检测光，然后通过第一分光组件将参考光分为第一状态和第二状态的参考光，通过第二分光组件将检测光分为照射待测件的第一状态和第二状态的检测光，且第一状态和第二状态的检测光入射待测件的角度不同，以分别对待测件进行不同角度的照射，减少光线照射的死角，且入射到传感器的相同状态的参考光和检测光会形成干涉条纹，而不同状态的参考光和检测光形成的干涉条纹不同，从而能够从传感器生成的检测图像中，准确地区分不同角度的检测光的图像，进而更为完整地获取待测件的信息，检测效果较好。
[0007]本申请的实施方式的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实施方式的实践了解到。
附图说明
[0008]本申请的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施方式的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0009]图1是本申请某些实施方式的检测设备的结构示意图；
[0010]图2是本申请某些实施方式的检测设备的结构示意图；
[0011]图3是本申请某些实施方式的检测图像的平面示意图；
[0012]图4是本申请某些实施方式的明场图像的平面示意图；
[0013]图5是本申请某些实施方式的暗场图像的平面示意图；及
[0014]图6是本申请某些实施方式的检测方法的流程示意图。
具体实施方式
[0015]以下结合附图对本申请的实施方式作进一步说明。附图中相同或类似的标号自始至终表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。另外，下面结合附图描述的本申请的实施方式是示例性的，仅用于解释本申请的实施方式，而不能理解为对本申请的限制。
[0016]通常采用明场成像的方式进行工件的缺陷的检测，或者采用暗场成像的方式进行工件的缺陷的检测，明场成像能够在光学系统的分辨范围提供良好对比度的图像，而暗场成像能提供小于光学系统的分辨能力的微小缺陷的图像。在进行检测时，一般会先进行明场成像，再进行暗场成像，从而通过明场图像和暗场图像检测待测件的缺陷，可提升检测效果。然而，明场成像系统和暗场成像系统的光源亮度、成像角度等差异较大，若同时进行明场成像和暗场成像，则获取的明场图像和暗场图像容易混杂在一起难以区分。
[0017]请参阅图1，本申请实施方式的检测设备100包括光发射器10、第一分光组件20、第二分光组件30和传感器40。光发射器10用于发射参考光11和检测光12；第一分光组件20用于将参考光11分为第一状态的第一参考光13和第二状态的第二参考光14，第一状态和第二状态不同；第二分光组件30用于将检测光12分为第一状态的第一检测光15和第二状态的第二检测光16，第一检测光15和第二检测光16入射待测件200的角度不同；传感器40用于接收第一参考光13和第二参考光14，并接收被待测件200反射的第一检测光15和第二检测光16，以生成检测图像。
[0018]本申请实施方式的检测设备100中，通过光发射器10发射参考光11和检测光12，然后通过第一分光组件20将参考光11分为第一状态和第二状态的参考光11，通过第二分光组件30将检测光12分为照射待测件200的第一状态和第二状态的检测光12，且第一状态和第二状态的检测光12入射待测件200的角度不同，以分别对待测件200进行不同角度的照射，减少光线照射的死角，且入射到传感器40的相同状态的参考光11和检测光12会形成干涉条纹，而不同状态的参考光11和检测光12形成的干涉条纹不同，从而能够从传感器40生成的检测图像中，准确地区分不同角度的检测光12的图像(如从检测图像中，区分明场图像和暗场图像)，进而更为完整地获取待测件200的信息，检测效果较好。
[0019]请继续参阅图1，检测设备100包括光发射器10、第一分光组件20、第二分光组件30、传感器40和第一分光器50。第一分光器50可以是棱镜，第一分光器50可将光发射器10发出的光线分为参考光11和检测光12，检测光12的强度和参考光11的强度的比值为1:1，即检测光12的强度和参考光11的强度相同，以保证后续检测光12和参考光11入射传感器40后的干涉效果。在其他实施方式中，光发射器10为多个，如两个，两个光发射器10分别发射参考光11和检测光12。
[0020]光发射器10可以是光纤耦合光线光源(fiber laser)，光纤耦合光线光源发射的
光线受到外界因素的影响很小，能够实现高亮度的光线输出，对待测件200的照明效果较好。
[0021]在某些实施方式中，检测设备100还包括第一透镜61，第一透镜61设置在光发射器10的出射光路上，光发射器10发出的光线首先经过第一透镜61，第一透镜61会将光线进行扩束，并形成平行光，以提升光线的照射范围。
[0022]光发射器10发出的光线被第一分光器50分为参考光11和检测光12后，参考光11和检测光12以不同角度出射，参考光11和检测光12沿着不同的光路进入传感器40，参考光11的光路不经过待测件200，仅用于与检测光12形成干涉条纹，检测光12的光路经过待测件200，以对待测件200进行照射，被待测件200反射的检测光12携带待测件200的信息进入传感器40。
[0023]第一分光组件20位于参考光11的光路上，第一分光组件20包括第一偏振分光器21、第一反射器22、第二反射器23和第三反射器本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种检测设备，其特征在于，包括：光发射器，用于发射参考光和检测光；第一分光组件，用于将所述参考光分为第一状态的第一参考光和第二状态的第二参考光，所述第一状态和所述第二状态不同；第二分光组件，用于将所述检测光分为所述第一状态的第一检测光和所述第二状态的第二检测光，所述第一检测光和所述第二检测光入射待测件的角度不同；传感器，用于接收所述第一参考光和所述第二参考光，并接收被所述待测件反射的所述第一检测光和所述第二检测光，以生成检测图像。2.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述检测设备还包括第一分光器，所述第一分光器用于将光发射器发出的激光分为所述参考光和所述检测光；或者，所述光发射器为两个，两个所述光发射分别发射所述参考光和所述检测光。3.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述第一状态包括第一偏振态，所述第二状态包括第二偏振态，所述第一分光组件包括第一偏振分光器、第一反射器、第二反射器和第三反射器，所述参考光进入所述第一偏振分光器后，被分为所述第一偏振态的所述第一参考光和所述第二偏振态的所述第二参考光，所述第一反射器和第三反射器配合以调节所述第一参考光入射所述传感器的角度；所述第二反射器和第三反射器配合以调节所述第二参考光入射所述传感器的角度。4.根据权利要求3所述的检测设备，其特征在于，所述第一分光组件还包括第一衰减器，所述第一衰减器设置在第一反射器和所述第一偏振分光器之间，以调节所述第一参考光的强度。5.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述第一状态包括第一偏振态，所述第二状态包括第二偏振态，所述第二分光组件包括第二偏振分光器、第四反射器和第五反射器，所述检测光进入所述第二偏振分光器后，被分为所述第一偏振态的所述第一检测光和所述第二偏振态的所述第二检测光，所述第一检测光被所述第四反射器反射后，照射所述待测件，所述第二检测光被所述第五反射器反射后，照射所述待测件。6.根据权利要求5所述的检测设备，其特征在于，被所述第四反射器反射的所述第一检测光倾斜或垂直入射所述待测件...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈鲁，胡诗铭，刘健鹏，张鹏斌，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：