一种高低温老化炉腔的风道系统技术方案

本申请公开了一种高低温老化炉腔的风道系统，用于提升对带热负载进行老化测试的高低温老化炉腔的温度均匀性。本申请包括：风流换向器与风机连接并与第一风道以及第二风道连接；第一风道和第二风道分别设置于高低温老化炉腔外部的对立两侧；第一温度传感器和第二温度传感器分别设置于高低温老化炉腔内部的对立两侧，第一温度传感器位于第一风道所在一侧，第二温度传感器位于第二风道所在一侧；中央控制单元分别与风流换向器、第一温度传感器以及第二温度传感器连接，中央控制单元用于当第一温度传感器的温度值与第二温度传感器的温度值之间的差值大于第一预设阈值时，控制风流换向器切换风机的出风、回风方向。回风方向。回风方向。

【技术实现步骤摘要】
一种高低温老化炉腔的风道系统


[0001]本申请涉及老化测试
，尤其涉及一种高低温老化炉腔的风道系统。

技术介绍

[0002]在集成电路在生产过程中，需要对集成电路进行老化测试并在老化测试的过程中对产品进行修复，以提高产品的质量。集成电路在老化测试过程中的温度范围要求较大，通常达到
‑
20℃~+130℃，为了满足测试需求通常采用可以提供高、低温环境的高低温老化炉作为老化测试装置。
[0003]由于集成电路在老化测试过程中需要进行产品修复，因此被测产品需要在通电状态下进行老化测试，而处于通电状态的被测产品会产生功耗热量，这部分热量会导致炉体内的温度均匀性失衡，从而直接影响老化测试的测试精度。为了解决被测产品产生功耗热量的问题，目前主要通过一种循环式风道结构将被测产品产生的功耗热量带走，其工作原理为：冷却气体从入口风道进入高低温老化炉腔内对被测产品进行吹扫，然后进入出口风道，由风机对其进行调温处理后沿着入口风道重新进入高低温老化炉腔内，形成循环。
[0004]但是，冷却气体从高低温老化炉腔内带走被测产品产生的功耗热量的同时，这部分热量会使高低温老化炉腔内的空气温度升高，从而导致高低温老化炉腔内在出口风道一侧的温度会逐渐高于入口风道一侧的温度，影响了高低温老化炉腔的温度均匀性。

技术实现思路

[0005]本申请提供了一种高低温老化炉腔的风道系统，能够提升对带热负载进行老化测试的高低温老化炉腔的温度均匀性。
[0006]本申请提供了一种高低温老化炉腔的风道系统，包括：风机、风流换向器、高低温老化炉腔、第一风道、第二风道、第一温度传感器、第二温度传感器以及中央控制单元；所述风流换向器与所述风机连接并与所述第一风道以及所述第二风道连接，所述风流换向器用于控制所述风机的出风、回风方向；所述第一风道和所述第二风道分别设置于所述高低温老化炉腔外部的对立两侧；所述第一温度传感器和所述第二温度传感器分别设置于所述高低温老化炉腔内部的对立两侧，所述第一温度传感器位于所述第一风道所在一侧，所述第二温度传感器位于所述第二风道所在一侧；所述中央控制单元分别与所述风流换向器、所述第一温度传感器以及所述第二温度传感器连接，所述中央控制单元用于当所述第一温度传感器的温度值与所述第二温度传感器的温度值之间的差值大于第一预设阈值时，控制所述风流换向器切换所述风机的出风、回风方向。
[0007]可选的，所述风道系统还包括：测试隔板；所述高低温老化炉腔内部设置有若干层测试隔板；每层测试隔板的对立两侧均设置有所述第一温度传感器和所述第二温度传感器。
[0008]可选的，当任一层所述测试隔板上的所述第一温度传感器的温度值与所述第二温度传感器的温度值之间的差值大于第一预设阈值时，所述中央控制单元控制所述风流换向器切换所述风机的出风、回风方向。
[0009]可选的，所述风道系统还包括：第一导风装置和第二导风装置；所述第一导风装置设置于每层所述测试隔板与所述第一风道的接口处，所述第二导风装置设置于每层所述测试隔板与所述第二风道的接口处。
[0010]可选的，所述第一导风装置和所述第二导风装置均为方形导风装置。
[0011]可选的，所述风道系统还包括：报警模块；所述报警模块与所述中央控制单元连接，所述报警模块用于当所述中央控制单元检测到所述第一温度传感器的温度值与所述第二温度传感器的温度值之间的差值大于第一预设阈值，且在所述第一温度传感器的温度值和所述第二温度传感器的温度值中的最小值大于第二预设阈值时，发出报警信号。
[0012]可选的，所述风机包括：换热单元和新风单元；所述换热单元与所述新风单元连接，所述换热单元用于对回风进行处理，所述新风单元用于对新风进行处理。
[0013]可选的，所述换热单元包括：回风进气风道、回风排气风道以及回风换热装置；所述回风换热装置分别与所述回风进气风道以及所述回风排气风道连接。
[0014]可选的，所述新风单元包括：新风进气风道、新风排气风道以及新风换热装置；所述新风换热装置分别与所述新风进气风道以及所述新风排气风道连接。
[0015]可选的，所述风流换向器采用旋转风道结构。
[0016]从以上技术方案可以看出，本申请具有以下效果：风流换向器与风机连接并与第一风道以及第二风道连接，该风流换向器用于控制风机的出风和回风方向；第一风道和第二风道分别设置于高低温老化炉腔外部的对立两侧；第一温度传感器和第二温度传感器分别设置于高低温老化炉腔内部的对立两侧，第一温度传感器位于第一风道所在一侧，第二温度传感器位于第二风道所在一侧；中央控制单元分别与风流换向器、第一温度传感器以及第二温度传感器连接，该中央控制单元用于当第一温度传感器的温度值与第二温度传感器的温度值之间的差值大于第一预设阈值时，控制风流换向器切换风机的出风、回风方向。通过这样，当高低温老化炉腔内的带热负载在通电状态下产生功耗热量时，可以由风机产生冷却气体将这部分功耗热量通过第一风道和第二风道带走。当高低温老化炉腔第一侧的空气温度因受功耗热量的影响而高于第二侧的空气温度且温度差值大于第一预设阈值时，中央控制单元控制风流换向器切换风机的出风、回风方向，向原温度高的第一侧通入冷却气体，此时第一侧的温度逐渐降低，第二侧的温度逐渐升高；当第二侧的温度高于第一侧的温度且温度差值大于第一预设阈值时，中央控制单元再次控制风流换向器切换风机的出风、回风方向。由此循环，可以将高低温老化炉腔两侧的温度差值始终控制在预设范围内，从而可以提升高低温老化炉腔内的温度均匀性。
附图说明
[0017]图1为本申请中的高低温老化炉腔的风道系统的结构示意图；图2为本申请中的中央控制单元的连接示意图；
图3为本申请中的风机的结构示意图。
具体实施方式
[0018]在本申请中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“中”、“竖直”、“水平”、“横向”、“纵向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅用于说明各部件或组成部分之间的相对位置关系，并不特别限定各部件或组成部分的具体安装方位。
[0019]并且，上述部分术语除了可以用于表示方位或位置关系以外，还可能用于表示其他含义，例如术语“上”在某些情况下也可能用于表示某种依附关系或连接关系。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解这些术语在本申请中的具体含义。
[0020]此外，术语“安装”、“设置”、“设有”、“连接”、“相连”应做广义理解。例如，可以是固定连接，可拆卸连接，或整体式构造；可以是机械连接，或电连接；可以是直接相连，或者是通过中间媒介间接相连，又或者是两个装置、元件或组成部分之间内部的连通。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0021]此外，在本申请中所附图式所绘制的结构、比例、大小等，均仅用于配合说明书所揭示的内容，以供本领域技术人员了解与阅读，并非用于限定本申请可实施的限定本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高低温老化炉腔的风道系统，其特征在于，包括：风机、风流换向器、高低温老化炉腔、第一风道、第二风道、第一温度传感器、第二温度传感器以及中央控制单元；所述风流换向器与所述风机连接并与所述第一风道以及所述第二风道连接，所述风流换向器用于控制所述风机的出风、回风方向；所述第一风道和所述第二风道分别设置于所述高低温老化炉腔外部的对立两侧；所述第一温度传感器和所述第二温度传感器分别设置于所述高低温老化炉腔内部的对立两侧，所述第一温度传感器位于所述第一风道所在一侧，所述第二温度传感器位于所述第二风道所在一侧；所述中央控制单元分别与所述风流换向器、所述第一温度传感器以及所述第二温度传感器连接，所述中央控制单元用于当所述第一温度传感器的温度值与所述第二温度传感器的温度值之间的差值大于第一预设阈值时，控制所述风流换向器切换所述风机的出风、回风方向。2.根据权利要求1中所述的风道系统，其特征在于，所述风道系统还包括：测试隔板；所述高低温老化炉腔内部设置有若干层测试隔板；每层测试隔板的对立两侧均设置有所述第一温度传感器和所述第二温度传感器。3.根据权利要求2中所述的风道系统，其特征在于，当任一层所述测试隔板上的所述第一温度传感器的温度值与所述第二温度传感器的温度值之间的差值大于第一预设阈值时，所述中央控制单元控制所述风流换向器切换所述风机的出风、回风方向。4.根据权利要求2中所述的风道系统，其特征在于，所述风道系统还包括：第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐大鹏，刘光耀，章福旻，赵永昌，
申请(专利权)人：合肥精智达集成电路技术有限公司，
类型：发明
国别省市：