一种硅片抛光用洗边装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种硅片抛光用洗边装置，包括固定底座和与所述固定底座连接的气缸固定块；所述气缸固定块与所述固定底座的连接角度和位置均可调节；所述气缸固定块上固定连接有气缸，所述气缸内设有可伸缩的气缸杆，所述气缸杆的端部固定连接有洗边管，所述洗边管上设有表面喷嘴和洗边喷嘴。本实用新型专利技术通过对洗边装置的进一步的改进，可以使陶瓷盘上表面及侧边缘的蜡同时清洗干净，还可以实现对洗边装置的位置及角度调节，对后续加工的稳定性和硅片的品质有很大的提升效果，因此本申请所提供的洗边装置在半导体硅片加工制造中具有较好的实用价值和技术改进意义。好的实用价值和技术改进意义。好的实用价值和技术改进意义。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片抛光用洗边装置


[0001]本技术属于硅片加工
，具体涉及一种硅片抛光用洗边装置。

技术介绍

[0002]在半导体硅片加工制造过程中，对硅片进行抛光处理是进行后续加工生产中所必不可少的一个步骤，其主要目的在于改善前道工序加工过程中留下的缺陷，同时使晶圆表面足够平整。抛光的主要流程为：取片、涂腊、洗边、贴片、抛光、卸片等。其中洗边是陶瓷盘涂完蜡后由洗边装置将陶瓷盘边缘的蜡洗掉，具体步骤为涂完蜡的陶瓷盘一直处于旋转状态，洗边装置移动至陶瓷盘边缘位置后开始喷化学液，化学液将蜡去除干净后将洗边装置移走，陶瓷盘继续旋干后为后续工序做准备。
[0003]在实际生产加工的过程中，一块陶瓷盘经过涂蜡后其表面及侧面边缘处均覆盖有蜡，洗边装置在清洗蜡时，由于只有一个化学液喷嘴对着陶瓷盘上表面对应位置喷液，导致侧面边缘位置的蜡不能完全清洗干净，在后续贴片及抛光过程中，会出现陶瓷盘粘到真空锅内、陶瓷盘粘到抛头内、陶瓷盘错位导致手臂撞机等重大异常。另外，现有洗边装置无法调整与陶瓷盘之间的角度和距离，也会使洗边时经常出现洗不干净、洗边过宽或过窄、喷头与陶瓷盘摩擦等异常，导致生产出的硅片平坦度超规及硅片表面刮伤等品质问题。
[0004]因此对洗边装置进行进一步的改进，使陶瓷盘边缘的蜡可以清洗干净及洗边装置的位置可以随时调整，对于后续加工的稳定性和提高硅片的品质具有重要的技术价值。

技术实现思路

[0005]本技术的目的就在于为解决现有技术的不足而提供一种硅片抛光用洗边装置。
[0006]本技术的目的是以下述技术方案实现的：
[0007]一种硅片抛光用洗边装置，包括固定底座和与所述固定底座连接的气缸固定块；所述气缸固定块与所述固定底座的连接角度和位置均可调节；
[0008]所述气缸固定块上固定连接有气缸，所述气缸内设有可伸缩的气缸杆，所述气缸杆的端部固定连接有洗边管，所述洗边管上设有表面喷嘴和洗边喷嘴。
[0009]优选的，所述固定底座和所述气缸固定块之间设有调整座；
[0010]所述调整座和所述气缸固定块均为L型，分别包括一个底面和一个竖直面；
[0011]所述固定底座上开设有供第一螺丝穿过的第一螺纹孔，所述调整座的底面上开设有供所述第一螺丝穿过的第一长条形安装孔；所述第一螺丝穿过所述第一长条形安装孔和所述第一螺纹孔将所述固定底座和所述调整座固定；
[0012]所述调整座的竖直面上开设有供第二螺丝穿过的第二螺纹孔以及供第三螺丝穿过的第二长弧形安装孔，所述固定块的竖直面开设有供所述第二螺丝穿过的第三螺纹孔以及供所述第三螺丝穿过的第四螺纹孔；所述气缸固定于所述气缸固定块的底面上；所述第二螺丝穿过所述第二螺纹孔和第三螺纹孔、所述第三螺丝穿过所述长弧形安装孔、第四螺
纹孔将所述调整座和所述气缸固定块连接；
[0013]通过调节所述第一螺丝于所述第一长条形安装孔的固定位置，能够调节所述调整座以及固定于所述调整座上的气缸固定块，与所述固定底座的连接位置；
[0014]通过调节第三螺丝于第二长弧形安装孔的固定位置，能够调节所述气缸固定块，与所述调整座和所述固定底座之间的固定角度。
[0015]优选的，所述固定底座为矩形，其底面用于与机台平台固定连接，顶面用于与所述调整座的底面连接。
[0016]优选的，所述气缸固定块上还设有供所述洗边管穿过的保护套，所述洗边管在所述气缸杆的带动下可沿所述保护套上下移动。
[0017]优选的，所述气缸的上部和下部分别设有感应器，用于感应所述气缸杆是伸出状态还是缩回状态。
[0018]优选的，所述气缸杆的末端设有连接块，所述洗边管通过顶丝与所述连接块固定。
[0019]优选的，所述气缸上设有第一接头，所述第一接头连接有气管。
[0020]优选的，所述第一接头与所述气管均为两个。
[0021]优选的，所述洗边管的上端设有第二接头，所述第二接头连接有清洗液管道。
[0022]优选的，所述洗边喷嘴位于所述洗边管的下端，喷嘴方向对准陶瓷盘的侧边区域；所述表面喷嘴为半圆形，末端的喷嘴方向对准所述陶瓷盘的表面区域。
[0023]本技术通过对洗边装置的进一步的改进，可以使陶瓷盘上表面及侧边缘的蜡同时清洗干净，还可以实现对洗边装置的位置及角度调节，对后续加工的稳定性和硅片的品质有很大的提升效果，因此本申请所提供的洗边装置在半导体硅片加工制造中具有较好的实用价值和技术改进意义。
附图说明
[0024]图1是洗边装置的右侧结构示意图；
[0025]图2是洗边装置的左侧结构示意图；
[0026]图3是洗边装置的局部的结构示意图；
[0027]图4是洗边装置中洗边管及两个喷嘴单个机构示意图；
[0028]图5为本技术提供的洗边装置清洗陶瓷盘的示意图；
[0029]其中，1
‑
清洗液管路；2
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气缸固定块；3
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洗边管；4
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表面喷嘴；5
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洗边喷嘴；6
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气缸；7
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感应器；8、9
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气管；10
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第二长弧形安装孔；11
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调整座；12
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第一长条形安装孔；13
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固定底座；14
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第二接头；15
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保护套；16
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连接块；17
‑
顶丝；18
‑
气缸杆；19
‑
第一接头；20
‑
陶瓷盘。
具体实施方式
[0030]本技术提供了一种硅片抛光用洗边装置，如图1～5所示，包括固定底座13和与固定底座13连接的气缸固定块2；气缸固定块2与固定底座13的连接角度和距离可调节；
[0031]气缸固定块2上固定连接有气缸6，气缸6内设有可伸缩的气缸杆18，气缸杆18的端部固定连接有洗边管3，洗边管3上设有表面喷嘴和洗边喷嘴。
[0032]本技术使用时，将固定底座固定于机台平台上，通过调整气缸固定块与固定底座之间的固定角度和距离，进而可以调整位于气缸固定块上的洗边管、喷嘴与陶瓷盘之
间的距离，通过调节距离和角度，可以使洗出来的边宽度合适且与陶瓷盘无干涉；然后通过气缸杆的伸缩，可同步带动其上的洗边管和喷嘴上下移动，以靠近陶瓷盘进行清洗，由于本申请洗边管上同时设有表面喷嘴和洗边喷嘴，可同时对陶瓷盘表面区域和侧边区域的涂蜡进行清洗。
[0033]因此，本技术通过对洗边装置的进一步的改进，可以使陶瓷盘上表面及侧面边缘的蜡同时清洗干净，还可以实现对洗边装置的位置及角度调节，对后续加工的稳定性和硅片的品质有很大的提升效果，因此本申请所提供的洗边装置在半导体硅片加工制造中具有较好的实用价值和技术改进意义。
[0034]上述的气缸固定块2与固本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片抛光用洗边装置，其特征在于，包括固定底座和与所述固定底座连接的气缸固定块；所述气缸固定块与所述固定底座的连接角度和位置均可调节；所述气缸固定块上固定连接有气缸，所述气缸内设有可伸缩的气缸杆，所述气缸杆的端部固定连接有洗边管，所述洗边管上设有表面喷嘴和洗边喷嘴。2.如权利要求1所述的硅片抛光用洗边装置，其特征在于，所述固定底座和所述气缸固定块之间设有调整座；所述调整座和所述气缸固定块均为L型，分别包括一个底面和一个竖直面；所述固定底座上开设有供第一螺丝穿过的第一螺纹孔，所述调整座的底面上开设有供所述第一螺丝穿过的第一长条形安装孔；所述第一螺丝穿过所述第一长条形安装孔和所述第一螺纹孔将所述固定底座和所述调整座固定；所述调整座的竖直面上开设有供第二螺丝穿过的第二螺纹孔以及供第三螺丝穿过的第二长弧形安装孔，所述固定块的竖直面开设有供所述第二螺丝穿过的第三螺纹孔以及供所述第三螺丝穿过的第四螺纹孔；所述气缸固定于所述气缸固定块的底面上；所述第二螺丝穿过所述第二螺纹孔和第三螺纹孔、所述第三螺丝穿过所述长弧形安装孔、第四螺纹孔将所述调整座和所述气缸固定块连接；通过调节所述第一螺丝于所述第一长条形安装孔的固定位置，能够调节所述调整座以及固定于所述调整座上的气缸固定块，与所述固定底座的连接位置；通过调节第三螺丝于第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴泓明，钟佑生，陈志刚，周军磊，李常存，
申请(专利权)人：郑州合晶硅材料有限公司，
类型：新型
国别省市：