一种具有到位缓冲装置的划片机上下料装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种具有到位缓冲装置的划片机上下料装置，包括：升降气缸，所述升降气缸的顶部设置有气缸导杆；机械手，包括盛片盘以及设置在所述盛片盘底部的真空吸盘；缓冲装置，包括缓冲器固定件以及穿设在所述缓冲器固定件上的支撑杆和缓冲组件；所述机械手与升降气缸通过设置在盛片盘上表面的气缸连接件连接，所述缓冲组件和升降气缸之间通过连接板连接，所述气缸导杆和支撑杆分别与所述连接板固定。本方案能够在升降气缸回退过程中降低顿挫，防止晶圆与真空吸盘之间的真空吸附力不够而导致晶圆滑落。而导致晶圆滑落。而导致晶圆滑落。

【技术实现步骤摘要】
一种具有到位缓冲装置的划片机上下料装置


[0001]本技术涉及领域，尤其涉及一种具有到位缓冲装置的划片机上下料装置。

技术介绍

[0002]划片机上的上下料装置在抓取产品的过程中通过升降气缸带动进行升降运动，在抓取产品后，升降气缸在上升回退时由于冲击力较大而产生顿挫，易导致产品在回程结束时由于速度瞬间降低，而导致用于盛放晶圆的框架表面的真空吸附力不够，从而使得晶圆从机械手滑落。同时，上下料装置上的升降气缸与各工件之间连接的稳定性不够时，会使升降气缸在运动时造成各工件的震动或晃动，也会造成晶圆滑落。

技术实现思路

[0003]因此，为解决上述问题，本技术提供了一种具有到位缓冲装置的划片机上下料装置。
[0004]本技术是通过以下技术方案实现的：
[0005]一种具有到位缓冲装置的划片机上下料装置，包括：
[0006]升降气缸，所述升降气缸的顶部设置有气缸导杆；
[0007]机械手，包括盛片盘以及设置在所述盛片盘底部的真空吸盘；
[0008]缓冲装置，包括缓冲器固定件以及穿设在所述缓冲器固定件上的支撑杆和缓冲组件；
[0009]所述机械手与升降气缸通过设置在盛片盘上表面的气缸连接件连接，所述缓冲组件和升降气缸之间通过连接板连接，所述气缸导杆和支撑杆分别与所述连接板固定。
[0010]优选的，所述升降气缸垂直设置在所述盛片盘上，所述盛片盘与所述缓冲器固定件和所述连接板平行。
[0011]优选的，所述缓冲组件包括穿设在缓冲器固定件上的缓冲杆，所述缓冲杆底部连接有缓冲头，所述缓冲头与缓冲杆之间设置有第一缓冲弹簧，所述缓冲杆、缓冲头以及第一缓冲弹簧与所述气缸导杆共轴。
[0012]优选的，所述缓冲头包括缓冲块以及设置在所述缓冲块上与所述缓冲杆连接的连接杆，所述第一缓冲弹簧套设在所述连接杆外周。
[0013]优选的，所述缓冲块与所述气缸导杆之间设置有一段间距，所述气缸导杆可选择地与所述缓冲块接触。
[0014]优选的，所述缓冲块为橡胶缓冲块。
[0015]优选的，所述缓冲器固定件与所述连接板之间设置有三根支撑杆，所述支撑杆垂直设置在所述缓冲器固定件与所述连接板之间，且三根所述支撑杆之间呈三角布置。
[0016]优选的，所述盛片盘底部设置有吸盘支架，所述吸盘固定在所述吸盘支架上。
[0017]优选的，所述真空吸盘与所述吸盘支架之间设置有第二缓冲弹簧。
[0018]本技术技术方案的有益效果主要体现在：
[0019]1、升降气缸的气缸导杆顶部共轴设置有缓冲杆、缓冲头以及第一缓冲弹簧，能够在升降气缸回退过程中降低顿挫，防止晶圆与真空吸盘之间的真空吸附力不够而导致晶圆滑落。
[0020]2、缓冲器固定件与所述连接板之间通过三角布置的三根支撑杆固定，连接板与升降气缸固定且升降气缸顶部设置的气缸导杆垂直穿过连接板，确保缓冲器固定件上设置的缓冲组件与气缸导杆始终保持共轴设置。
[0021]3、升降气缸与机械手之间通过设置在盛片盘上的气缸连接件固定，增加了机械手和升降气缸之间连接的稳固性，防止因升降气缸与机械手之间连接不牢固而导致机械手晃动，造成晶圆滑落。
附图说明
[0022]图1：是一种具有到位缓冲装置的划片机上下料装置的爆炸图；
[0023]图2：是一种具有到位缓冲装置的划片机上下料装置的立体图。
具体实施方式
[0024]为使本技术的目的、优点和特点能够更加清楚、详细地展示，将通过下面优选实施例的非限制性说明进行图示和解释。该实施例仅是应用本技术技术方案的典型范例，凡采取等同替换或者等效变换而形成的技术方案，均落在本技术要求保护的范围之内。
[0025]同时声明，在方案的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0026]此外，本方案中的术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或者暗示对重要性的排序，或者隐含指明所示的技术特征的数量。因此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术中，“多个”的含义是两个或者两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0027]如图1
‑
图2所示，本技术揭示了一种具有到位缓冲装置的划片机上下料装置，包括：
[0028]升降气缸1，所述升降气缸1的顶部设置有气缸导杆；
[0029]机械手，包括盛片盘2以及设置在所述盛片盘2底部的真空吸盘9；
[0030]缓冲装置，包括缓冲器固定件3以及穿设在所述缓冲器固定件3上的支撑杆301和缓冲组件。
[0031]所述机械手与升降气缸1通过设置在盛片盘2上表面的气缸连接件4连接，所述气缸连接件4包括底座401和垂直设置在底座401上的支架402，所述底座401通过螺钉固定在盛片盘2上，所述升降气缸1底部设置有3根支柱102，所述支柱102上设置有气缸座103，所述支柱102穿过所述支架402且所述气缸座103与所述支架402通过螺钉固定，所述缓冲组件和升降气缸1之间通过连接板5连接，所述连接板5与升降气缸1先通过螺钉固定在升降气缸1上，所述气缸导杆和支撑杆301分别垂直穿过所述连接板5，并与所述连接板5固定，所述升
降气缸1垂直设置在所述盛片盘2上，所述盛片盘2与所述缓冲器固定件3和所述连接板5平行设置。
[0032]在一实施例中，所述升降气缸1顶部设置有两根气缸导杆，每一气缸导杆上设置有一组缓冲组件，所述缓冲组件包括穿设在缓冲器固定件3上的缓冲杆8，所述缓冲杆8底部连接有缓冲头6，进一步地，所述缓冲头6可以采用具备缓冲性能的橡胶材质制成，所述缓冲头6与缓冲杆8之间设置有第一缓冲弹簧7，所述缓冲头6包括缓冲块601以及设置在所述缓冲块601上与所述缓冲杆8连接的连接杆602，所述第一缓冲弹簧7套设在所述连接杆602外周。
[0033]所述缓冲杆8、缓冲头6以及第一缓冲弹簧7与所述气缸导杆共轴，所述缓冲块601与所述气缸导杆之间设置有一段间距，所述气缸导杆可选择地与所述缓冲块601接触；在第一状态下，所述升降气缸1回退，气缸导杆向上运动并与所述缓冲块601接触，缓冲组件缓冲升降气缸1形成的冲击力；在第二状态下，气缸导杆随所述升降气缸1下降，所述气缸导杆与缓冲块601之间间隔设置。
[0034]如图1所示，在一实施例中，所述缓冲器固定件3与所述连接板5之间设置有三根支撑杆301，所述支撑杆301垂直设置在所述缓冲器固定件3与所述连接板5之间，所述支撑杆301的顶部通过紧固螺钉302与缓冲器固定件3固定，所述支撑杆301的底部的一段垂直穿过所述连接板5，通过过盈配合或卡接的方式本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有到位缓冲装置的划片机上下料装置，其特征在于：包括：升降气缸，所述升降气缸的顶部设置有气缸导杆；机械手，包括盛片盘以及设置在所述盛片盘底部的真空吸盘；缓冲装置，包括缓冲器固定件以及穿设在所述缓冲器固定件上的支撑杆和缓冲组件；所述机械手与升降气缸通过设置在盛片盘上表面的气缸连接件连接，所述缓冲组件和升降气缸之间通过连接板连接，所述气缸导杆和支撑杆分别与所述连接板固定。2.根据权利要求1所述的一种具有到位缓冲装置的划片机上下料装置，其特征在于：所述升降气缸垂直设置在所述盛片盘上，所述盛片盘与所述缓冲器固定件和所述连接板平行。3.根据权利要求1所述的一种具有到位缓冲装置的划片机上下料装置，其特征在于：所述缓冲组件包括穿设在缓冲器固定件上的缓冲杆，所述缓冲杆底部连接有缓冲头，所述缓冲头与缓冲杆之间设置有第一缓冲弹簧，所述缓冲杆、缓冲头以及第一缓冲弹簧与所述气缸导杆共轴。4.根据权利要求3所述的一种具有到位缓冲装置的划片机上下料装置，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：于光明，王永强，孙志超，刘炳先，
申请(专利权)人：江苏京创先进电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：