【技术实现步骤摘要】
一种用于靶材加工的加热装置
[0001]本技术涉及靶材加工
，具体为一种用于靶材加工的加热装置。
技术介绍
[0002]靶材主要由靶坯、背板等部分组成:其中，靶坯是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。
[0003]现有的靶材加热装置在加热过程中为了保证靶材的稳定性，需要多个螺丝和固定块配合将靶材进行夹持固定，而且经过加热的靶材温度较高，因此非常的不便于工人对靶材的拿取，因此有必要进行改进。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种用于靶材加工的加热装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于靶材加工的加热装置，包括底座，所述底座的两侧设有支撑柱，两个所述支撑柱的上方固定支撑有加热筒，位于所述支撑柱内侧的底座上设有电动推杆，两侧所述电动推杆的上方固定有密封板，所述密封板的中间设有电动丝杆，所述电动丝杆上设有靶材夹持组件，所述靶材夹持组件正对加热筒下方。
[00...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于靶材加工的加热装置，包括底座1，其特征在于：所述底座1的两侧设有支撑柱11，两个所述支撑柱11的上方固定支撑有加热筒2，位于所述支撑柱11内侧的底座1上设有电动推杆12，两侧所述电动推杆12的上方固定有密封板13，所述密封板13的中间设有电动丝杆3，所述电动丝杆3上设有靶材夹持组件4，所述靶材夹持组件4正对加热筒2下方。2.根据权利要求1所述的一种用于靶材加工的加热装置，其特征在于：所述靶材夹持组件4包括靶材座41，所述靶材座41的两侧设有延伸板42，每侧所述延伸板42上均设有滑槽421，所述滑槽421的前端设有横向限位柱43，所述滑槽421上还设有夹块44，所述夹块44的底部设有一个向下延伸的限位块441，所述限位块441前端连接着拉扯带45的一端，所述拉扯带45绕于限位柱43后，所述拉扯带45的另一端连接着矩形块46，所述矩形块46的两侧设有滑条46...
【专利技术属性】
技术研发人员：谭明强，
申请(专利权)人：南通鑫凯锐新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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