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文档序号:35885883

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一种工艺设备,所述工艺设备包括:壳体,所述壳体内的工作环境为非大气环境;密封传输箱体,自所述壳体的表面嵌入至所述壳体内部,所述密封传输箱体包括:第一密封门,配置为连通和/或隔离所述密封传输箱体的内部环境和外界大气;以及第二密封门,配置为连通...
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