【技术实现步骤摘要】
一种解决盲孔底部镀层分离的加工方法
[0001]本专利技术涉及印制电路板
,具体涉及一种解决盲孔底部镀层分离的加工方法。
技术介绍
[0002]由于高科技的发展迅速,众多的电子产品都开始向轻薄短小的方向发展,而高密度互连板(HDI)适应市场的要求,走到了PCB技术发展的前沿。高密度互连印制板广泛应用于智能手机、平板电脑以及其他高端电子产品。
[0003]而高密度互连板在制作时需要进行成孔以及电镀填孔,所用到的成孔技术为激光成孔技术,目前激光成孔技术分为红外激光(也称为CO2)成孔技术和紫外激光(也称为UV)成孔技术两大类,其中红外激光成孔技术因其具有更高效和更稳定的技术特点,从而被业内更广泛地应用。
[0004]高密度互连板的材质为PTFE+陶瓷,由于材料本身的特性问题,经过红外激光成孔后,盲孔底部容易产生残留物。这种残留物难以去除,使得在后续的电镀填孔中,镀层与盲孔底部的附着力不佳,从而导致镀层与盲孔出现分离的缺陷,这种缺陷的出现将给高密度互连板的下游埋下可靠性隐患,因此需要找到一种有效的加工方法,用 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种解决盲孔底部镀层分离的加工方法,其特征在于,包括以下步骤:提供一用于制作高密度互连板的基板,利用二氧化碳激光在所述基板上铣出一盲孔,并得到所述盲孔的孔径;根据所述盲孔的孔径确定UV激光清扫的范围;根据确定的清扫范围,利用UV激光清扫所述盲孔的底部;利用除胶工艺去除UV激光清扫后所述盲孔底部的残留物,得到带有高附着力盲孔的基板。2.根据权利要求1所述的解决盲孔底部镀层分离的加工方法,其特征在于,所述除胶工艺为化学除胶,所述化学除胶的参数具体为:碱当量为0.6~1.3N,高锰酸钾为35~75g/L,比重为<1.25,温度为75~85℃,时间为10~15min。3.根据权利要求2所述的解决盲孔底部镀层分离的加工方法,其特征在于,所述除胶工艺为等离子除胶,所述等离子除胶的参数具体为:在升温阶段,采用氧气和氮气的混合气体,所述氧气的气体流量为1000~1500cc/min,所述氮气的气体流量为300~500cc/min,处理温度为70~90℃,处理时间为3~5min;在咬蚀阶段,采用氧气、四氟化碳以及氮气的混合气体,所述氧气的气体流量为1500~2000cc/min,所述四氟化碳的气体流量为150~220cc/min,所述氮气的气体流量为200~250cc/min,处理温度为70~90℃,处理时间为45~60min;在除灰阶段,采用氧气,所述氧气的气体流量为1000~1500cc/min,处理温度为70~90℃,处理时间为3~5min;在活化阶段,采用氮气和氢气的混合气体,所述氮气的气体流量为300~500cc/min,所述氢气的气体流量为1000~1500cc/min,处理温度为70~90℃,处理时间为30~40min。4.根据权利要求3所述的解决盲孔底部镀层分离的加工方法,其特征在于,所述等离子除胶的参数具体为:在升温阶段,所述氧气的气体流量为1500cc/min,所述氮气的气体流量为500cc/min,所述处理温度为90℃,所述处理时间为3min;在咬蚀阶段,所述氧气的气体流量为2000cc/min,所述四氟化碳的气体流量为220cc/min,所述氮气的气体流量为250cc/min,所述处理温度为90℃,所述处理时间为45~60min;在除灰阶段,所述氧...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘斌斌,何家添,关志锋,唐有军,
申请(专利权)人:广州杰赛电子科技有限公司中电科普天科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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