一种晶圆的字符识别机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆的字符识别机构，它涉及信息识别技术领域，其包括工作台，环形轨道传输机构，所述环形轨道传输机构设置在工作台上，所述环形轨道传输机构包括环形轨道，所述环形轨道上设置有多个物料平台；多个视觉检测机构，所述视觉检测机构设置在工作台上，所述视觉识别定位机构上设置有第一相机及第二相机，所述第一相机及第二相机用于对晶圆上的镭雕信息进行字符识别；多个晶圆机械手，所述晶圆机械手用于将晶圆在视觉检测机构与晶舟盒之间来回移动。采用上述技术方案后，本实用新型专利技术采用机械化代替人工，节约了人工，提高了效率，降低了人工成本。降低了人工成本。降低了人工成本。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆的字符识别机构


[0001]本技术涉及信息识别
，具体涉及一种晶圆的字符识别机构。

技术介绍

[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。
[0003]晶圆在未加工或加工完成后，在其上一般都会有镭雕信息，以便对晶圆进行区分，在晶圆入库前，需要对晶圆上的镭雕信息进行字符识别，传统的字符识别是采用人工将晶圆放到相机下进行信息识别，这样需要大量的人工，且所需时间更长，人工在长期劳作下也更易疲劳，可能会出现识别出错等问题，且人工成本较高。
[0004]有鉴于此，本技术针对上述过程中未臻完善所导致的诸多缺失及不便，而深入构思，且积极研究改良试做而开发设计出本技术。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于针对现有技术的缺陷和不足，提供一种能够节约人工，提高效率，提高准确性，降低人工成本的晶圆的字符识别机构。
[0006]为实现上述目的，本技术采用以下技术方案是：
[0007]一种晶圆的字符识别机构，其包括
[0008]工作台，
[0009]环形轨道传输机构，所述环形轨道传输机构设置在工作台上，所述环形轨道传输机构包括环形轨道，所述环形轨道上设置有多个物料平台；
[0010]多个视觉检测机构，所述视觉检测机构设置在工作台上，所述视觉识别定位机构上设置有第一相机及第二相机，所述第一相机及第二相机用于对晶圆上的镭雕信息进行字符识别；
>[0011]多个晶圆机械手，所述晶圆机械手用于将晶圆在视觉检测机构与晶舟盒之间来回移动。
[0012]进一步，还包括多个晶舟盒，所述晶舟盒用于放置晶圆，所述晶舟盒在环形轨道上移动。
[0013]进一步，所述环形轨道传输机构还包括皮带、多个皮带轮、多个推板，所述环形轨道设置在工作台上，所述皮带沿环形轨道设置，所述皮带轮设置在工作台上，并带动皮带传动，所述推板设置在皮带上，所述推板相对物料平台设置，皮带传动带动推板传动，推板移动带动物料平台移动，所述物料平台用于放置所述晶舟盒。
[0014]进一步，所述视觉检测机构还包括固定板、隔板及光源，所述固定板设置在所述工作台上，固定板上设置有隔板，隔板的上方设置有第一相机，隔板的下方设置有第二相机，所述第一相机及第二相机皆朝向隔板设置，第一相机及第二相机上皆设置有光源。
[0015]进一步，所述隔板上设置有定位槽及U形槽，第一相机及第二相机能够透过U形槽
识别晶圆上的镭雕信息，定位槽用于对晶圆进行定位。
[0016]进一步，所述晶圆机械手包括控制底座、支撑盘、两第一连接臂、两第二连接臂、两第三连接臂、上夹臂、下夹臂及传感器，所述支撑盘设置在控制底座上，所述两第一连接臂的一端设置在支撑盘上，两第一连接臂的另一端各连接一第二连接臂的一端，两第二连接臂的另一端各连接两第三连接臂的一端，其中一第三连接臂连接上夹臂，另一第三连接臂连接下夹臂，上夹臂与下夹臂上下相对设置，用于夹取晶圆，所述传感器设置在第三连接臂上。
[0017]进一步，所述晶舟盒具有一边大一边小的开口，晶舟盒上具有多个条形卡槽，每个条形卡槽都用来放置晶圆。
[0018]采用上述技术方案后，本技术中晶舟盒在被夹取到环形传输机构上并在环形轨道上移动，晶圆机械手夹取晶舟盒上的晶圆至视觉检测机构进行字符识别，识别完成后通过晶圆机械手夹取回晶舟盒的原位置内，当整个晶舟盒内的晶圆都识别完成时，则完成晶圆的字符识别,采用机械化代替人工，节约了人工，提高了效率，提高准确性，降低了人工成本。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0020]图1是本技术未安装皮带的结构示意图。
[0021]图2是本技术物料平台的结构示意图。
[0022]图3是本技术视觉检测机构的结构示意图。
[0023]图4是本技术中晶舟盒的结构示意图。
[0024]图5是本技术中晶圆机械手的结构示意图。
[0025]图6是本技术中皮带的结构示意图。
具体实施方式
[0026]为了进一步解释本技术的技术方案，下面通过具体实施例来对本技术进行详细阐述。
[0027]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0028]参看图1
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图6所示，本技术揭示了一种晶圆的字符识别机构，其包括工作台11、环形轨道传输机构12、多个视觉检测机构13、多个用于将晶圆在视觉检测机构13与晶舟盒6之间来回移动的晶圆机械手15、多个用于放置晶圆的晶舟盒6。
[0029]所述工作台11为矩形工作台，工作台11的中间具有开口槽111。
[0030]所述环形轨道传输机构12设置在工作台11上，所述晶舟盒6在环形轨道传输机构12上移动；所述视觉检测机构13设置在工作台11上，用于对晶圆上的镭雕信息进行字符识别；所述标签打印机16用于打印标签；
[0031]所述环形轨道传输机构12包括环形轨道121、皮带122、多个皮带轮123、多个推板124及多个物料平台125，所述环形轨道121设置在工作台11上，所述皮带122沿环形轨道121设置，所述皮带轮123设置在工作台11上，并带动皮带122传动，所述推板124设置在皮带122上，所述物料平台125设置在环形轨道121上，所述推板124相对物料平台125设置，皮带122传动带动推板124传动，推板124移动带动物料平台125移动，所述物料平台125用于放置所述晶舟盒6。
[0032]所述物料平台125包括滑动轮1251、底板1252及置物板1253，所述滑动轮1252设置在底板1252的底面，卡在所述环形轨道121的两侧，滑动轮1252可在环形轨道121上滑动，所述底板1252上设置有卡槽a，所述卡槽a的位置与所述推板124的位置相对应，推板124卡入卡槽a中，所述置物板1253设置在底板1252上，所述置物板1253的表面边缘设置有限位块b，所述限位块b用于对晶舟盒6进行限位。
[0033]皮带轮123转动，带动皮带122传动，传动时，设置在皮带122上的推板1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆的字符识别机构,其特征在于：其包括工作台，环形轨道传输机构，所述环形轨道传输机构设置在工作台上，所述环形轨道传输机构包括环形轨道，所述环形轨道上设置有多个物料平台；多个视觉检测机构，所述视觉检测机构设置在工作台上，所述视觉检测机构上设置有第一相机及第二相机，所述第一相机及第二相机用于对晶圆上的镭雕信息进行字符识别；多个晶圆机械手，所述晶圆机械手用于将晶圆在视觉检测机构与晶舟盒之间来回移动。2.根据权利要求1所述的一种晶圆的字符识别机构，其特征在于：还包括多个晶舟盒，所述晶舟盒用于放置晶圆，所述晶舟盒在环形轨道上移动。3.根据权利要求1所述的一种晶圆的字符识别机构，其特征在于：所述环形轨道传输机构还包括皮带、多个皮带轮、多个推板，所述环形轨道设置在工作台上，所述皮带沿环形轨道设置，所述皮带轮设置在工作台上，并带动皮带传动，所述推板设置在皮带上，所述推板相对物料平台设置，皮带传动带动推板传动，推板移动带动物料平台移动，所述物料平台用于放置所述晶舟盒。4.根据权利要求1所述的一种晶圆的字符识别机构，其特征在于：所述视觉检测机构还包括固定板、隔...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡跃祥，李辉，高炳程，刘东辉，李振果，张堂令，谢洪喜，王永忠，
申请(专利权)人：厦门宏泰智能制造有限公司，
类型：新型
国别省市：