工艺设备制造技术

技术编号:35885883 阅读:10 留言:0更新日期:2022-12-07 11:35
一种工艺设备,所述工艺设备包括:壳体,所述壳体内的工作环境为非大气环境;密封传输箱体,自所述壳体的表面嵌入至所述壳体内部,所述密封传输箱体包括:第一密封门,配置为连通和/或隔离所述密封传输箱体的内部环境和外界大气;以及第二密封门,配置为连通和/或隔离所述密封传输箱体的内部环境和所述壳体的内部环境;以及气体控制装置,设置在所述壳体上,配置为改变所述密封传输箱体的内部环境。置为改变所述密封传输箱体的内部环境。置为改变所述密封传输箱体的内部环境。

【技术实现步骤摘要】
工艺设备


[0001]本公开涉及制造设备领域,具体而言,涉及一种工艺设备,例如为喷墨成膜设备。

技术介绍

[0002]随着5G的普及,智能手机普及越来越广泛,作为手机的关键部件,屏幕被越来越重视,而OLED(有机发光二极管)屏幕由于轻薄、省电、显示效果好等特性,被越来越多的手机厂商所采用。而平板显示有机膜喷墨成膜设备作为OLED屏幕生产的核心设备,在生成制造过程中需要提供特定的制造环境。

技术实现思路

[0003]本公开提供一种工艺设备,包括:
[0004]壳体,所述壳体内的工作环境为非大气环境;
[0005]密封传输箱体,自所述壳体的表面嵌入至所述壳体内部,所述密封传输箱体包括:
[0006]第一密封门,配置为连通和/或隔离所述密封传输箱体的内部环境和外界大气;以及
[0007]第二密封门,配置为连通和/或隔离所述密封传输箱体的内部环境和所述壳体的内部环境;以及
[0008]气体控制装置,设置在所述壳体上,配置为改变所述密封传输箱体的内部环境。
[0009]在一些实施例中,所述密封传输箱体包括相邻的第一箱壁和第二箱壁,所述第一密封门和第二密封门分别设置在所述第一箱壁和第二箱壁上。
[0010]在一些实施例中,所述第一箱壁嵌设在所述壳体的表面上,所述第二箱壁位于所述壳体内部。
[0011]在一些实施例中,所述壳体的表面上开设有操作口,所述操作口上设置有密封手套。
[0012]在一些实施例中,所述操作口的数量为1个或更多个,至少一个操作口临近所述第二密封门,使得操作人员可以通过密封手套在所述密封传输箱体内执行操作。
[0013]在一些实施例中,所述第一密封门上设置有第一把手。
[0014]在一些实施例中,所述第二密封门上设置有第二把手。
[0015]在一些实施例中,气体控制装置包括与所述密封传输箱体连接的抽气装置。
[0016]在一些实施例中,气体控制装置包括与所述密封传输箱体连接的工作气体生成装置。
[0017]在一些实施例中,所述工艺设备包括喷墨成膜设备。
[0018]本公开实施例的上述方案可以有以下有益效果:
[0019]通过在工艺设备上设置密封传输箱体以及气体控制装置,使得工艺设备无需改变其内部的工作环境的情况下与外界完成耗材和/或配件交互,可以实现工艺设备的耗材和/或配件快速更换,尽量避免影响正常生成制造。
附图说明
[0020]此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分,示出了符合本公开的实施例,并与说明书一起用于解释本公开的原理。显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中:
[0021]图1为本公开一些实施例提供的工艺设备的结构示意图;
[0022]图2为图1中的密封传输箱体的结构示意图;
[0023]图3为图1中的密封传输箱体的结构示意图。
具体实施方式
[0024]为了使本公开的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合附图对本公开作进一步地详细描述,显然,所描述的实施例仅仅是本公开一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本公开中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本公开保护的范围。
[0025]在本公开实施例中使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的,而非旨在限制本公开。在本公开实施例和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式,除非上下文清楚地表示其他含义,“多种”一般包含至少两种。
[0026]应当理解,本文中使用的术语“和/或”仅仅是一种描述关联对象的关联关系,表示可以存在三种关系,例如,A和/或B,可以表示:单独存在A,同时存在A和B,单独存在B这三种情况。另外,本文中字符“/”,一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
[0027]应当理解,尽管在本公开实施例中可能采用术语第一、第二、第三等来描述,但不应限于这些术语。
[0028]还需要说明的是,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的商品或者装置不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种商品或者装置所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括一个”限定的要素,并不排除在包括所述要素的商品或者装置中还存在另外的相同要素。
[0029]在相关技术中,对于工工艺设备,例如为有机膜喷墨成膜设备等来说,在制造工艺中因为需要排除水、氧等环境因素对产品的影响,很多工艺设备在生产制造过程中都需要纯氮气(N2)环境,纯氮气环境的工艺设备在使用过程中存在以下问题:
[0030]工艺设备在执行生产制造的过程中不允许有高于5PPM氧气或10PPM水进入工艺设备避免对产品操作影响,由于日常大气中含有大量氧和水,工艺设备在在执行生产制造的过程中要保证完全密闭。
[0031]工艺设备在使用过程中,如果需要进行更换耗材和/或配件,相关技术中的更换耗材和/或配件的操作主要包括以下步骤:首先切换工艺设备内部环境自纯氮气环境(含氧量0%)到大气环境(含氧量约21%),操作人员从专门的维修门进入工艺设备内部进行耗材和/或配件更换,耗材和/或配件更换完成后,还需要将切换工艺设备内部环境自大气环境切换回纯氮气环境。这个更换耗材和/或配件的过程会花费3

5小时,大大的降低了工艺设备的利用率。如何能在纯氮气的生产环境中快速更换耗材和/或配件,又不会让空气进入到
工艺设备内部,是非常重要的发展方向。
[0032]为了克服上述问题,本公开提供一种工艺设备,包括:壳体,所述壳体内的工作环境为非大气环境;密封传输箱体,自所述壳体的表面嵌入至所述壳体内部,所述密封传输箱体包括:第一密封门,配置为连通和/或隔离所述密封传输箱体的内部环境和外界大气;以及第二密封门,配置为连通和/或隔离所述密封传输箱体的内部环境和所述壳体的内部环境;以及气体控制装置,设置在所述壳体上,配置为改变所述密封传输箱体的内部环境。通过在工艺设备上设置密封传输箱体以及气体控制装置,使得工艺设备无需改变其内部的工作环境的情况下与外界完成耗材和/或配件交互,可以实现工艺设备的耗材和/或配件快速更换,尽量避免影响正常生成制造。
[0033]下面结合附图详细说明本公开的可选实施例。
[0034]图1为本公开一些实施例提供的工艺设备的结构示意图;图2为图1中的密封传输箱体的结构示意图,其中第一密封门处于开启状态,第二密封门处于关闭状态;图3为图1中的密封传输箱体的结构示意图,其中第一密封门处于关闭状态,第二密封门处于开启状态。
[0035]如图1至图3所示,本公开提供一种工艺设备100,所述工艺设备100包括壳体10、密封传输箱体20以及气体控制装置30。
[0036]壳体本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种工艺设备,其特征在于,包括:壳体,所述壳体内的工作环境为非大气环境;密封传输箱体,自所述壳体的表面嵌入至所述壳体内部,所述密封传输箱体包括:第一密封门,配置为连通和/或隔离所述密封传输箱体的内部环境和外界大气;以及第二密封门,配置为连通和/或隔离所述密封传输箱体的内部环境和所述壳体的内部环境;以及气体控制装置,设置在所述壳体上,配置为改变所述密封传输箱体的内部环境。2.根据权利要求1所述的工艺设备,其中,所述密封传输箱体包括相邻的第一箱壁和第二箱壁,所述第一密封门和第二密封门分别设置在所述第一箱壁和第二箱壁上。3.根据权利要求2所述的工艺设备,其中,所述第一箱壁嵌设在所述壳体的表面上,所述第二箱壁位于所述壳体内部。4.根据权利要求1至3中任一项所述的工艺设备,其中,所述壳体...

【专利技术属性】
技术研发人员:周长生
申请(专利权)人:科迪华显示技术绍兴有限公司
类型:新型
国别省市:

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