本申请公开了一种基于柔性基材双面镀膜卷绕装置及卷绕镀膜设备，属于镀膜设备技术领域。一种卷绕装置，用于双面磁控溅射卷绕镀膜设备，该设备的真空腔室内设有卷绕装置，该卷绕装置包括：放卷机构、第一张力区、第一冷却镀膜辊、第二张力区、第二冷却镀膜辊、第三张力区和收卷机构，由放卷机构释放的基材依次经过第一张力区、第一冷却镀膜辊、第二张力区、第二冷却镀膜辊和第三张力区，再由收卷机构进行收卷；第一张力区、第二张力区和第三张力区均包括至少一个张力测量辊、至少一个展平辊和多个导向过辊。本申请能够在一个工作周期内实现双面连续镀膜，可以提升生产效率，还能解决镀膜过程中保持张力的稳定性的问题，提高镀膜质量。量。量。
【技术实现步骤摘要】
一种基于柔性基材双面镀膜卷绕装置及卷绕镀膜设备
[0001]本申请属于镀膜设备
，具体涉及一种基于柔性基材双面镀膜卷绕装置及卷绕镀膜设备。
技术介绍
[0002]真空卷绕镀膜技术，是在真空室内通过磁控溅射技术等方法在卷装基材表面制备一层或者多层功能性薄膜的技术，可以应用于电磁屏蔽膜、柔性电路板、光学膜、柔性光电产品等诸多领域中。目前，市面上常见的真空磁控溅射装置普遍应用于单面镀膜，真正可量化生产的双面连续化镀膜装置并不多见。
[0003]近年来，随着柔性光电产品的市场需求不断扩大，尤其对复杂膜系结构产品，双面镀膜产品的需求成不断扩大趋势。卷绕式真空磁控溅射双面连续镀膜，是在真空条件下，应用磁控溅射方法在柔性基材上实现双面连续镀膜的一种技术。真空磁控溅射双面镀膜的涉及范围较广，过程较复杂；为了保证镀膜产品的高质量、高成品率，关键在于镀膜过程中如何保持张力的稳定性；此外，还需要保持镀膜设备连续不间断工作特性所需要的高设备可靠性和高稳定性。基于此，为完成上述关键点，需要具有满足双面镀膜卷绕装置的结构，这就要求真空镀膜卷绕装置的结构设计布局合理，满足卷绕张力控制的精度、稳定性，双面磁控溅射源布局合理等要求。
[0004]相关技术中的一些卷绕式真空镀膜设备的工艺参数繁琐、工艺重复性差、操作难度高造成最终的产品质量不稳定、设备故障率高。其卷绕装置大多包括放卷、镀膜辊、收卷三部分，结构单一，不能在一个工作周期内实现双面镀膜。另外，现有的一些卷绕装置，基材在辊与辊之间拉伸张开时易造成横向张力不均匀，使基材表面发生褶皱、凹凸不平，进而造成镀膜厚度不均匀、质量差，导致产品的良率降低。
技术实现思路
[0005]鉴于存在的上述问题，本技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本技术提供一种基于柔性基材双面镀膜卷绕装置及卷绕镀膜设备，可以在一个工作周期内实现双面连续镀膜，能够解决镀膜过程中保持张力的稳定性的问题，提高镀膜产品的质量。
[0006]为了解决上述技术问题，本申请是这样实现的：
[0007]本申请实施例提供了一种基于柔性基材双面镀膜卷绕装置，用于双面磁控溅射卷绕镀膜设备，所述双面磁控溅射卷绕镀膜设备包括真空腔室，所述真空腔室内设有所述种基于柔性基材双面镀膜卷绕装置，所述种基于柔性基材双面镀膜卷绕装置包括：放卷机构、第一张力区、第一冷却镀膜辊、第二张力区、第二冷却镀膜辊、第三张力区和收卷机构，由所述放卷机构释放的基材依次经过所述第一张力区、所述第一冷却镀膜辊、所述第二张力区、所述第二冷却镀膜辊和所述第三张力区，再由所述收卷机构进行收卷；
[0008]所述第一冷却镀膜辊与所述第二冷却镀膜辊相邻的方向分别为两次镀膜的基材
的进入方向；
[0009]所述第一张力区、所述第二张力区和所述第三张力区各自独立地包括至少一个张力测量辊、至少一个展平辊和多个导向过辊。
[0010]在本申请的一些实施方式中，沿基材输送路径，所述第一张力区包括依次设置的第一导向过辊、第一张力测量辊、第一展平辊和第二导向过辊，所述第二张力区包括依次设置的第三导向过辊、第二张力测量辊、第二展平辊和第四导向过辊，所述第三张力区包括依次设置的第五导向过辊、第三张力测量辊、第三展平辊和第六导向过辊。
[0011]在本申请的一些实施方式中，所述第一导向过辊位于所述放卷机构的一侧，所述第二导向过辊贴合设置于所述第一冷却镀膜辊的一侧，所述第三导向过辊贴合设置于所述第一冷却镀膜辊的另一侧，所述第四导向过辊贴合设置于所述第二冷却镀膜辊的一侧，所述第五导向过辊贴合设置于所述第二冷却镀膜辊的另一侧，所述第六导向过辊位于所述收卷机构的一侧。
[0012]在本申请的一些实施方式中，所述放卷机构包括放卷辊和驱动所述放卷辊转动的放卷电机，所述收卷机构包括收卷辊和驱动所述收卷辊转动的收卷电机；所述双面磁控溅射卷绕镀膜设备包括控制装置，所述放卷电机、所述收卷电机和所述张力测量辊分别与所述控制装置信号连接。
[0013]在本申请的一些实施方式中，所述收卷机构还包括活动压辊，所述活动压辊设于所述收卷辊的一侧，所述活动压辊适于随着所述收卷辊上的基材卷绕的直径变化而移动。
[0014]在本申请的一些实施方式中，所述真空腔室的内部上方设置有所述放卷机构，所述放卷机构的下方设置有所述收卷机构，所述放卷机构的下方偏右设置有所述第一冷却镀膜辊，所述放卷机构的下方偏左设置有所述第二冷却镀膜辊。
[0015]在本申请的一些实施方式中，所述放卷机构和所述收卷机构呈上下对称的方式布置，所述第二冷却镀膜辊和所述第一冷却镀膜辊呈左右对称的方式布置。
[0016]在本申请的一些实施方式中，所述真空腔室内的左右两端分别设置有第一磁控溅射区和第二磁控溅射区，所述第一磁控溅射区围绕所述第一冷却镀膜辊设置，所述第二磁控溅射区围绕所述第二冷却镀膜辊设置。
[0017]在本申请的一些实施方式中，所述第一冷却镀膜辊和所述第二冷却镀膜辊均设置有用于冷却介质循环流通的空腔或夹层；和/或，所述第一冷却镀膜辊和所述第二冷却镀膜辊之间设置有冷却隔板，所述冷却隔板具有供冷却管通过的冷却空间。
[0018]本申请实施例还提供了一种双面磁控溅射卷绕镀膜设备，包括真空腔室及设置于所述真空腔室内如前述的基于柔性基材双面镀膜卷绕装置。
[0019]实施本技术的技术方案，至少具有以下有益效果：
[0020]在本申请实施例中，所提供的基于柔性基材双面镀膜卷绕装置可以应用在卷绕式真空磁控溅射双面连续镀膜设备中，该卷绕装置不仅在放卷机构和收卷机构至少设置了第一冷却镀膜辊和第二冷却镀膜辊，这样，采用具有两个冷却镀膜辊的镀膜卷绕结构，能够一次性完成柔性基材的双面镀膜，相比于传统的采用两个生产周期的镀膜方式，能够缩短生产时间，提高生产效率，还能够保证在进行两面镀膜时全程处于真空环境中，避免镀膜过程中由于基材暴露于大气中造成的受热变形、起皱、针孔等质最缺陷，提高产品的成品率，降低成本。同时，该卷绕装置还在放卷机构与第一冷却镀膜辊之间布置第一张力区，在第一冷
却镀膜辊与第二冷却镀膜辊之间布置第二张力区，在第二冷却镀膜辊与收卷机构之间布置第三张力区，且第一张力区、第二张力区和第三张力区均包括张力测量辊、展平辊和导向过辊，这样，结构设计合理，能够使基材在运行期间进行展平处理，提高基材在冷却镀膜辊上的镀膜效果，使镀膜完成后收卷整齐，有效减少基材的针孔起皱变形等质量缺陷，尤其是配合张力测量辊的设置，可以测量区间张力，有效解决镀膜过程中保持张力稳定性的问题，有效提高镀膜产品质量，提高良品率。
[0021]本申请的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。
附图说明
[0022]图1为本申请示例性的一些实施方式提供的基于柔性基材双面镀膜卷绕装置的结构示意图；
[0023]图2为本申请示例性的另一些实施方式提供的基于柔性基材双面镀膜卷绕装置的本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基于柔性基材双面镀膜卷绕装置，用于双面磁控溅射卷绕镀膜设备，所述双面磁控溅射卷绕镀膜设备包括真空腔室，所述真空腔室内设有基于柔性基材双面镀膜卷绕装置，其特征在于，所述卷绕装置包括：放卷机构、第一张力区、第一冷却镀膜辊、第二张力区、第二冷却镀膜辊、第三张力区和收卷机构，由所述放卷机构释放的基材依次经过所述第一张力区、所述第一冷却镀膜辊、所述第二张力区、所述第二冷却镀膜辊和所述第三张力区，再由所述收卷机构进行收卷；所述第一冷却镀膜辊与所述第二冷却镀膜辊相邻的方向分别为两次镀膜的基材的进入方向；所述第一张力区、所述第二张力区和所述第三张力区各自独立地包括至少一个张力测量辊、至少一个展平辊和多个导向过辊。2.根据权利要求1所述的基于柔性基材双面镀膜卷绕装置，其特征在于，沿基材输送路径，所述第一张力区包括依次设置的第一导向过辊、第一张力测量辊、第一展平辊和第二导向过辊，所述第二张力区包括依次设置的第三导向过辊、第二张力测量辊、第二展平辊和第四导向过辊，所述第三张力区包括依次设置的第五导向过辊、第三张力测量辊、第三展平辊和第六导向过辊。3.根据权利要求2所述的基于柔性基材双面镀膜卷绕装置，其特征在于，所述第一导向过辊位于所述放卷机构的一侧，所述第二导向过辊贴合设置于所述第一冷却镀膜辊的一侧，所述第三导向过辊贴合设置于所述第一冷却镀膜辊的另一侧，所述第四导向过辊贴合设置于所述第二冷却镀膜辊的一侧，所述第五导向过辊贴合设置于所述第二冷却镀膜辊的另一侧，所述第六导向过辊位于所述收卷机构的一侧。4.根据权利要求1所述的基于柔性基材双面镀膜卷绕装置，其特征在于，所述放卷机构包括放卷辊和驱动所述放卷辊转动的放卷电机，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：张永胜，梁得刚，张永祺，王岩，李坤，
申请(专利权)人：苏州迈为科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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