一种用于靶材加工的真空镀膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于靶材加工的真空镀膜装置，包括底座，所述底座的两侧设有支撑架，两侧所述支撑架的顶部设有安装板，所述安装板的下方安装有上真空组件，位于所述上真空组件的下方设有与之相对应的下正空组件，所述下真空组件的底部设有转轴，所述转轴上设有齿轮，所述转轴的下方活动连接着电动推杆，所述电动推杆安装在底座上；本实用新型专利技术结构简单，设计新颖，密封性能好，通过特设的密封护罩、第一密封环和第二密封环，能够很好的将真空腔和真空腔盖板进行密封。空腔和真空腔盖板进行密封。空腔和真空腔盖板进行密封。

【技术实现步骤摘要】
一种用于靶材加工的真空镀膜装置


[0001]本技术涉及靶材加工
，具体为一种用于靶材加工的真空镀膜装置。

技术介绍

[0002]镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源；简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。更换不同的靶材，即可得到不同的膜系。
[0003]现有的用于靶材加工的真空镀膜装置，密封性较差，而且在机械运转时，会伴随有震动产生，真空腔和真空腔盖板连接不够紧密，容易松脱，因此有必要进行改进。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种用于靶材加工的真空镀膜装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于靶材加工的真空镀膜装置，包括底座，所述底座的两侧设有支撑架，两侧所述支撑架的顶部设有安装板，所述安装板的下方安装有上真空组件，位于所述上真空组件的下方设有与之相对应的下真空组件，所述下真空组件的底部设有转轴，所述转轴上设有齿轮，所述转轴的下方活动连接着电动推杆，所述电动推杆安装在底座上；
[0006]所述上真空组件包括真空腔盖板，所述真空腔盖板的下端面上设有一圈外螺纹连接环，所述真空腔盖板的外围设有一圈密封护罩，所述密封护罩的两侧均设有减震杆，所述减震杆的一端固定在支撑架上。/>[0007]优选的，所述下真空组件包括真空腔，所述真空腔的底部外围设有一圈第一密封环，所述真空腔的顶部设有一圈第二密封环，所述真空腔的上端内壁上设有一圈内螺纹；
[0008]所述真空腔盖板盖于真空腔上时，所述密封护罩包覆于真空腔外围，所述密封护罩的底部贴合于第一密封环上，所述外螺纹连接环与内螺纹相齿合，所述第二密封环与真空腔盖板贴合。
[0009]优选的，真空腔盖板的上端面上设有气管，所述气管与真空腔盖板的交接处设有一个出气阀，所述气管连接着真空泵。
[0010]优选的，所述真空腔的腔壁内设有螺旋状的加热管，所述加热管通过导线连接着加热电源，所述加热电源安装在真空腔的底部外壁上。
[0011]优选的，一侧所述支撑架上设有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆前端设有齿条，所述齿条与齿轮相匹配。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术结构简单，设计新颖，密封性能好，通过特设的密封护罩、第一密封环和第二密封环，能够很好的将真空腔和真空腔
盖板进行密封；另外通过在真空腔和真空腔盖板分别设置内螺纹和外螺纹连接环，能够很好的将真空腔和真空腔盖板之间拧合固定，从而能够防止机械运转时产生震动，导致的真空腔和真空腔盖板的松脱。
附图说明
[0013]图1为本技术整体结构示意图;
[0014]图2为本技术上真空组件结构示意图;
[0015]图3为本技术下真空组件结构示意图;
[0016]图4为本技术下真空组件俯视结构示意图。
具体实施方式
[0017]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0018]请参阅图1，本技术提供一种技术方案：一种用于靶材加工的真空镀膜装置，包括底座1，所述底座1的两侧设有支撑架11，两侧所述支撑架11的顶部设有安装板12，所述安装板12的下方安装有上真空组件2，位于所述上真空组件2的下方设有与之相对应的下真空组件3，当上真空组件和下真空组件闭合后就会形成一个真空区；
[0019]该所述下真空组件3的底部设有转轴4，所述转轴4上设有齿轮41，所述转轴4的下方活动连接着电动推杆42，这样下真空组件可以在电动推杆上转动，所述电动推杆42安装在底座1上，当启动电动推杆后可以推动下真空组件上移，直至上真空组件和下真空组件闭合；
[0020]该所述上真空组件2包括真空腔盖板21，所述真空腔盖板21的下端面上设有一圈外螺纹连接环22，所述真空腔盖板21的外围设有一圈密封护罩23，所述密封护罩23的两侧均设有减震杆231，所述减震杆231的一端固定在支撑架11上，不仅能增加上真空组件的支撑稳定性，还能够有效的缓解震动；
[0021]该所述下真空组件3包括真空腔31，所述真空腔31的底部外围设有一圈第一密封环32，用于增加密封性能，所述真空腔31的顶部设有一圈第二密封环33，同样用于增加密封性能，所述真空腔31的上端内壁上设有一圈内螺纹34；
[0022]上述实施例中，当所述真空腔盖板21盖于真空腔31上时，所述密封护罩23包覆于真空腔31外围，所述密封护罩23的底部贴合于第一密封环32上，所述第二密封环33与真空腔盖板21贴合，所述外螺纹连接环22与内螺纹34相齿合，随后转动齿轮即可使真空腔旋转，从而使外螺纹连接环22与内螺纹34相互拧紧。
[0023]本实施例中，通过在真空腔盖板21的上端面上设有气管211，所述气管211与真空腔盖板21的交接处设有一个出气阀213，所述气管211连接着真空泵212，当启动真空泵后，即可对真空区进行抽真空。
[0024]本实施例中，通过在所述真空腔31的腔壁内设有螺旋状的加热管311，所述加热管311通过导线连接着加热电源312，所述加热电源312安装在真空腔31的底部外壁上，接通加
热电源后，即可使加热管进行加热，从而实现对真空区内部加热，进行蒸发镀膜。
[0025]本实施例中，在一侧所述支撑架11上设有电动伸缩杆5，所述电动伸缩杆5前端设有齿条51，由于所述齿条51与齿轮41是相匹配的，所以当下真空组件与上真空组件闭合后，下真空组件下方的齿轮会与齿条卡合，然后只要启动电动伸缩杆伸展时，即可推动齿条前移，从而带动齿轮转动，实现真空腔和真空腔盖板的相互拧紧，当电动伸缩杆收缩时，即可带动齿条后移，从而再次带动齿轮反向转动，继而实现真空腔和真空腔盖板的相互拧松。
[0026]工作原理：首先将需要进行镀膜的基片以及镀膜靶材放入真空腔内，然后启动电动推杆，推动下真空组件上移，直至上真空组件和下真空组件闭合后，同时下真空组件下方的齿轮也会与齿条卡合，此时启动电动伸缩杆伸展来推动齿条前移，从而带动齿轮转动，实现真空腔和真空腔盖板的相互拧紧；
[0027]然后启动真空泵后，即可对真空区进行抽真空，抽真空结束后，接通加热电源后，即可使加热管进行加热，从而实现对真空区内部加热，进行蒸发镀膜；
[0028]镀膜结束后，关闭加热电源，再启动电动伸缩杆收缩，即可带动齿条后移，从而再次带动齿轮反向转动，继而实现真空腔和真空腔盖板的相互拧松，然本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于靶材加工的真空镀膜装置，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）的两侧设有支撑架（11），两侧所述支撑架（11）的顶部设有安装板（12），所述安装板（12）的下方安装有上真空组件（2），位于所述上真空组件（2）的下方设有与之相对应的下真空组件（3），所述下真空组件（3）的底部设有转轴（4），所述转轴（4）上设有齿轮（41），所述转轴（4）的下方活动连接着电动推杆（42），所述电动推杆（42）安装在底座（1）上；所述上真空组件（2）包括真空腔盖板（21），所述真空腔盖板（21）的下端面上设有一圈外螺纹连接环（22），所述真空腔盖板（21）的外围设有一圈密封护罩（23），所述密封护罩（23）的两侧均设有减震杆（231），所述减震杆（231）的一端固定在支撑架（11）上。2.根据权利要求1所述的一种用于靶材加工的真空镀膜装置，其特征在于：所述下真空组件（3）包括真空腔（31），所述真空腔（31）的底部外围设有一圈第一密封环（32），所述真空腔（31）的顶部设有一圈第二密封环（33），所述真空腔（31）的上端内壁上设...

【专利技术属性】
技术研发人员：谭明强，
申请(专利权)人：南通鑫凯锐新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：