高安全型离子束沉积设备的冷却辊制造技术

本实用新型专利技术公开高安全型离子束沉积设备的冷却辊，属于离子束沉积设备技术领域，包括辊体，所述辊体的两端皆设置有支撑轴套，所述支撑轴套的内部皆设置有卡接头，所述辊体的内壁上均匀固定有环形管，所述环形管的内部皆固定有隔板，环形管的内部设置有导流腔，所述导流腔位于隔板之间，所述导流腔的一端安装有第一分流管，所述导流腔的另一端安装有第二分流管。本实用新型专利技术辊体内部多组均匀排布的环形管的设置，通过环形管内部的隔板将环形管内部的空间分隔成不同的导流腔，再利用导流腔两端的第一分流管、第二分流管分别与进水管、排水管之间导通，能够减少冷却水在环形管内部的停留时间，继而确保了使用过程中的冷却效果。继而确保了使用过程中的冷却效果。继而确保了使用过程中的冷却效果。

【技术实现步骤摘要】
高安全型离子束沉积设备的冷却辊


[0001]本技术涉及一种冷却辊，特别是涉及高安全型离子束沉积设备的冷却辊，属于离子束沉积设备


技术介绍

[0002]离子束沉积是一种把碳粒子以离子的形式输送到基板表面进行沉积的方法，离子束沉积设备在进行薄膜的生产过程中，需要通过冷却辊对薄膜进行输送以及冷却。
[0003]现有技术中的冷却辊存在如下问题：
[0004]1、冷却水通过辊体内部的盘管将热量进行带走，以实现冷却的功能，但由于冷却水在流动的过程中，水温处于变化状态，因此导致盘管进水端与排水端的温差较大，继而导致辊体外表面温度不均匀的状况，影响冷却效果；
[0005]2、安装使用的过程中，对于辊体的安装较为不便；
[0006]为此设计高安全型离子束沉积设备的冷却辊来优化上述问题。

技术实现思路

[0007]本技术的主要目的是为了提供高安全型离子束沉积设备的冷却辊，辊体内部多组均匀排布的环形管的设置，通过环形管内部的隔板将环形管内部的空间分隔成不同的导流腔，再利用导流腔两端的第一分流管、第二分流管分别与进水管、排水管之间导通，能够减少冷却水在环形管内部的停留时间，继而确保了使用过程中的冷却效果，支撑轴套内部卡接头的设置，配合支撑座上的连接管进行使用，使得在安装的过程中，利用底板、滑槽、双向螺杆、调节块组成的伸缩机构，控制两组支撑座的相向移动，将连接管与卡接头之间插接，使得辊体的安装使用更加方便。
[0008]本技术的目的可以通过采用如下技术技术方案达到：
[0009]高安全型离子束沉积设备的冷却辊，包括辊体，所述辊体的两端皆设置有支撑轴套，所述支撑轴套的内部皆设置有卡接头，所述辊体的内壁上均匀固定有环形管，所述环形管的内部皆固定有隔板，环形管的内部设置有导流腔，所述导流腔位于隔板之间，所述导流腔的一端安装有第一分流管，所述导流腔的另一端安装有第二分流管，所述第一分流管远离环形管的一端安装有进水管，所述第二分流管远离环形管的一端安装有排水管，所述进水管与排水管分别与支撑轴套内部的卡接头连接，所述支撑轴套的外部设置有支撑座。
[0010]优选的：所述环形管的截面形状为矩形，所述环形管之间相互贴合。
[0011]优选的：所述支撑座的内侧皆开设有插槽，所述卡接头插接在插槽的内部，所述插槽的内部皆安装有连接管，所述连接管皆插入到卡接头的内部，两组所述支撑座之间设置有伸缩机构。
[0012]优选的：所述连接管靠近卡接头一端的外侧设置有密封圈。
[0013]优选的：所述伸缩机构包括底板、滑槽和双向螺杆，所述底板的顶部开设有滑槽，所述支撑座位于滑槽内部的两端，所述支撑座与滑槽之间滑动连接，所述滑槽的两端之间
设置有双向螺杆，所述双向螺杆的两端分别与支撑座螺纹连接。
[0014]优选的：所述双向螺杆的两端皆延伸至底板的外侧，所述双向螺杆的外端部皆固定有调节块。
[0015]优选的：所述调节块的形状为圆形，且调节块的外侧皆设置有防滑纹。
[0016]本技术的有益效果为：
[0017]本技术提供的高安全型离子束沉积设备的冷却辊,辊体内部多组均匀排布的环形管的设置，通过环形管内部的隔板将环形管内部的空间分隔成不同的导流腔，再利用导流腔两端的第一分流管、第二分流管分别与进水管、排水管之间导通，能够减少冷却水在环形管内部的停留时间，继而确保了使用过程中的冷却效果；
[0018]支撑轴套内部卡接头的设置，配合支撑座上的连接管进行使用，使得在安装的过程中，利用底板、滑槽、双向螺杆、调节块组成的伸缩机构，控制两组支撑座的相向移动，将连接管与卡接头之间插接，使得辊体的安装使用更加方便。
附图说明
[0019]图1为本技术的主视剖视图；
[0020]图2为本技术的图1中A处结构放大图；
[0021]图3为本技术的环形管剖视图；
[0022]图4为本技术的底座结构图。
[0023]图中：1、辊体；2、支撑轴套；3、卡接头；4、环形管；5、隔板；6、导流腔；7、第一分流管；8、第二分流管；9、进水管；10、排水管；11、支撑座；12、插槽；13、连接管；14、伸缩机构；15、底板；16、滑槽；17、双向螺杆；18、调节块。
具体实施方式
[0024]为使本
人员更加清楚和明确本技术的技术方案，下面结合实施例及附图对本技术作进一步详细的描述，但本技术的实施方式不限于此。
[0025]实施例一
[0026]如图1
‑
图4所示，本实施例提供了高安全型离子束沉积设备的冷却辊，包括辊体1，辊体1的两端皆设置有支撑轴套2，支撑轴套2的内部皆设置有卡接头3，辊体1的内壁上均匀固定有环形管4，环形管4的内部皆固定有隔板5，环形管4的内部设置有导流腔6，导流腔6位于隔板5之间，导流腔6的一端安装有第一分流管7，导流腔6的另一端安装有第二分流管8，第一分流管7远离环形管4的一端安装有进水管9，第二分流管8远离环形管4的一端安装有排水管10，进水管9与排水管10分别与支撑轴套2内部的卡接头3连接，支撑轴套2的外部设置有支撑座11，环形管4的截面形状为矩形，环形管4之间相互贴合。
[0027]使用前，将辊体1安装在支撑座11之间，然后将冷水水管与进水管9端部的连接管13导通，并将另一组连接管13与水槽内部导通，使用时，冷却水进入到进水管9的内部，经过多组第一分流管7进入到环形管4内的导流腔6的内部，从导流腔6的一端流入到另一端然后从第二分流管8的内部排出，将热量带走并对辊体1的外侧进行降温，然后进入到排水管10的内部，流出到辊体1的外部。
[0028]实施例二
[0029]在本实施例中，如图1
‑
图4所示，支撑座11的内侧皆开设有插槽12，卡接头3插接在插槽12的内部，插槽12的内部皆安装有连接管13，连接管13皆插入到卡接头3的内部，两组支撑座11之间设置有伸缩机构14。
[0030]在辊体1的安装过程中，将支撑轴套2对准支撑座11的插槽12，然后利用伸缩机构14控制两组支撑座11相向移动，支撑轴套2插入到插槽12的内部，同时连接管13与卡接头3对齐，完成安装。
[0031]在本实施例中，连接管13靠近卡接头3一端的外侧设置有密封圈。
[0032]确保了连接管13与卡接头3之间的密封效果。
[0033]在本实施例中，伸缩机构14包括底板15、滑槽16和双向螺杆17，底板15的顶部开设有滑槽16，支撑座11位于滑槽16内部的两端，支撑座11与滑槽16之间滑动连接，滑槽16的两端之间设置有双向螺杆17，双向螺杆17的两端分别与支撑座11螺纹连接。
[0034]在安装的过程中，转动双向螺杆17，由于双向螺杆17与支撑座11之间螺纹连接，因此控制两组支撑座11相向移动。
[0035]在本实施例中，双向螺杆17的两端皆延伸至底板15的外侧，双本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.高安全型离子束沉积设备的冷却辊，其特征在于：包括辊体(1)，所述辊体(1)的两端皆设置有支撑轴套(2)，所述支撑轴套(2)的内部皆设置有卡接头(3)，所述辊体(1)的内壁上均匀固定有环形管(4)，所述环形管(4)的内部皆固定有隔板(5)，环形管(4)的内部设置有导流腔(6)，所述导流腔(6)位于隔板(5)之间，所述导流腔(6)的一端安装有第一分流管(7)，所述导流腔(6)的另一端安装有第二分流管(8)，所述第一分流管(7)远离环形管(4)的一端安装有进水管(9)，所述第二分流管(8)远离环形管(4)的一端安装有排水管(10)，所述进水管(9)与排水管(10)分别与支撑轴套(2)内部的卡接头(3)连接，所述支撑轴套(2)的外部设置有支撑座(11)。2.根据权利要求1所述的高安全型离子束沉积设备的冷却辊，其特征在于：所述环形管(4)的截面形状为矩形，所述环形管(4)之间相互贴合。3.根据权利要求2所述的高安全型离子束沉积设备的冷却辊，其特征在于：所述支撑座(11)的内侧皆开设有插槽(12)，所述卡接头(3)插接在插槽(12)的内部，所述插槽(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：纪源，
申请(专利权)人：西京学院，
类型：新型
国别省市：