一种进出检料仓制造技术

本实用新型专利技术公开了一种进出检料仓，它涉及晶圆检料技术领域，其包括工作台，环形轨道传输机构，所述环形轨道传输机构设置在工作台上；多个视觉检测机构，所述视觉检测机构设置在工作台上，所述视觉检测机构用于对晶圆上的镭雕信息进行字符识别；晶舟盒，所述晶舟盒用于放置晶圆，所述晶舟盒在环形轨道传输机构上移动；晶圆机械手，所述晶圆机械手用于将晶圆在视觉检测机构与晶舟盒之间来回移动；标签打印机，所述标签打印机用于打印标签；物料传送装置，所述物料传送装置与所述环形轨道传输机构对接，所述晶舟盒通过物料传送装置进行传送。采用上述技术方案后，本实用新型专利技术能够节约人工，提高效率，降低成本。降低成本。降低成本。

【技术实现步骤摘要】
一种进出检料仓


[0001]本技术涉及晶圆检料
，具体涉及一种进出检料仓。

技术介绍

[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。
[0003]晶圆在未加工或加工完成后，在其上都会贴有镭雕信息，以便对晶圆进行区分，在晶圆入库前，需要对每个晶圆进行字符识别，传统的晶圆入库一般采用运输晶舟盒，然后人工对其进行字符识别，再通过人工运输送入库中，这样长期劳作下，会降低运输及入库的效率，延长晶圆的检料速度，且由于疲劳可能会出现信息记录错误，同时人工成本较高，因此需要一种机械化设备代替人工。
[0004]有鉴于此，本技术针对上述过程中未臻完善所导致的诸多缺失及不便，而深入构思，且积极研究改良试做而开发设计出本技术。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于针对现有技术的缺陷和不足，提供一种能够节约人工，提高效率，降低成本的检料仓。
[0006]为实现上述目的，本技术采用以下技术方案是：
[0007]一种进出检料仓，其包括
[0008]工作台，
[0009]环形轨道传输机构，所述环形轨道传输机构设置在工作台上；
[0010]多个视觉检测机构，所述视觉检测机构设置在工作台上，所述视觉检测机构用于对晶圆上的镭雕信息进行字符识别；
[0011]多个晶舟盒，所述晶舟盒用于放置晶圆，所述晶舟盒在环形轨道传输机构上移动；
[0012]多个晶圆机械手，所述晶圆机械手用于将晶圆在视觉检测机构与晶舟盒之间来回移动；
[0013]标签打印机，所述标签打印机用于打印标签，标识取料晶舟盒中晶圆的信息；
[0014]多个物料传送装置，所述物料传送装置与所述环形轨道传输机构对接，所述晶舟盒通过物料传送装置进行传送；
[0015]多个出入仓机构，所述出入仓机构包括换向机构及第一夹取机构，所述第一夹取机构设置在工作台上，用于夹取晶舟盒在环形轨道传输机构与换向机构之间移动，所述换向机构用于带动晶舟盒旋转。
[0016]进一步，所述环形轨道传输机构包括环形轨道、皮带、多个皮带轮、多个推板及多个物料平台，所述环形轨道设置在工作台上，所述皮带沿环形轨道设置，所述皮带轮设置在工作台上，并带动皮带传动，所述推板设置在皮带上，所述物料平台设置在环形轨道上，所述推板相对物料平台设置，皮带传动带动推板传动，推板移动带动物料平台移动，所述物料
平台用于放置所述晶舟盒。
[0017]进一步，所述视觉检测机构包括固定板、隔板、第一相机、第二相机及光源，所述固定板设置在所述工作台上，固定板上设置有隔板，隔板的上方设置有第一相机，隔板的下方设置有第二相机，所述第一相机及第二相机皆朝向隔板设置，第一相机及第二相机上皆设置有光源，所述隔板上设置有定位槽及U形槽，第一相机及第二相机能够透过U形槽识别晶圆上的镭雕信息，定位槽用于对晶圆进行定位。
[0018]进一步，所述晶圆机械手包括控制底座、支撑盘、两第一连接臂、两第二连接臂、两第三连接臂、上夹臂、下夹臂及传感器，所述支撑盘设置在控制底座上，所述两第一连接臂的一端设置在支撑盘上，两第一连接臂的另一端各连接一第二连接臂的一端，两第二连接臂的另一端各连接两第三连接臂的一端，其中一第三连接臂连接上夹臂，另一第三连接臂连接下夹臂，上夹臂与下夹臂上下相对设置，用于夹取晶圆，所述传感器设置在第三连接臂上。
[0019]进一步，所述换向机构与第一夹取机构对接，所述换向机构包括底架、气缸固定板、旋转气缸、夹块及垫板，所述气缸固定板设置在底架上，所述气缸固定板上设置有旋转气缸，所述夹块设置在旋转气缸上，所述夹块上设置有垫板。
[0020]进一步，所述第一夹取机构包括立柱、气缸安装板、滑动气缸、升降气缸、夹取气缸及夹爪，所述立柱设置在工作台上，所述气缸安装板设置在立柱上，所述滑动气缸设置在气缸安装板上，所述升降气缸设置在滑动气缸上，所述夹取气缸设置在升降气缸上，所述夹爪设置在夹取气缸的两侧，所述夹爪用于夹取晶舟盒。
[0021]进一步，所述物料传送装置包括支撑柱、传送带、第二夹取机构及窗口自动开闭机构，所述传送带设置在支撑柱上，所述第二夹取机构设置在传送带上，第二夹取机构用于将晶舟盒从传送带上夹取至所述环形轨道传输机构上，所述窗口自动开闭机构设置在支撑柱上，用于控制物料传送装置的料口的开和关。
[0022]采用上述技术方案后，本技术将晶舟盒放置在物料传送装置上，通过物料传送装置传送至环形传输机构上，然后晶圆机械手抓取晶舟盒上的晶圆至视觉检测机构上，对晶圆上的镭雕信息进行识别，识别完成后，将晶圆放回晶舟盒的原位置上，当某个晶舟盒上所有的晶圆完成识别后，出入仓机构的第一夹取机构将该晶舟盒夹取至换向机构上进行旋转90
°
，完成晶舟盒上晶圆的检料,采用机械化代替人工，节约了人工，提高了效率，降低了人工成本。
附图说明
[0023]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0024]图1是本技术的结构示意图。
[0025]图2是本技术中物料传送装置的结构示意图。
[0026]图3是本技术中物料平台的结构示意图。
[0027]图4是本技术中晶圆机械手的结构示意图。
[0028]图5是本技术中视觉检测机构的结构示意图。
[0029]图6是本技术中出入仓机构的结构示意图。
[0030]图7是本技术中晶舟盒的结构示意图。
[0031]图8是本技术中换向机构的结构示意图。
具体实施方式
[0032]为了进一步解释本技术的技术方案，下面通过具体实施例来对本技术进行详细阐述。
[0033]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0034]参看图1
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图8所示，本技术揭示了一种进出检料仓1，其包括工作台11、环形轨道传输机构12、多个视觉检测机构13、多个用于将晶圆在视觉检测机构13与晶舟盒6之间来回移动的晶圆机械手15及标签打印机16、多个物料传送装置2、多个出入仓机构3及多个用于放置晶圆的晶舟盒6。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种进出检料仓,其特征在于：其包括工作台，环形轨道传输机构，所述环形轨道传输机构设置在工作台上；多个视觉检测机构，所述视觉检测机构设置在工作台上，所述视觉检测机构用于对晶圆上的镭雕信息进行字符识别；多个晶舟盒，所述晶舟盒用于放置晶圆，所述晶舟盒在环形轨道传输机构上移动；多个晶圆机械手，所述晶圆机械手用于将晶圆在视觉检测机构与晶舟盒之间来回移动；标签打印机，所述标签打印机用于打印标签；多个物料传送装置，所述物料传送装置与所述环形轨道传输机构对接，所述晶舟盒通过物料传送装置进行传送；多个出入仓机构，所述出入仓机构包括换向机构及第一夹取机构，所述第一夹取机构设置在工作台上，用于夹取晶舟盒在环形轨道传输机构与换向机构之间移动，所述换向机构用于带动晶舟盒旋转。2.根据权利要求1所述的一种进出检料仓，其特征在于：所述环形轨道传输机构包括环形轨道、皮带、多个皮带轮、多个推板及多个物料平台，所述环形轨道设置在工作台上，所述皮带沿环形轨道设置，所述皮带轮设置在工作台上，并带动皮带传动，所述推板设置在皮带上，所述物料平台设置在环形轨道上，所述推板相对物料平台设置，皮带传动带动推板传动，推板移动带动物料平台移动，所述物料平台用于放置所述晶舟盒。3.根据权利要求1所述的一种进出检料仓，其特征在于：所述视觉检测机构包括固定板、隔板、第一相机、第二相机及光源，所述固定板设置在所述工作台上，固定板上设置有隔板，隔板的上方设置有第一相机，隔板的下方设置有第二相机，所述第一相机及第二相机皆朝向隔板设置，第一相机及第二相机上皆设置有光源，所述隔板上设置有定位槽及U形槽，第一相机及第二相机能够透过U形槽识别...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡跃祥，李辉，高炳程，刘东辉，李振果，张堂令，谢洪喜，王永忠，
申请(专利权)人：厦门宏泰智能制造有限公司，
类型：新型
国别省市：