一种金刚线单线截断机的截断回转装置制造方法及图纸

技术编号:35865980 阅读:18 留言:0更新日期:2022-12-07 10:58
本实用新型专利技术涉及一种金刚线单线截断机的截断回转装置,包括设置于工作台上的截断回转支架、固定设置于截断回转支架上的驱动单元。驱动单元具有回转端面,回转端面用于固定安装待切割的晶棒。回转端面所在的中心轴线与晶棒的中心轴线重合,且晶棒的中心轴线与其切割轮上的金刚线互相垂直。在晶棒截断加工过程中,驱动单元驱动晶棒做往复回转运动。通过在驱动单元的一端面安装有晶棒,且晶棒中心轴线与切割轮上的金刚线互相垂直,在金刚线切入晶棒后,通过驱动单元转动进而带动晶棒沿其中心轴线旋转,以完成切片,避免了完全依靠切割轮的进给装置驱动,同时降低了切片的难度缩短了切片时间进而提高了切片效率。片时间进而提高了切片效率。片时间进而提高了切片效率。

【技术实现步骤摘要】
一种金刚线单线截断机的截断回转装置


[0001]本技术涉及光晶棒截断
,尤其涉及一种金刚线单线截断机的截断回转装置。

技术介绍

[0002]金刚线单线截断机可对众多材料进行切割,其中,就包含有半导体晶体硅,半导体晶体硅在常温下导电性能介于导体与绝缘体之间,单晶硅是一种重要的半导体材料,用于制造大功率晶体管、整流器、太阳能电池等。
[0003]现有的晶棒截断生产加工,一般通过进给装置带动切割轮朝向晶棒运动,从而使得切割轮上的金刚线做高速旋转往复回转以对晶棒进行切割截断,但是现有的截断仅采用进给装置驱动切割轮沿晶棒的顶端垂直向下运动直至向下完全切断晶棒,因此,对进给装置的工作进程以及工作精度均有较高的要求方能满足,导致切割时间长,进而影响晶棒的切割效率。

技术实现思路

[0004](一)要解决的技术问题
[0005]鉴于现有技术的上述缺点、不足,本技术提供一种金刚线单线截断机的截断回转装置,其解决了切割时间长,晶棒的切割效率低的技术问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为了达到上述目的,本技术采用的主要技术方案包括:
[0008]本技术实施例提出的一种金刚线单线截断机的截断回转装置,包括设置于工作台上的截断回转支架、固定设置于截断回转支架上的驱动单元;
[0009]所述驱动单元具有回转端面,所述回转端面用于固定安装待切割的晶棒;
[0010]所述回转端面的中心轴线与所述晶棒的中心轴线重合,且所述晶棒的中心轴线与其切割轮上的金刚线互相垂直;
[0011]所述驱动单元能够驱动所述晶棒做往复回转运动。
[0012]可选地,所述驱动单元包括截断回转电机和截断回转轴;
[0013]所述截断回转电机通过截断减速器与所述截断回转轴相连;
[0014]所述回转端面所述截断回转轴的一端面。
[0015]可选地,所述截断回转轴的直径大于所述晶棒的直径。
[0016]可选地,所述截断回转电机为伺服电机。
[0017]可选地,所述晶棒一端面粘接在所述驱动单元的端面上。
[0018]可选地,还包括水平进给装置,所述水平进给装置设置于所述工作台上,且能够相对于所述工作台沿水平方向做直线往复运动;
[0019]所述截断回转支架固定设置于所述水平进给装置。
[0020]可选地,所述水平进给装置包括水平进给电机、水平导轨、水平调节丝杠和水平台
面;
[0021]所述水平进给电机固定设置于所述工作台上,所述水平进给电机的输出端通过水平减速器与所述水平调节丝杠相连;
[0022]所述水平导轨固定安装于所述工作台上;
[0023]所述水平调节丝杠具有能够将旋转运动转化成直线运动的丝杠螺母,所述丝杠螺母与所述水平台面相连;所述水平台面与所述水平导轨滑动连接。
[0024]可选地,还包括切片承接平台,所述切片承接平台用于承接切割下的晶片。
[0025]可选地,还包括截断回转控制箱,所述驱动单元部分设置于所述截断回转控制箱内。
[0026]可选地,所述回转支架包括依次相连的第一连接片、第一竖梁、横梁、第二竖梁和连接片;
[0027]所述第一连接片与所述连接片均与所述水平台面相抵触并通过螺栓相连;
[0028]所述第一竖梁与所述第二竖梁互相平行设置;所述横梁设置于所述第一竖梁和所述第二竖梁的顶部,所述横梁用于放置所述截断回转控制箱。
[0029](三)有益效果
[0030]本技术的有益效果是:本技术的一种金刚线单线截断机的截断回转装置,通过在驱动单元的一端面安装有晶棒,且晶棒中心轴线与切割轮上的金刚线互相垂直,在金刚线切入晶棒后,通过驱动单元转动进而带动晶棒沿其中心轴线旋转,以完成切片,避免了完全依靠切割轮的进给装置驱动,同时降低了切片的难度缩短了切片时间进而提高了切片效率。
附图说明
[0031]图1为本技术的用于金刚线单线截断机的主视结构立体图;
[0032]图2为本技术的切割头主体部分安装的立体结构示意图;
[0033]图3为本技术的用于金刚线单线截断机的中间部分俯视结构示意图;
[0034]图4为图3的左侧结构示意图。
[0035]【附图标记说明】
[0036]1:回转支架;102:第一竖梁;103:横梁;104:第二竖梁;105:连接片;2:工作台;3:驱动单元;31:截断回转电机;32:截断回转轴;33:截断减速器;4:过轮;5:晶棒外圆切割回转装置;51:外圆切割回转电机;52:外圆切割减速器;53:齿轮组;54:齿轮带;55:外圆切割轴;57:第一支架;7:水平进给装置;71:水平进给电机;72:水平减速器;73:水平导轨;74:水平调节丝杠;75:水平台面;8:切片承接平台;9:截断回转控制箱;100:晶棒;11:支撑部;12:进给组件;121:进给导轨;122:连接箱;1221:连接壁;1222:第一侧壁;1223:第二侧壁;123:安装挡板;124:连接滑台;13:切割轮主体; 30:防尘罩。
具体实施方式
[0037]为了更好的解释本技术,以便于理解,下面结合附图,通过具体实施方式,对本技术作详细描述。其中,本文所提及的“上”、“下”、“前”和“后”等方位名词以图1的定向为参照。将工作台2 所在的一侧定义为“下”;将工作台2的两侧定义为“左”和“右”;将工
作台水平进给装置相对于切割头所在的一侧定义为“前”。图1中朝向纸面向里的方向为水平方向。
[0038]参见图1所示,一种金刚线单线截断机包括工作台2,晶棒外圆切割回转装置5和晶棒截断回转装置以及分体式切割头。且分体式切割头设置于工作台2的左右两侧。
[0039]工作台2的中心正上方设置有水平进给装置7,水平进给装置7设置于工作台2上,且能够相对于工作台2沿水平方向做直线往复运动。水平进给装置7用于放置晶棒外圆切割回转装置5和晶棒截断回转装置。且晶棒外圆切割回转装置5和晶棒截断回转装置上分别通过胶粘在晶棒外圆切割回转装置5和晶棒截断回转装置的端面上,进而对晶棒100的固定更牢靠,以使固定的晶棒100作为待切割的晶棒100,分别在晶棒外圆切割回转装置5和晶棒截断回转装置上进行外圆切割回转以及截断回转且能够带动晶棒100沿水平方向往复直线运动即前后方向的运动。
[0040]晶棒外圆切割回转装置5设置于水平进给装置7上,且位于分体式切割头下方,晶棒外圆切割回转装置5具有与金刚线平行的中心回转轴线,晶棒外圆切割回转装置5能够带动晶棒100沿其中心回转轴线做往复回转运动。
[0041]进一步地,参见图1和图3所示,晶棒外圆切割回转装置5包括固定设置于第一支架57上的第一主控制箱56、设置于第一主控制箱56内的外圆切割回转电机51、外圆切割回转电机51通过外圆切割减速器52 与齿轮组53相连,齿轮组53的外部套接有齿轮带54,通本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种金刚线单线截断机的截断回转装置,其特征在于,包括设置于工作台(2)上的截断回转支架(1)、固定设置于截断回转支架(1)上的驱动单元(3);所述驱动单元(3)具有回转端面,所述回转端面用于固定安装待切割的晶棒(100);所述回转端面的中心轴线与所述晶棒(100)的中心轴线重合,且所述晶棒(100)的中心轴线与其切割轮上的金刚线互相垂直;所述驱动单元(3)能够驱动所述晶棒(100)做往复回转运动。2.如权利要求1所述的金刚线单线截断机的截断回转装置,其特征在于,所述驱动单元(3)包括截断回转电机(31)和截断回转轴(32);所述截断回转电机(31)通过截断减速器(33)与所述截断回转轴(32)相连;所述回转端面为所述截断回转轴(32)的一端面。3.如权利要求2所述的金刚线单线截断机的截断回转装置,其特征在于,所述截断回转轴(32)的直径大于所述晶棒(100)的直径。4.如权利要求2所述的金刚线单线截断机的截断回转装置,其特征在于,所述截断回转电机(31)为伺服电机。5.如权利要求1所述的金刚线单线截断机的截断回转装置,其特征在于,所述晶棒(100)一端面粘接在所述驱动单元(3)的端面上。6.如权利要求1所述的金刚线单线截断机的截断回转装置,其特征在于,还包括水平进给装置(7),所述水平进给装置(7)设置于所述工作台(2)上,且能够相对于所述工作台(2)沿水平方向做直线往复运动;所述截断回转支架(1)固定设置于所述水平进给装置(7)...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘秀坤李柱赵祥驰白雪情蔡震
申请(专利权)人:大连连城数控机器股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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