切片机的调节方法技术

技术编号:35815981 阅读:16 留言:0更新日期:2022-12-03 13:39
本申请涉及一种切片机的调节方法,该切片机的调节方法包括以下步骤:建立金刚线的进刀量对应升降电机的电流值或者主轴电机的电流值的第一函数关系式。调整升降电机的转速值,以使升降电机的电流值处于第一预设范围值内,或者,以使主轴电机的电流值处于第二预设范围值内。建立金刚线的进刀量对应升降电机的转速值的第二函数关系式,调节不同进刀位置时,对应升降电机的转速值大小,以使升降电机的电流值处于第一预设范围值内,或者,以使主轴电机的电流值处于第二预设范围值内。本申请提供的切片机的调节方法能够降低金刚线的形变程度,且确保切片机的切割效率。且确保切片机的切割效率。且确保切片机的切割效率。

【技术实现步骤摘要】
切片机的调节方法


[0001]本申请涉及硅片加工
,特别是涉及一种切片机的调节方法。

技术介绍

[0002]通常,切片机通过升降机构带动硅棒朝向金刚线移动,以使金刚线将硅棒切割成硅片,并且,多列金刚线组成的线网受到硅棒的压力作用后会变形成弓形。进一步地,如果金刚线变形程度过大,则会引起线网整体波动,进而导致金刚线的张力不稳,甚至引起金刚线断线或导致硅片的良率下降等诸多问题。

技术实现思路

[0003]基于此,有必要提供一种切片机的调节方法,该切片机的调节方法能够降低金刚线的形变程度,且确保切片机的切割效率。
[0004]本申请提供的切片机的调节方法,包括以下步骤:测量升降机构相对金刚线的进刀量对应升降电机的电流值或者对应主轴电机的电流值,并建立金刚线的进刀量对应升降电机的电流值或者主轴电机的电流值的第一函数关系式。根据第一函数关系式,调整升降电机的转速值,以使升降电机的电流值或者主轴电机的电流值满足以下条件,当升降电机的电流值大于第一预设范围值,或者主轴电机的电流值大于第二预设范围值时,降低升降电机的转速值,以使升降电机的电流值处于第一预设范围值内,或者,以使主轴电机的电流值处于第二预设范围值内,当升降电机的电流值小于第一预设范围值时,或者主轴电机的电流值小于第二预设范围值时,提高升降电机的转速值,以使升降电机的电流值处于第一预设范围值内,或者,以使主轴电机的电流值处于第二预设范围值内。建立金刚线的进刀量对应升降电机的转速值的第二函数关系式,根据第二函数关系式,调节不同进刀位置时,对应升降电机的转速值大小,以使升降电机的电流值处于第一预设范围值内,或者,以使主轴电机的电流值处于第二预设范围值内。
[0005]在其中一个实施例中,切片机的调节方法还包括以下步骤:根据第一函数关系式,调节主轴电机的转速值,当升降电机的电流值大于第一预设范围值,或者,主轴电机的电流值大于第二预设范围值时,提高主轴电机的转速值,以使升降电机的电流值处于第一预设范围值内,或者,以使主轴电机的电流值处于第二预设范围值内。当升降电机的电流值小于第一预设范围值,或者,主轴电机的电流值小于第二预设范围值时,降低主轴电机的转速值,以使升降电机的电流值处于第一预设范围值内,或者,以使主轴电机的电流值处于第二预设范围值内。
[0006]在其中一个实施例中,升降电机电连接连接第一变频器,通过调节第一变频器的频率值控制升降电机的转速值。
[0007]在其中一个实施例中,主轴电机电连接连接第二变频器,通过调节第二变频器的频率值控制主轴电机的转速值。
[0008]在其中一个实施例中,通过第一万用表测量升降电机的电流值;
[0009]在其中一个实施例中,通过第二万用表测量主轴电机的电流值。
[0010]在其中一个实施例中,切片机还设有报警器,报警器分别电连接用于测量升降电机的电流值的第一万用表和升降电机,当升降电机的电流值大于第一预设范围值时,第一万用表能够向报警器传输信号,且报警器能够发出警报并控制升降电机停止工作。
[0011]在其中一个实施例中,通过位移传感器测量金刚线的进刀量。
[0012]在其中一个实施例中,设置多个金刚线的进刀量位置测量点,以通过进刀位置测量点测量金刚线的进刀位置,且相连进刀位置测量点的距离相等。
[0013]在其中一个实施例中,还包括以下步骤:切割前,根据切割时间或者升降机构相对金刚线的进刀量将切片机的切割过程分为多段,记录每段切割过程中,升降电机的电流值大于第一预设范围值前的切片机的切割持续时间T1,以及,主轴电机的电流值大于第二预设范围值前的切片机的切割持续时间T2,并取T1和T2中的较小值。开始切割时,利用控制系统判断切割机处于第几段切割过程,并且,控制系统实时检测升降电机的电流值、升降电机的转速值、主轴电机的电流值和主轴电机的转速值,当控制系统检测到升降电机的电流变化、升降电机的转速变化、主轴电机的电流变化和主轴电机的转速变化和历史数据中升降电机的电流值大于第一预设范围值前的变化数据或者历史数据中主轴的电流值大于第二预设范围值前的变化数据一致时,在切片机到达切割持续时间T1或者T2之前,控制升降电机的升降速度降低5%

10%,或者控制主轴电机的转速提高5%

10%。如果升降电机的电流值继续大于第一预设范围值,或者,主轴电机的电流值继续大于第二预设范围值,则将控制系统在上述开始切割后的调节过程记录在错误调节数据库中,当控制系统检测到升降电机的电流变化、升降电机的转速变化、主轴电机的电流变化和主轴电机的转速变化和历史数据中升降电机的电流值大于第一预设范围值前的变化数据或者历史数据中主轴的电流值大于第二预设范围值前的变化数据一致时,控制系统调用对应的错误调节数据库,并基于错误调节数据库的数据,控制升降电机的升降速度降低10%

15%,或者控制主轴电机的转速提高10%

15%。如果升降电机的电流值始终保持小于或等于第一预设范围值,或者,主轴电机的电流值始终保持小于或等于第二预设范围值,则本次调节的数据记录在正确调节数据库中。
[0014]在其中一个实施例中,基于每段切割过程中的升降电机的电流波动图或者主轴电机的电流波动图,设定电流调节系数t满足,α≤t≤β,进一步设定升降电机的电流值为每段切割过程中的升降电机的电流平均值乘以电流调节系数t,并且,设定主轴电机的电流值为每段切割过程中的主轴电机的电流平均值乘以电流调节系数t。当在预设时间内,升降电机的电流值始终低于切割过程中的升降电机的电流平均值乘以电流调节系数t之后的设定值,则逐渐提高升降电机的转速,以使升降电机的电流值大于或等于切割过程中的升降电机的电流平均值乘以电流调节系数t之后的设定值。或者,当在预设时间内,主轴电机的电流值始终低于切割过程中的主轴电机的电流平均值乘以电流调节系数t之后的设定值,则逐渐提高主轴电机的转速,以使主轴电机的电流值大于或等于切割过程中的主轴电机的电流平均值乘以电流调节系数t之后的设定值。
[0015]在其中一个实施例中,测量升降机构相对金刚线的进刀量和对应金刚线的形变量,并建立金刚线的进刀量和金刚线的形变量的第五函数关系式。根据第五函数关系式和第二函数关系式,得到,金刚线的进刀量和升降电机的电流值的第一函数关系式。
[0016]与现有技术相比,本申请提供的切片机的调节方法,当金刚线900的形变量增大时,升降机构800受到的阻力增大,进而升降电机400对应的输出功率增大,并且,升降电机400的电流值和升降电机400的输出功率呈正相关,因此,升降电机400的电流值也越大,也即,金刚线900的形变量和升降电机400的电流值呈正相关。同样的,当金刚线900的形变量增大时,金刚线900和升降机构800之间的摩擦力增大,进而主轴电机对应的输出功率也增大,并且,主轴电机的电流值和主轴电机的输出功率呈正相关,因此,主轴电机的电流值也越大,也即,金刚线900的形变量和主轴电机的电流值呈正相关。因此,由以上本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种切片机的调节方法,其特征在于,包括以下步骤:测量升降机构(800)相对金刚线(900)的进刀量和对应升降电机(400)的电流值或者主轴电机的电流值,并建立金刚线(900)的进刀量对应升降电机(400)的电流值或者主轴电机的电流值的第一函数关系式;根据第一函数关系式,调整升降电机(400)的转速值,以使升降电机(400)的电流值或者主轴电机的电流值满足以下条件,当升降电机(400)的电流值大于第一预设范围值,或者主轴电机的电流值大于第二预设范围值时,降低升降电机(400)的转速值,以使升降电机(400)的电流值处于第一预设范围值内,或者,以使主轴电机的电流值处于第二预设范围值内,当升降电机(400)的电流值小于第一预设范围值时,或者主轴电机的电流值小于第二预设范围值时,提高升降电机(400)的转速值,以使升降电机(400)的电流值处于第一预设范围值内,或者,以使主轴电机的电流值处于第二预设范围值内;建立金刚线(900)的进刀量对应升降电机(400)的转速值的第二函数关系式,根据第二函数关系式,调节不同进刀位置时,对应升降电机(400)的转速值大小,以使升降电机(400)的电流值处于第一预设范围值内,或者,以使主轴电机的电流值处于第二预设范围值内。2.根据权利要求1所述的切片机的调节方法,其特征在于,切片机的调节方法还包括以下步骤:根据第一函数关系式,调节主轴电机的转速值,当升降电机(400)的电流值大于第一预设范围值,或者,主轴电机的电流值大于第二预设范围值时,提高主轴电机的转速值,以使升降电机(400)的电流值处于第一预设范围值内,或者,以使主轴电机的电流值处于第二预设范围值内;当升降电机(400)的电流值小于第一预设范围值,或者,主轴电机的电流值小于第二预设范围值时,降低主轴电机的转速值,以使升降电机(400)的电流值处于第一预设范围值内,或者,以使主轴电机的电流值处于第二预设范围值内。3.根据权利要求1所述的切片机的调节方法,其特征在于,升降电机(400)电连接连接第一变频器,通过调节第一变频器的频率值控制升降电机(400)的转速值;及/或,主轴电机电连接连接第二变频器,通过调节第二变频器的频率值控制主轴电机的转速值。4.根据权利要求1所述的切片机的调节方法,其特征在于,通过第一万用表测量升降电机(400)的电流值;及/或,通过第二万用表测量主轴电机的电流值。5.根据权利要求4所述的切片机的调节方法,其特征在于,切片机还设有报警器,报警器分别电连接用于测量升降电机(400)的电流值的第一万用表和升降电机(400),当升降电机(400)的电流值大于第一预设范围值时,第一万用表能够向报警器传输信号,且报警器能够发出警报并控制升降电机(400)停止工作。6.根据权利要求1所述的切片机的调节方法,其特征在于,通过位移传感器(100)测量金刚线(900)的进刀量。7.根据权利要求1所述的切片机的调节方法,其特征在于,设置多个金刚线(900)的进刀量位置测量点,以通过进刀位置测量点测量金刚线(900)的进刀位置,且相连进刀位置测量点的距离相等。8.根据权利要求1所述的切片机的调节方法,其特征在于,还包括以下步骤:切割前,根据切割时间或者升降机构(800)相对金刚线(900)的进刀量将切片机的切割
过程分为多段...

【专利技术属性】
技术研发人员:曹建伟朱亮卢嘉彬王金荣邱文杰周锋黄佳辉郭钬
申请(专利权)人:浙江晶盛机电股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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