【技术实现步骤摘要】
本申请实施例涉及探针检测，尤其涉及一种探针卡检测装置。
技术介绍
1、探针卡是ate(automatic test equipment,集成电路测试机)与晶圆pad(金属焊盘)信号交互的关键部件，在对晶圆进行测试时，被测晶圆被安置于探针台之上，然后用探针卡上的探针与金属焊盘上的焊垫或凸块直接接触，通常每个金属焊盘的表面都覆盖有一层很薄的玻璃状材料，该玻璃状材料称为氧化物，为了使探针卡与金属焊盘下面的金属接触，探头尖端必须穿透这种薄氧化物，但由于探针非常细，直径约为10-20um，因此它们在接触到金属焊盘时会弯曲。当它们弯曲时，探针卡的尖端会在金属焊盘的表面上滑动或擦洗，这种擦洗作用可以使探针尖端穿透表面氧化物，从而有助于与下方的焊垫或凸块形成良好的电接触，在探针卡与金属焊盘相互给压时，探针卡上的探针会发生弹性形变，加上探针卡的制作工艺缺陷以及在使用时不利因素引入，使得探针卡经常出现探针位偏、破损、短路烧毁等现象，从而影响晶圆检测效果。
2、目前对于探针卡的不良检测主要依靠人工目测，由于晶圆的直径在不断增大，当前用于检测晶圆的探针卡上探针的数量已达到数万根甚至超十万根，传统的检测方式显得效率过于低下，且检出率偏低。基于此，本申请提供了一种探针卡检测装置用于解决上述问题。
技术实现思路
1、本申请实施例提供了一种探针卡检测装置，可有效的提高探针卡的检测效率和检出率。
2、本申请提供了一种探针卡检测装置，包括：基台、光源器件、ccd相机组件、导轨、驱动组件、控制板
3、所述基台上安装有所述光源器件，所述导轨设置在所述基台两侧，所述ccd相机组件设置在所述光源器件的下方，所述ccd相机组件与所述导轨和所述驱动组件连接，所述ccd相机组件、所述光源器件和所述驱动组件均与所述控制板连接，所述pc端与所述控制板和所述ccd相机组件连接；所述基台用于放置探针卡，所述驱动组件用于驱动所述ccd相机组件在所述导轨上移动，所述ccd相机用于扫描所述探针卡的针面，配合所述pc端和控制板用于对探针卡进行检测。
4、可选的，所述基台上设置有开口，所述开口上设置有探针卡放置板，所述探针卡放置板用于放置探针卡，所述探针卡放置板设置在所述光源器件的上方。
5、可选的，所述开口上方两侧安装有升降组件，所述升降组件包括支撑框架、驱动电机、滚珠丝杆、缸体和连接板块，所述支撑框架与所述基台连接，所述驱动电机安装在所述支撑框架中，所述驱动电机的驱动端与所述滚珠丝杆连接，所述滚珠丝杆与所述缸体连接，所述缸体与所述连接板块连接，所述连接板块与所述探针卡放置板连接。
6、可选的，所述探针卡放置板与所述光源器件之间设置有预设间距。
7、可选的，所述ccd相机组件包括至少一个ccd相机、连接板、连接齿条和滑轮，所述连接板上安装有所述至少一个ccd相机，所述连接板的两端安装有所述滑轮，所述连接板的一侧安装有所述连接齿条，所述连接板通过所述滑轮与所述导轨连接。
8、可选的，所述连接齿条的两端均与所述连接板的两端相持平。
9、可选的，所述驱动组件包括伺服电机、支撑板和连接齿轮，所述支撑板设置在所述基台的一侧，所述伺服电机安装在所述支撑板上，所述伺服电机的转动端上安装有所述连接齿轮，所述伺服电机通过所述连接齿轮与所述连接齿条啮合连接。
10、可选的，所述ccd相机与所述光源器件之间设置有预设间距。
11、可选的，所述探针卡放置板的横截面积大于所述开口的横截面积。
12、可选的，所述ccd相机与所述连接板的连接方式为可拆卸连接。
13、从以上技术方案可以看出，本申请实施例具有以下优点：
14、本申请探针卡检测装置设置有基台、光源器件、ccd相机组件、导轨、驱动组件、控制板和pc端；其中，基台上安装有光源器件，导轨设置在基台两侧，ccd相机组件设置在光源器件的下方，ccd相机组件与导轨和驱动组件连接，ccd相机组件、光源器件和驱动组件均与控制板连接，pc端与控制板和ccd相机组件连接，基台用于放置探针卡，驱动组件用于驱动ccd相机组件在导轨上移动，ccd相机用于扫描探针卡的针面，配合pc端和控制板用于对探针卡进行检测，进而可知，相较于传统人工目测的方式，本申请通过pc端配合ccd相机组件，可有效的提高探针卡的检测效率和检出率。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种探针卡检测装置，其特征在于，包括：基台、光源器件、CCD相机组件、导轨、驱动组件、控制板和PC端；
2.根据权利要求1所述的探针卡检测装置，其特征在于，所述基台上设置有开口，所述开口上设置有探针卡放置板，所述探针卡放置板用于放置探针卡，所述探针卡放置板设置在所述光源器件的上方。
3.根据权利要求2所述的探针卡检测装置，其特征在于，所述开口上方两侧安装有升降组件，所述升降组件包括支撑框架、驱动电机、滚珠丝杆、缸体和连接板块，所述支撑框架与所述基台连接，所述驱动电机安装在所述支撑框架中，所述驱动电机的驱动端与所述滚珠丝杆连接，所述滚珠丝杆与所述缸体连接，所述缸体与所述连接板块连接，所述连接板块与所述探针卡放置板连接。
4.根据权利要求2所述的探针卡检测装置，其特征在于，所述探针卡放置板与所述光源器件之间设置有预设间距。
5.根据权利要求1所述的探针卡检测装置，其特征在于，所述CCD相机组件包括至少一个CCD相机、连接板、连接齿条和滑轮，所述连接板上安装有所述至少一个CCD相机，所述连接板的两端安装有所述滑轮，所述连接板的一侧安装
6.根据权利要求5所述的探针卡检测装置，其特征在于，所述连接齿条的两端均与所述连接板的两端相持平。
7.根据权利要求5所述的探针卡检测装置，其特征在于，所述驱动组件包括伺服电机、支撑板和连接齿轮，所述支撑板设置在所述基台的一侧，所述伺服电机安装在所述支撑板上，所述伺服电机的转动端上安装有所述连接齿轮，所述伺服电机通过所述连接齿轮与所述连接齿条啮合连接。
8.根据权利要求5所述的探针卡检测装置，其特征在于，所述CCD相机与所述光源器件之间设置有预设间距。
9.根据权利要求2所述的探针卡检测装置，其特征在于，所述探针卡放置板的横截面积大于所述开口的横截面积。
10.根据权利要求5所述的探针卡检测装置，其特征在于，所述CCD相机与所述连接板的连接方式为可拆卸连接。
...【技术特征摘要】
1.一种探针卡检测装置，其特征在于，包括：基台、光源器件、ccd相机组件、导轨、驱动组件、控制板和pc端；
2.根据权利要求1所述的探针卡检测装置，其特征在于，所述基台上设置有开口，所述开口上设置有探针卡放置板，所述探针卡放置板用于放置探针卡，所述探针卡放置板设置在所述光源器件的上方。
3.根据权利要求2所述的探针卡检测装置，其特征在于，所述开口上方两侧安装有升降组件，所述升降组件包括支撑框架、驱动电机、滚珠丝杆、缸体和连接板块，所述支撑框架与所述基台连接，所述驱动电机安装在所述支撑框架中，所述驱动电机的驱动端与所述滚珠丝杆连接，所述滚珠丝杆与所述缸体连接，所述缸体与所述连接板块连接，所述连接板块与所述探针卡放置板连接。
4.根据权利要求2所述的探针卡检测装置，其特征在于，所述探针卡放置板与所述光源器件之间设置有预设间距。
5.根据权利要求1所述的探针卡检测装置，其特征在于，所述ccd相机组件包括至少一个ccd相机、连接板、连接...
【专利技术属性】
技术研发人员：武春谱，杨顺龙，
申请(专利权)人：合肥精智达集成电路技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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