一种硅片分选机构及设有该分选机构的分选机制造技术

技术编号:35660678 阅读:25 留言:0更新日期:2022-11-19 16:58
一种硅片分选机构,依次构设有布片单元、分选单元和传递单元;所述分选单元构造有一端与所述布片单元铰接设置的分选台;所述分选台能够沿其与所述布片单元铰接点旋转倾斜与所述传递单元错位或水平抵顶所述传递单元,形成异向传输线以分选不同类型的硅片。还提出一种设有该分选机构的分选机。本实用新型专利技术整个机构无需设置其它外置的辅助装置,可快速且精准地分选良品和次品,并使次品下行收集,不仅节约空间,而且结构简单,整体配合稳定,可保证良品移送步进的精确性。本实用新型专利技术还提出一种设有该分选机构的分选机。该分选机构的分选机。该分选机构的分选机。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片分选机构及设有该分选机构的分选机


[0001]本技术属于硅片分片设备
,尤其是涉及一种硅片分选机构及设有该分选机构的分选机。

技术介绍

[0002]分选机中的分片是硅片脱胶清洗后的重要一环,选用不同路线将良品与次品分选,再进入不同收集仓进行收集。对于现有分选机,其现有结构有限,现有分选过程中,当出现异常时,直接顶起异常硅片并水平地将其输送至传输带外侧,但这种结构要求分选机的宽度较大,且在后续接收时需要额外设置其它辅助结构来接收硅片,致使整体结构复杂。同时,对于顶升设置的输送机构在其下落时需要与前后固定设的传输机构无缝衔接,频繁接触容易造成前后的传输机构出现震动,进而会使得前后传输机构的位置晃动,极易出现在交接位置出出现硅片卡壳而损伤或碎裂,严重影响硅片分选质量。

技术实现思路

[0003]本技术提供一种硅片分选机构及设有该分选机构的分选机,解决了现有技术中分选结构复杂且容易震动而导致分选质量不好的技术问题。
[0004]为解决至少一个上述技术问题,本技术采用的技术方案是:
[0005]一种硅片分选机构,依次构设有布片单元、分选单元和传递单元;
[0006]所述分选单元构造有一端与所述布片单元铰接设置的分选台;
[0007]所述分选台能够沿其与所述布片单元铰接点旋转倾斜与所述传递单元错位或水平抵顶所述传递单元,形成异向传输线以分选不同类型的硅片。
[0008]进一步的,所述分选单元还包括用于控制所述分选台摇摆的顶推件;
[0009]所述顶推件的一端铰接在所述分选台靠近所述传递单元一端的下底面,另一端枢接在所述布片单元内侧;
[0010]所述顶推件收缩或伸长以拉动所述分选台以所述分选台与所述布片单元的铰接点为圆心顺向朝下旋转或逆向旋转回至水平位置。
[0011]进一步的,所述布片单元包括均沿传输方向设置的布片带件及布片架体;
[0012]所述布片架体被构造为具有空腔的长方体结构,相对配置于所述布片带件两侧;
[0013]所述布片带件通过转轴被固设于所述布片架体上。
[0014]进一步的,在所述布片架体下方并沿其长度方向上还配置有轨道,所述布片架体可沿所述轨道同步滑动。
[0015]进一步的,所述分选台包括导板和置于所述导板两侧的分选带件;
[0016]所述导板和所述分选带件的同一端均与靠近所述分选台一侧的所述转轴铰接;
[0017]所述导板的另一端悬空设置;
[0018]所述分选带件的另一端通过短轴连接在所述导板悬空设置的一端。
[0019]进一步的,所述传递单元包括固定设置的传递架体及用于传递良品硅片的传递带
件,所述传递带件与所述布片带件的同高配置;
[0020]所述传递架体分置于所述传递带件的两侧,并分别与相对设置的所述布片架体同轴向设置。
[0021]进一步的,所述传递架体被构造为壳体结构。
[0022]进一步的,所述传递单元还包括用于调节所述传递带件与所述布片带件之间的水平距离的可调件,每个所述传递架体中配置一所述可调件;
[0023]所述可调件的两端分置于同一侧设置的所述布片架体和所述传递架体。
[0024]进一步的,在相邻所述传递架体之间还设有用于收集硅片的收集槽,所述收集槽部分位于所述传递带件的正下方。
[0025]一种硅片分选机,采用如上述任一项所述的分选机构。
[0026]采用本技术设计的一种硅片分选机构,仅采用悬臂式的分选台即可在原有空间长度上形成一倾斜向下和水平设置的两条异向传输线,从而可将不同质量类型的硅片分排至不同终点处理;整个机构无需设置其它外置的辅助装置,可快速且精准地分选良品和次品,并使次品下行收集,不仅节约空间,而且结构简单,整体配合稳定,可保证良品移送步进的精确性。本技术还提出一种设有该分选机构的分选机。
附图说明
[0027]图1是实施例中分选机构中向下倾斜状态时的结构示意图;
[0028]图2是实施例中分选机构中水平对齐状态时的结构示意图。
[0029]图中:
[0030]100、分选机构
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10、布片单元
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11、布片带件
[0031]12、布片架体
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13、转轴
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14、轨道
[0032]15、定板
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20、分选单元
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21、导板
[0033]22、分选带件
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23、顶推件
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24、收集槽
[0034]30、传递单元
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31、传递带件
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32、传递架体
[0035]33、可调件
具体实施方式
[0036]下面结合附图和具体实施例对本技术进行详细说明。
[0037]本实施例提出一种硅片分选机构,如图1和图2所示,沿传输方向上依次构设有布片单元10、分选单元20和传递单元30,分选单元20构造有一端与布片单元10铰接设置的分选台,分选台能够沿其与布片单元10铰接点下压后旋转向下倾斜并与传递单元30上下错位设置或水平抵顶传递单元30 并排首尾接触设置,形成两条异向的传输线,以分选不同质量类型的硅片。也就是,在异常硅片出现时,控制分选台下行旋转以将异常硅片沿其传输线的方向向下排片;当良品硅片出现时,控制分选台水平设置且其远离布片单元10的一端抵顶传递单元30,即分选单元20与传递单元30对头顶着,形成一条连续且无缝隙的传输线,以将良品硅片沿其传输方向上向前步进前行;进而完成不同质量类型的硅片的分选。
[0038]具体地,布片单元10设置在分选滚轮的一侧,其包括均沿传输方向设置的布片带件11及布片架体12;其中,布片架体12被构造为具有空腔的长方体结构,相对配置在布片带
件11的两侧;分选滚轮设置在两个布片架体 12之间且远离分选单元20的一端。被分选滚轮吸附的硅片顺向翻转后沿布片带件11传输步进。硅片在布片带件11上行进的同时,在布片带件11两侧即位于布片架体12两侧的相机检测仪和置于布片带件11正上方的视觉检测仪(附图省略)同步对硅片的四角及表面进行外观检查,当发现硅片出现缺口、裂纹或划痕时,硅片被判为异常件;若无上述问题,则硅片被视为良品。
[0039]在本实施例中,所有传输带件均为皮带件,其中布片带件11通过转轴 13被固设在两侧的布片架体12上,一个转轴13紧靠分选滚轮设置,另一个转轴13靠近分选单元20的一侧设置。
[0040]进一步的,在布片架体12的下方并沿其长度方向上还配置有轨道14,布片架体12可沿轨道14同步滑动。
[0041]进一步的,本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片分选机构,其特征在于,依次构设有布片单元、分选单元和传递单元;所述分选单元构造有一端与所述布片单元铰接设置的分选台;所述分选台能够沿其与所述布片单元铰接点旋转倾斜与所述传递单元错位或水平抵顶所述传递单元,形成异向传输线以分选不同类型的硅片。2.根据权利要求1所述的一种硅片分选机构,其特征在于,所述分选单元还包括用于控制所述分选台摇摆的顶推件;所述顶推件的一端铰接在所述分选台靠近所述传递单元一端的下底面,另一端枢接在所述布片单元内侧;所述顶推件收缩或伸长以拉动所述分选台以所述分选台与所述布片单元的铰接点为圆心顺向朝下旋转或逆向旋转回至水平位置。3.根据权利要求1或2所述的一种硅片分选机构,其特征在于,所述布片单元包括均沿传输方向设置的布片带件及布片架体;所述布片架体被构造为具有空腔的长方体结构,相对配置于所述布片带件两侧;所述布片带件通过转轴被固设于所述布片架体上。4.根据权利要求3所述的一种硅片分选机构,其特征在于,在所述布片架体下方并沿其长度方向上还配置有轨道,所述布片架体可沿所述轨道同步滑动。5.根据权利要求4所述的一种硅片分选机构,其特征在于,所述分选台包括导板和...

【专利技术属性】
技术研发人员:靳立辉杨骅任志高王欢艾传令王大伟武治军岑红霞危晨
申请(专利权)人:天津市环欧新能源技术有限公司
类型:新型
国别省市:

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