放射线检测器制造技术

本发明专利技术提供一种放射线检测器，其能够容易地安装具有半导体层的衬底和光照射机构。其具备：玻璃衬底（１１），其具有通过Ｘ射线的入射，变换为载流子的Ｘ射线感应型半导体（１４）；平面形状的光照射机构（２８），其设置在该玻璃衬底（１１）的Ｘ射线入射侧的相反侧，从而将Ｘ射线感应型半导体（１４）中残留的载流子用从光照射机构（２８）照射的光除去。在玻璃衬底（１１）和光照射机构（２８）之间夹有具有透光性的凝胶状粘接板（３２），并且光照射机构２８为平面形状，因此能够容易地安装玻璃衬底（１１）和光照射机构（２８）。此外，因为所夹有的粘接板（３２）具有透光性，所以从光照射机构（２８）照射的光不被遮蔽，能够透过粘接板（３２）照射到玻璃衬底（１１）上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于医疗领域、工业领域、及原子动力领域的放射线检测器。
技术介绍
如果以直接变换型的放射线检测器为例进行说明，则放射线检测器具备放射线感应型半导体(半导体层)，通过放射线的入射，放射线感应型半导体变换为载流子(电荷信息)，通过读出该变换后的载流子检测放射线。在半导体层的放射线入射侧的相反侧，收集载流子的多个载流子收集电极等二维状地排列构成，且这些放射线感应型半导体或载流子收集电极等形成在有源矩阵衬底上。作为放射线感应型半导体，例如使用非晶质的无定形硒(a-Se)膜。在无定形硒的情况下，通过真空蒸镀等方法能够简单地形成厚且宽的膜，所以适于构成可形成为大面积且厚膜的放射线检测器。在由无定形硒形成放射线感应型半导体的情况下，在各载流子收集电极间，载流子残留在放射线感应型半导体中。因而，存在由于所述载流子的残留而生成余像等的问题。因此，为去除所述载流子的残留，提出了在放射线的入射动作中或非照射时，从放射线入射侧的相反侧照射光的方法(例如，参照专利文献1、2)。并且，所述有源矩阵衬底通常难以加工，因为由石英玻璃形成所以容易损坏。因此，提出了在将放射线感应型半导体或载流子收集电极等形成在有源矩阵衬底上前，在有源矩阵衬底和具有刚性及热传导性的基材之间，夹有作为具有热传导性的粘弹性体的凝胶板，由此将有源矩阵衬底和基材预先粘接固定的方法(例如，参照专利文献3)。所述方法中，通过基材预先固定有源矩阵衬底，并通过凝胶板预先粘接，因此能够降低在形成放射线感应型半导体等时的应力或温度分布。专利文献1特开2004-146769号公报(第11-14页，图1-8)专利文献2特开2000-214297号公报(第6页，图3、4)专利文献3特开2001-281343号公报(第3-5页，图1、5)但是，在所述专利文献1、2的从放射线入射侧的相反侧照射光的方法中，如果将照射该光的光照射机构设置在有源矩阵衬底的放射线入射侧的相反侧，则不容易安装有源矩阵衬底和光照射机构。
技术实现思路
本专利技术鉴于此种问题而提出，目的在于提供一种放射线检测器，其能够容易地安装具有半导体层的衬底和光照射机构。为解决所述问题，专利技术者们得到以下见解。即，着眼于所述的专利文献3，想到将专利文献1、2和专利文献3进行组合。但是，如果仅是单纯地组合，则产生以下的弊端。即，如果夹有基材或凝胶板而安装以有源矩阵衬底为代表的衬底和光照射机构，则能够降低在有源矩阵衬底上形成以放射线感应型半导体等为代表的半导体层时的应力或温度分布，但是从光照射机构照射的光被基材或凝胶板遮蔽。因此得知，基体材料或凝胶板等夹有物质应由具有透光性的物质形成。基于此种见解的本专利技术如下构成。即，本专利技术第一方案为一种放射线检测器，其具备衬底，其具有通过放射线的入射，将所述放射线的信息变换为电荷信息的半导体层；平面形状的光照射机构，其设置在该衬底的放射线入射侧的相反侧，通过读出变换后的电荷信息来检测放射线，用从所述光照射机构照射的光除去所述半导体层中残留的电荷信息，该放射线检测器的特征在于，所述衬底和光照射机构通过在它们之间夹有具有透光性的物质而进行安装。根据本专利技术第一方案，其具备衬底，其具有通过放射线的入射，将放射线的信息变换为电荷信息的半导体层；平面形状的光照射机构，其设置在该衬底的放射线入射侧的相反侧，从而通过读出变换后的电荷信息来检测放射线，用从所述光照射机构照射的光除去所述半导体层中残留的电荷信息。此时，所述衬底和光照射机构之间夹有具有透光性的物质，并且光照射机构为平面形状，因此，能够容易地安装具有半导体层的衬底和光照射机构。此外，由于所夹有的物质具有透光性，所以从光照射机构照射的光不被遮蔽，能够透过具有透光性的物质照射在衬底上。在所述的专利技术中，具有透光性的物质的一例是凝胶状粘接板，该粘接板夹在衬底和光照射机构之间，从而粘接固定并安装衬底和光照射机构(本专利技术第二方案)。在粘接板的情况下，没有液体状粘接剂之类的粘接泄漏或者含有气泡的情况，能够在保持粘接性的状态下从光照射机构均匀地照射光。此外，因为是凝胶状所以冲击吸收性也优越。此外，具有透光性的物质的另一例是两面为平面形状的板材，该板材夹在衬底和光照射机构之间，从而固定并安装衬底和光照射机构(本专利技术第三方案)。在板材的情况下，通过夹有板材能够提高机械强度。而且，具有透光性的物质的又一例是凝胶状粘接板和两面为平面形状的板材，所述粘接板夹在衬底和所述板材之间，从而粘接固定并安装衬底和板材，板材夹在衬底和所述光照射机构之间，从而固定并安装衬底和光照射机构(本专利技术第四方案)。在粘接板及板材的情况下，为组合了所述本专利技术第二方案和本专利技术第三方案的专利技术。因而，一并起到了各自的专利技术的作用·效果。即，在夹于衬底和板材之间的粘接板的情况下，在衬底和板材间没有液体状粘接剂之类的粘接泄漏或者含有气泡的情况，能够在保持衬底和板材的粘接性的状态下从光照射机构均匀地照射光。此外，因为是凝胶状所以冲击吸收性也优越。而且，通过在衬底和光照射机构之间夹有板材能够提高机械强度。在具有透光性的物质为板材的情况下(本专利技术第三、四方案)，优选将板材的衬底侧的面进行粗糙面加工(本专利技术第五方案)。即使在板材和衬底之间含有气泡，在粗糙面加工的作用下，光也向多方向散射，因此，气泡的边界不明显，能够均匀地透过光。此外，在所述的专利技术中，平面形状的光照射机构的一例为具备平面形状的导光机构和在所述导光机构的端部设置的线状发光机构，所述导光机构包括在衬底侧设置的光漫射板、在衬底侧的相反侧设置的光反射板和夹持在这些板之间的透明板(本专利技术第六方案)。从线状发光机构照射的线状的各光在透明板中前进的同时，被光反射板向衬底侧反射，而且，被光漫射板散射的同时，向衬底及半导体层照射。光照射机构具备由所述板和透明板构成的导光机构和线状发光机构，因此能够薄化平面形状的光照射机构。光照射机构具备所述的导光机构和线状发光机构的情况下(本专利技术第六方案)，优选将光散射板的表面进行粗糙面加工(本专利技术第七方案)。即使在光漫射板的衬底侧(本专利技术第二、四方案的情况下光漫射板和粘接板之间)含有气泡，在粗糙面加工的作用下，光也向多方向散射，因此，气泡的边界不明显，能够均匀地透过光。此外，在所述的专利技术中，具有透光性的物质优选由热传导性大于衬底的材质形成(本专利技术第八方案)。将由热传导性大的材质形成的具有透光性物质预先安装在衬底上，由此能够降低将半导体层形成在衬底上时的应力或温度分布。并且，本说明书也公开了如下的制造放射线检测器的放射线检测器的制造方法的专利技术。(1)一种放射线检测器的制造方法，所述放射线检测器具备衬底，其具有通过放射线的入射，将所述放射线的信息变换为电荷信息的半导体层；平面形状的光照射机构，其设置在该衬底的放射线入射侧的相反侧，通过读出变换后的电荷信息来检测放射线，用从所述光照射机构照射的光除去所述半导体层中残留的电荷信息，该放射线检测器的制造方法的特征在于，所述衬底和光照射机构通过在它们之间夹有具有透光性且热传导性大于衬底的物质而进行安装，在该安装后在衬底上叠层形成所述半导体层，然后安装光照射机构。根据所述(1)记载的专利技术，将由热传导性大的材质形成的具有透光性的物质预先安装在衬底上，能够降低将半导体层形成在衬底上时的应力本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种放射线检测器，其具备：衬底，其具有通过放射线的入射，将所述放射线的信息变换为电荷信息的半导体层；平面形状的光照射机构，其设置在该衬底的放射线入射侧的相反侧，　通过读出变换后的电荷信息来检测放射线，用从所述光照射机构照射的光除去所述半导体层中残留的电荷信息，该放射线检测器的特征在于，所述衬底和光照射机构通过在它们之间夹有具有透光性的物质而进行安装。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐藤贤治，吉牟田利典，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：JP[日本]