【技术实现步骤摘要】
一种小型真空设备中的可调角度样品台
[0001]本技术涉及一种薄膜生长实验设备
,具体为一种小型真空设备中的可调角度样品台。
技术介绍
[0002]目前,在薄膜生长研究领域,无论是以磁控溅射的方式或者是以分子束外延方式进行薄膜生长,研究者希望在不破坏真空的情况下直接在生长设备中观测薄膜状态,但目前上述设备中安装的样品台无法调整角度,本技术就是为了解决这一问题,而专门研发的。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于提供一种小型真空设备中的可调角度样品台。
[0004]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种小型真空设备中的可调角度样品台,包括法兰和万向节组件,所述法兰上固定连接有磁流体及磁流体电机,所述法兰上设置有支板和滑块固定板,所述法兰通过支板与滑块固定板固定,所述磁流体与传动杆的一端固定连接,所述传动杆另一端设置有传动杆接头,所述传动杆通过传动杆接头与万向节组件连接,所述万向节组件固定连接有样品托。
[0005]优选的,所述样品托底部设置有轴承座,且所述轴承座上设置有固定座。
[0006]优选的,所述法兰上设有玻璃管和固定管组,且所述玻璃管一端通过固定管组与法兰连接,另一端通过固定座与样品托连接。
[0007]优选的,所述磁流体电机上设置有磁流体电机座。
[0008]优选的,所述传动杆和玻璃管上设有固定板,且所述传动杆和玻璃管贯穿固定板。
[0009]优选的,所述传动杆设置有传动杆吊板,且所述传动杆贯穿传动杆吊板。
[0010]与现 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种小型真空设备中的可调角度样品台,包括法兰和万向节组件,其特征在于:所述法兰(5)上固定连接有磁流体(6)及磁流体电机(1),所述法兰(5)上设置有支板(4)和滑块固定板(2),所述法兰(5)通过支板(4)与滑块固定板(2)固定,所述磁流体(6)与传动杆(7)的一端固定连接,所述传动杆(7)另一端设置有传动杆接头(12),所述传动杆(7)通过传动杆接头(12)与万向节组件(13)连接,所述万向节组件(13)固定连接有样品托(14)。2.根据权利要求1所述的一种小型真空设备中的可调角度样品台,其特征在于:所述样品托(14)底部设置有轴承座(15),且所述轴承座(15)上设置有固定座(16)。3.根据权利要求1所述的一种小型真空设备中的...
【专利技术属性】
技术研发人员:董顺,
申请(专利权)人:沈阳鹏程真空技术有限责任公司,
类型:新型
国别省市:
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