抓取对象引脚的方法、测试芯片及其设计方法、系统技术方案

本发明专利技术提供基于模板抓取对象引脚的方法，包括确定待抓取引脚的对象，将其记为目标对象；获取对象模板，包括匹配层和绕线层；基于所述目标对象的对象模板在版图中抓取所述目标对象的引脚。可以灵活地根据具体测试要求进行连接并定义引脚，对目标对象的类型以及引脚个数也没有限制；不但能对没有直接连接关系或其它连接关系的多个MOSFET进行识别抓取，还能对较为复杂的器件或不属于器件的各种类型的测试对象进行自动识别抓取。本发明专利技术还提供的测试芯片设计方法、测试芯片设计系统及测试芯片具有相应优势。有相应优势。有相应优势。

【技术实现步骤摘要】
抓取对象引脚的方法、测试芯片及其设计方法、系统


[0001]本专利技术属于半导体设计和生产
，尤其涉及一种基于模板抓取对象引脚的方法及相应的测试芯片设计方法、设计系统、测试芯片。

技术介绍

[0002]目前在半导体设计和生产中用户一般通过对测试芯片中的测试结构进行测试，来推断产品芯片中相应器件的状态。测试芯片的设计中一个重要步骤是抓取关键器件的引脚，以进行后续绕线连接形成测试通路。目前的自动抓取引脚的做法较为简单，一般只针对MOSFET或其串、并联后的测试对象，而对于没有直接连接关系或其它连接关系的多个MOSFET则不能识别，对于DIODE、BJT、varactor等较为复杂的器件或不属于器件的测试对象，则更是无法自动识别。
[0003]为了解产品芯片中特定器件的失效与否以及电学特性是否符合要求，需要设计能在真实物理环境下测试关键器件电性参数的测试芯片，这类测试芯片一般是通过在保证产品芯片前道、中道工艺层不变的情况下，将连接层与后道工艺层改造成测试芯片，以提供测试器件的真实物理测试环境。在这类测试芯片的设计过程中，为了将更多类型的器件或更复杂的测试结构引入测试芯片，目前通用的自动识别器件引脚的方法已无法实现。
[0004]因此目前十分需要研究一种对待测对象的类型以及引脚个数没有限制的抓取目标器件引脚方法及相应的测试芯片设计方法、设计系统、测试芯片，能够适用于关键器件引脚的抓取，进而设计测试芯片，能够在真实物理测试环境进行测试，测试效果更好，以此进一步推动半导体设计和生产技术的深入发展及广泛应用。

技术实现思路

[0005]本专利技术是为解决上述现有技术的全部或部分问题，本专利技术一方面提供了一种基于模板抓取对象引脚的方法，适用于对待测对象的类型以及引脚个数没有限制的抓取目标器件引脚。本专利技术的另外一个方面提供了一种测试芯片设计方法，结合本专利技术的抓取对象引脚的方法进行测试芯片的设计。本专利技术还提供了测试芯片设计系统及测试芯片。
[0006]本专利技术一方面提供的一种基于模板抓取对象引脚的方法，包括：获取版图文件，确定版图中待抓取引脚的对象，将其记为目标对象，获取目标对象的对象模板；所述对象模板包括匹配层和绕线层，所述匹配层是用于进行图形匹配的图层，所述绕线层是用于将对象的端子引出的连接线图层；基于目标对象的对象模板在版图中抓取目标对象的引脚，包括：利用所述对象模板的匹配层在版图中进行匹配查找，查找到与所述匹配层的图形相匹配的图形后，将所述对象模板的绕线层进行复制后添加至所述版图中的对应位置，用于将目标对象的端子引出，实现对目标对象引脚的抓取。通过获取目标对象的对象模板，能够使用所述对象模板来识别并抓取目标对象的引脚，步骤简洁，能够根据测试要求进行连接并定义引脚，突破了现有技术中通用的自动识别器件引脚的方法对所述目标对象的类型以及引脚个数的限制，实现了芯片设计中对没有直接连接关系或其它连接关系的多个MOSFET进行识
别抓取，以及对DIODE、BJT、varactor等较为复杂的器件或不属于常规器件的对象进行有效的自动识别抓取。
[0007]确定目标对象后，还获取目标对象在版图中的定位点，利用所述对象模板的匹配层在版图中进行匹配查找时，是在版图中以所述定位点为中心的预设匹配范围内进行匹配查找。
[0008]获取目标对象在版图中的定位点的方法包括：预设用于匹配识别所述目标对象的图层记为标记层或图形记为特征图形；其中，所述标记层是指：用于匹配识别所述目标对象的特征图层，或者收集有所述目标对象定位点坐标信息的标识层；利用目标对象的标记层或者特征图形在版图中匹配识别所述目标对象，并获取所述目标对象的定位点坐标信息。
[0009]所述对象模板中还包括图层：引脚标记层（Pin Label Layer），用于标记引脚的电极。通过包括引脚标记层能够标记引脚的电极，在后续抓取引脚的结果中可以明确引脚的电极是源极、漏极、栅极或体极，更利于有效开展后续相关工艺。
[0010]所述获取对象模板的方式包括：制作对象模板；制作方法包括：在版图中定位对象，并截取所述对象的版图作为模板的原型版图；对所述原型版图进行简化处理得到所述对象模板。通过先行定位所述对象，从所述版图中截取所述对象的版图作为模板的原型版图进行处理后制作得到所述对象模板，进一步简化了版图处理，利于提高设计效率。获取对象模板也可以直接导入之前已制作好的对象模板重复使用，并不是通过重新制作获得，在此并不限定。
[0011]所述截取所述对象的版图作为模板的原型版图，包括：判断所述对象是否为所述版图中的图元：若是，则将所述图元的版图截取作为所述原型版图；若不是，则将所述对象及其预设范围内的图形一起截取作为所述原型版图。版图中的图元是通过引用基本图元或图元的方式，以及阵列基本图元或图元的方式创建；所述基本图元是指图层中的多边形结构图形。
[0012]对所述原型版图进行简化处理，包括：删除所述原型版图中的后段绕线图层，再添加若干连接线，即获得若干新增绕线层，以将所述对象的端子引出作为引脚；所述新增绕线层中的连接线包括与所述原型版图中连接线相同路径的连接线和/或新创建的连接线（尽量沿用所述原型版图中绕线）；利用所述引脚标记层（Pin Label Layer）标记所述引脚的电极；在所述原型版图中确定若干（图形特征有辨识度的）图层作为匹配层，并删除所述匹配层中不完整的图形后，获得所述对象模板；其中，所述不完整的图形是指存在从所述版图中截取所述原型版图时被截断的基本图元。通过对所述原型版图进行简化处理，进一步简化版图处理，优化设计效率。
[0013]还有的情况中，对所述原型版图进行简化处理，还包括：获得所述对象模板之后，删除所述对象模板中除了所述匹配层、所述新增绕线层和所述引脚标记层之外的其余图层。
[0014]将所述对象模板中的绕线层进行复制后添加至所述版图中的对应位置后，还利用所述引脚标记层定义所述目标对象引脚的电极。
[0015]与所述匹配层的图形相匹配的图形，是指与所述匹配层的图形完全一致的图形或者所述匹配层的图形在相互正交的两个方向中任一方向上镜像后的图形。所述匹配层的图形在相互正交的两个方向中任一方向上镜像后的图形可以是直角坐标系中，所述匹配层的
图形X轴方向上镜像后的图形，或者所述匹配层的图形在Y轴方向上镜像后的图形。
[0016]利用所述对象模板的匹配层，在版图中以所述定位点为中心的匹配范围（Template Match Search Range）内进行图形匹配查找；具体步骤包括：步骤a）：设置匹配参数：在所述对象模板的匹配层中设置匹配点的坐标（坐标（DeviceX，DeviceY）），以及预设匹配范围（Template Match Search Range）和匹配坐标误差容许范围（Template Match Coordinate Tolerance）；步骤b）：将所述匹配点对齐版图中的所述定位点，利用所述对象模板的匹配层进行图形匹配：若匹配成功，则完成匹配查找；若匹配失败，则继续后续步骤；步骤c本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.基于模板抓取对象引脚的方法，其特征在于：包括：获取版图文件，确定版图中待抓取引脚的对象，将其记为目标对象，获取目标对象的对象模板；所述对象模板包括匹配层和绕线层，所述匹配层是用于进行图形匹配的图层，所述绕线层是用于将对象的端子引出的连接线图层；基于目标对象的对象模板在版图中抓取目标对象的引脚，包括：利用所述对象模板的匹配层在版图中进行匹配查找，查找到与所述匹配层的图形相匹配的图形后，将所述对象模板的绕线层进行复制后添加至所述版图中的对应位置，用于将目标对象的端子引出，实现对目标对象引脚的抓取。2.根据权利要求1所述的基于模板抓取对象引脚的方法，其特征在于：确定目标对象后，还获取目标对象在版图中的定位点，利用所述对象模板的匹配层在版图中进行匹配查找时，是在版图中以所述定位点为中心的预设匹配范围内进行匹配查找。3.根据权利要求2所述的基于模板抓取对象引脚的方法，其特征在于：获取目标对象在版图中的定位点的方法包括：预设用于匹配识别所述目标对象的图层记为标记层或图形记为特征图形；其中，所述标记层是指：用于匹配识别所述目标对象的特征图层，或者收集有所述目标对象定位点坐标信息的标识层；利用目标对象的标记层或者特征图形在版图中匹配识别所述目标对象，并获取所述目标对象的定位点坐标信息。4.根据权利要求1所述的基于模板抓取对象引脚的方法，其特征在于：所述对象模板中还包括图层：引脚标记层，用于标记引脚的电极。5.根据权利要求1所述的基于模板抓取对象引脚的方法，其特征在于：所述获取对象模板的方式包括：制作对象模板；制作方法包括：在版图中定位对象，并截取所述对象的版图作为模板的原型版图；对所述原型版图进行简化处理得到所述对象模板。6.根据权利要求5所述的基于模板抓取对象引脚的方法，其特征在于：所述截取所述对象的版图作为模板的原型版图，包括：判断所述对象是否为所述版图中的图元：若是，则将所述图元的版图截取作为所述原型版图；若不是，则将所述对象及其预设范围内的图形一起截取作为所述原型版图。7.根据权利要求5所述的基于模板抓取对象引脚的方法，其特征在于：对所述原型版图进行简化处理，包括：删除所述原型版图中的后段绕线图层，再添加若干连接线即获得若干新增绕线层，以将所述对象的端子引出作为引脚；所述新增绕线层中的连接线包括与所述原型版图中连接线相同路径的连接线和/或新创建的连接线；利用所述引脚标记层标记所述引脚的电极；在所述原型版图中确定若干图形特征有辨识度的图层作为匹配层，并删除所述匹配层中不完整的图形后，获得所述对象模板；其中，所述不完整的图形是指存在从所述版图中截取所述原型版图时被截断的基本图元。8.根据权利要求7所述的基于模板抓取对象引脚的方法，其特征在于：对所述原型版图进行简化处理，还包括：获得所述对象模板之后，删除所述对象模板中除了所述匹配层、所
述新增绕线层和所述引脚标记层之外的其余图层。9.根据权利要求1所述的基于模板抓取对象引脚的方法，其特征在于：将所述对象模板中的绕线层进行复制后添加至所述版图中的对应位置后，还利用所述引脚标记层定义所述目标对象引脚的电极。10.根据权利要求1所述的基于模板抓取对象引脚的方法，其特征在于：与所述匹配层的图形相匹配的图形，是指与所述匹配层的图形完全一致的图形或者所述匹配层的图形在相互正交的两个方向中任一方向上镜像后的图形。11.根据权利要求2所述的基于模板抓取对象引脚的方法，其特征在于：利用所述对象模板的匹配层，在版图中以所述定位点为中心的匹配范围内进行图形匹配查找；具体步骤包括：步骤a）：设置匹配参数：在所述对象模板的匹配层中设置匹配点的坐标，以及预设匹配范围和匹配坐标误差容许范围；步骤b）：将所述匹配点对齐版图中的所述定位点，利用所述对象模板的匹配层进行图形匹配：若匹配成功，则完成匹配查找；若匹配失败，则继续后续步骤；步骤c）：将所述匹配点在以所述定位点为中心的匹配坐标误差容许范围内移动，使所述匹配层在以所述定位点为中心的匹配范围内进行图形匹配：若匹配成功，则完成匹配查找；若匹配失败，则继续后续步骤；步骤d）：判断是否调整匹配参数：若调整匹配参数，则至步骤b）继续执行；若不调整匹配参数，则结束本次匹配查找。12.根据权利要求1所述的基于模板抓取对象引脚的方法，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：尤炎，杨璐丹，潘伟伟，
申请(专利权)人：杭州广立微电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：