一种小型真空高温防腐金属碘沉积炉制造技术

本实用新型专利技术涉及一种小型真空高温防腐金属碘沉积炉，包括真空室，所述真空室上下盖均设有管密封，位于上方的所述管密封固定连接有拉板，所述拉板固定连接有支座连接，且位于上方的所述管密封上方设置有上盖，所述上盖上装有压力表，本实用新型专利技术针对于实验室条件研发制造，结构合理，其优选的驱动系统，可根据客户需求能够精确调整样品托的转动速度，下端设有旋转定位套，自带热偶加热盘与外加热炉同步进行控温，与多达12组温度区段设置，使实验步骤可调可控真空室采用石英玻璃，为在线观测提供了可能、为研发人员提供了方便的实验条件，同时本实用新型专利技术可实现样品台可旋转、可控温，使小型非标柔性生产实现可能。型非标柔性生产实现可能。型非标柔性生产实现可能。

【技术实现步骤摘要】
一种小型真空高温防腐金属碘沉积炉


[0001]本技术涉及一种沉积炉，具体为一种小型真空高温防腐金属碘沉积炉。

技术介绍

[0002]目前在中远红外功能性薄膜生长研究领域，无论是以磁控溅射的方式或者是以分子束外延方式进行薄膜沉积，研究者希望在不破坏真空的情况下直接在沉积设备中观测薄膜状态，但目前上述设备中的样品台无法旋转，给研究人员带来诸多不便，同时其样品台不可旋转、不可控温，使小型非标柔性生产难以实现。

技术实现思路

[0003]针对现有技术的不足，本技术提供了一种小型真空高温防腐金属碘沉积炉，克服了现有技术的不足。
[0004]为了解决上述技术问题，本技术提供了如下的技术方案：一种小型真空高温防腐金属碘沉积炉，包括真空室，所述真空室上下盖均设有管密封，位于上方的所述管密封固定连接有拉板，所述拉板固定连接有支座连接，且位于上方的所述管密封上方设置有上盖，所述上盖上装有压力表，所述真空室外包裹加热炉，所述真空室内设置有电极，所述电极延伸至真空室外套接有带轮，且所述电极外靠近底部处套设有驱动支杆，所述驱动支杆上方设置有旋转定位套和管卡。
[0005]作为本技术的一种优选技术方案，所述加热炉后侧设置有底座，所述底座的上方设置有支座，且支座的上方设置有抽气口。
[0006]作为本技术的一种优选技术方案，两个所述管密封以真空室的中心轴线为对称轴呈左右对称设置。
[0007]作为本技术的一种优选技术方案，所述加热炉套设在真空室的中心位置。
[0008]作为本技术的一种优选技术方案，所述管卡位于旋转定位套的上方。
[0009]作为本技术的一种优选技术方案，所述带轮位于管卡的上方。
[0010]作为本技术的一种优选技术方案，所述加热炉前侧上安装有观察窗。
[0011]本技术实施例提供了一种小型真空高温防腐金属碘沉积炉，具备以下有益效果：本技术针对于实验室条件研发制造，结构合理，其优选的驱动系统，可根据客户需求能够精确调整样品托的转动速度，下端设有旋转定位套，自带热偶加热盘与外加热炉同步进行控温，与多达12组温度区段设置，使实验步骤可调可控真空室采用石英玻璃，为在线观测提供了可能、为研发人员提供了方便的实验条件，同时本技术可实现样品台可旋转、可控温，使小型非标柔性生产实现可能。
附图说明
[0012]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0013]图1为本技术的主视图；
[0014]图2为本技术的剖视图。
[0015]图中序号名称：1、管密封；2、真空室；3、加热炉；4、电极；5、带轮；6、驱动支杆；7、旋转定位套；8、管卡；9、上盖；10、压力表；11、抽气口；12、拉板；13、支座；14、底座。
具体实施方式
[0016]以下结合附图对本技术的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本技术，并不用于限定本技术。
[0017]实施例：如图1
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2所示，一种小型真空高温防腐金属碘沉积炉，包括真空室2，真空室2上下盖均设有管密封1，位于上方的管密封1固定连接有拉板12，拉板12固定连接有支座13连接，且位于上方的管密封1上方设置有上盖9，上盖9上装有压力表10，真空室2外包裹加热炉3，真空室2内设置有电极4，电极4延伸至真空室2外套接有带轮5，且电极4外靠近底部处套设有驱动支杆6，驱动支杆6上方设置有旋转定位套7和管卡8，加热炉3后侧设置有底座14，底座14的上方设置有支座13，且支座13的上方设置有抽气口11；
[0018]本实施例中，本技术针对于实验室条件研发制造，结构合理，其优选的驱动系统，可根据客户需求能够精确调整样品托的转动速度，下端设有旋转定位套，自带热偶加热盘与外加热炉同步进行控温，与多达12组温度区段设置，使实验步骤可调可控真空室采用石英玻璃，为在线观测提供了可能、为研发人员提供了方便的实验条件。
[0019]其中，两个管密封1以真空室2的中心轴线为对称轴呈左右对称设置，加热炉3套设在真空室2的中心位置，管卡8位于旋转定位套7的上方，带轮5位于管卡8的上方，加热炉3前侧上安装有观察窗；
[0020]本实施例中，本技术可实现样品台可旋转、可控温，使小型非标柔性生产实现可能；
[0021]本实施例中，本技术在原有管式炉基础上有针对性的开发碘蒸气沉积装置，可耐1000℃高温，可长期在600℃以下连续工作，真空室2上下盖均设有管密封1，上盖管密封1与拉板12连接，拉板12与支座13连接，上盖9上装有压力表10，本装置采用移动的支架结构，外包裹有加热炉3。
[0022]本实施例中，本技术管式炉上下盖均设有水冷装置，以降低真空室2的传导温度，真空室2上端安装有一个KF25真空法兰接口和一个KF16真空法兰接口，KF25真空法兰接口通过挡板阀连接机械泵，KF16真空法兰接口是碘气吸入的接口，真空室2下端安装有4个放气口，是碘气排出的接口，真空室2设置有加热盘，加热盘下端设有旋转杆，上端与样品托连接，用减速电机驱动旋转杆，从而带动样品托的旋转，真空室2外部设有升温装置，炉体内分上下两个控温区，均采用电气控温，确保样品托温度的准确性。
[0023]工作原理：本技术方案在使用时，首先装入样片，打开机械泵，抽气计时开始，十分钟后，真空室2的真空度到3Pa，给样品加热到450℃时，开启外保温炉，设定目标炉温从抽气口11充入预制碘蒸气，此时碘蒸气压力达到1000Pa，打开下端排气阀门，持续沉积，整个过程在真空室2内完成，与外部空气隔离，减速电机带动旋转杆使样品托转速达到0
‑
30r/min，伺服电机通过驱动带轮5带动电极4转动，带轮5通过旋转定位套7和管卡8定位，电机架通过驱动支杆6固定到底座14上，在实验中，研究者可通过炉体上的观察窗，观测到真空腔内薄
膜各点位的生长情况。。
[0024]最后应说明的是：在本技术的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“上”、“下”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0025]在本技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0026]以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种小型真空高温防腐金属碘沉积炉，包括真空室(2)，其特征在于，所述真空室(2)上下盖均设有管密封(1)，位于上方的所述管密封(1)固定连接有拉板(12)，所述拉板(12)固定连接有支座(13)连接，且位于上方的所述管密封(1)上方设置有上盖(9)，所述上盖(9)上装有压力表(10)，所述真空室(2)外包裹加热炉(3)，所述真空室(2)内设置有电极(4)，所述电极(4)延伸至真空室(2)外套接有带轮(5)，且所述电极(4)外靠近底部处套设有驱动支杆(6)，所述驱动支杆(6)上方设置有旋转定位套(7)和管卡(8)。2.根据权利要求1所述的一种小型真空高温防腐金属碘沉积炉，其特征在于，所述加热炉(3)后侧设置有底座(14)，所述底座(14)的上方...

【专利技术属性】
技术研发人员：董顺，
申请(专利权)人：沈阳鹏程真空技术有限责任公司，
类型：新型
国别省市：