一种用于多种规格尺寸的石墨舟页全自动固定装置制造方法及图纸

技术编号:35603746 阅读:14 留言:0更新日期:2022-11-16 15:25
本实用新型专利技术公开一种用于多种规格尺寸的石墨舟页全自动固定装置,包括:石墨舟治具板和压紧装置,所述压紧装置设置在所述石墨舟治具板上,用于从两个方向压紧石墨舟页,所述压紧装置包括:前推定位压紧装置和侧推定位压紧装置,所述前推定位压紧装置用于在前方压紧石墨舟页,所述侧推定位压紧装置用于在侧方压紧石墨舟页。本实用新型专利技术的有益效果在于:可以实现高精度地将石墨舟页自动固定和压紧在石墨舟治具板上进行自动传送,可以替代人工操作,提升生产效率、降低生产成本和避免对操作工人的损伤;可以兼容不同规格尺寸的石墨舟页使用,具备良好的适配性。具备良好的适配性。具备良好的适配性。

【技术实现步骤摘要】
一种用于多种规格尺寸的石墨舟页全自动固定装置


[0001]本技术涉及自动化设备
,尤其涉及一种用于多种规格尺寸的石墨舟页全自动固定装置。

技术介绍

[0002]太阳能硅片的生产加工中有一道程序叫做PECVD镀膜,其作用是提高硅片的太阳能转化率。这个工序就用到石墨舟。石墨舟作为太阳能电池片镀减反射膜时的一种载体,其结构和大小直接影响硅片的转换效率和生产效率。石墨舟是通过石墨舟页、陶瓷套、陶瓷杆、石墨杆、石墨卡点、石墨螺母等石墨配件装配而成的一个立方体。一个石墨舟由数量众多的石墨舟页组成,每个石墨舟页又分为数量不等的槽。石墨舟页是一个厚度为1.0mm~2.5mm左右的长方形薄片,中间开了数个方形孔,石墨舟页上会安装石墨卡点,石墨卡点主要是用来托住硅片,以保证硅片紧贴石墨舟页。石墨舟页之间由陶瓷套分隔开来,最后所有的石墨舟页再由石墨杆来固定,石墨杆的两端再安装上石墨螺母。装配完成后的石墨舟是由数量众多的、竖直放置的、相互平行的石墨片组成的,且石墨舟上下宽度一致,石墨舟页之间间距固定且相等,石墨舟页垂直于地面。
[0003]石墨卡点跟石墨舟页是相互垂直,石墨舟页上有数量众多的圆形孔,孔的直径跟石墨卡点直径接近。石墨卡点通过过盈方式装入石墨舟页,然后再通过力矩压入的方式挤压石墨卡点进入石墨舟页。压入完成后石墨卡点会比石墨舟页凸起一定高度,同时石墨卡点的末端有一个凸起,石墨卡点的凸起部分跟石墨舟页之间就形成了一个凹槽,这个凹槽就刚好用来托起紧挨石墨舟页放置的硅片。
[0004]石墨舟自动上下片机将未镀膜的硅片通过机器人吸盘放在石墨舟片壁上的石墨卡点处,不同尺寸大小的硅片所用到的石墨舟页大小不一样,不同石墨舟页上的石墨卡点数量也不一样。一个硅片所需要的石墨卡点最少需要3个。放置完全部的硅片后,石墨舟通过皮带线带动进入PECVD镀膜机。石墨舟在PECVD镀膜机内部在高温条件下经过特定的化学反应,会在硅片表面镀上一层膜。镀膜完成后的石墨舟会再次从PECVD里退出来,然后再通过皮带线运输到自动上下片机,自动上下片机台的机器人会把镀膜完成的硅片从石墨舟里卸取出来。卸取完硅片后,机器人会再次放入未镀膜的原始硅片,再次放入石墨舟中,依次重复上述的过程。
[0005]在石墨舟往返多次进出PECVD后,石墨舟表面因为多次镀膜的原因,石墨舟表面、石墨舟页、石墨卡点、石墨卡点末端凸起与石墨舟页之间凹槽都会因为多次镀膜原因导致厚度、尺寸都会发生改成。石墨卡点末端凸起与石墨舟页之间凹槽因为多次镀膜导致凹槽的尺寸会变小,当凹槽尺寸变小到一定程度后,未镀膜的硅片就无法再放入这个凹槽中,从而导致硅片从石墨舟里掉出。同时由于石墨卡点凹槽处的直径很小,经过反复多次的硅片放入取出后,这个凹槽的直径会被磨损,严重的会出现石墨卡点从凹槽处断裂的情况。因此,经过多次镀膜后的石墨舟都要定期从PECVD或者自动上下片机台里取出,到专用的清洗设备里去清洗掉表面多余的镀膜,同时要人工拆开石墨舟,再更换每个石墨舟页上的所有
卡点。由于每个石墨舟页上有数量众多的石墨卡点(以八槽石墨舟页举例,一个石墨舟页上石墨卡点有24个),人工需要对一个石墨舟上的所有石墨舟页进行人工的卡点拆卸,再手动装入卡点并用专用压力治具压入卡点。因此这种情况就需要大量操作工人专门从事卡点更换工作,给客户带来了极大的人力成本。目前业内都是人工进行拆装卡点,一个工厂需要七八人专门从事这项工,同时由于石墨是易碎物,另外石墨粉尘有极强的污染特性,对工人的肺部伤害极大,导致这个行业的工人招聘也很难,可见此领域急需相关的自动化设备。
[0006]因此,现有技术存在缺陷,需要改进。

技术实现思路

[0007]本技术的目的是克服现有技术的不足,提供一种用于多种规格尺寸的石墨舟页全自动固定装置。
[0008]本技术的技术方案如下:本技术提供一种用于多种规格尺寸的石墨舟页全自动固定装置,包括:石墨舟治具板和压紧装置,所述压紧装置设置在所述石墨舟治具板上,用于从两个方向压紧石墨舟页,所述压紧装置包括:前推定位压紧装置和侧推定位压紧装置,所述前推定位压紧装置用于在前方压紧石墨舟页,所述侧推定位压紧装置用于在侧方压紧石墨舟页。
[0009]进一步地,所述前推定位压紧装置包括:短舟页压紧单元、长舟页压紧单元、前推定位传感器,所述短舟页压紧单元包括:丝杆电机、设置在所述丝杆电机的丝杆上的回转气缸、设置在回转气缸上的推动块,所述丝杆电机设置在直线滑动导轨上;所述长舟页压紧单元包括:丝杆电机和设置在所述丝杆电机上的推动块。
[0010]进一步地,所述侧推定位压紧装置包括:伺服电机、齿轮齿条装置、若干传动轴、若干轴承支撑座、若干联轴器、若干侧推定位传感器,所述轴承支撑座用于支撑所述传动轴,所述传动轴之间通过联轴器连接,所述伺服电机的输出端与传动轴相连接,所述传动轴与所述齿轮齿条装置中的齿轮同轴设置,所述侧推定位传感器与所述石墨舟治具板相固定。
[0011]进一步地,装置还包括直线导轨和驱动机构,所述石墨舟治具板设置在所述直线导轨的滑块上,所述驱动机构用于带动所述石墨舟治具板在所述直线导轨上移动。
[0012]进一步地,所述驱动机构包括动力源和传动装置。
[0013]进一步地,所述动力源包括伺服电机。
[0014]进一步地,所述传动装置包括:带传动装置、齿轮传动装置、链传动装置、蜗杆传动装置或螺旋传动转动装置。
[0015]进一步地,还包括方通架子,所述直线导轨设置在所述方通架子上。
[0016]采用上述方案,本技术的有益效果在于:可以实现高精度地将石墨舟页自动固定和压紧在石墨舟治具板上进行自动传送,可以替代人工操作,提升生产效率、降低生产成本和避免对操作工人的损伤;可以兼容不同规格尺寸的石墨舟页使用,具备良好的适配性。
附图说明
[0017]图1为本技术一实施的结构俯视图。
[0018]图2为本技术一实施例放置了短舟页的结构俯视图。
[0019]图2A为图2中A处的放大图。
[0020]图2B为图2中B处的放大图。
[0021]图3为本技术一实施例的结构示意图。
具体实施方式
[0022]以下结合附图和具体实施例,对本技术进行详细说明。
[0023]请结合参阅图1至图3,在本实施例中,本技术提供一种用于多种规格尺寸的石墨舟页全自动固定装置,包括:石墨舟治具板200和压紧装置,所述压紧装置与所述石墨舟治具板200相固定,用于从两个方向压紧石墨舟页,所述压紧装置包括:前推定位压紧装置和侧推定位压紧装置300,所述前推定位压紧装置用于在前方压紧石墨舟页,所述侧推定位压紧装置300用于在侧方压紧石墨舟页。
[0024]进一步地,所述前推定位压紧装置包括:短舟页压紧单元400、长舟页压紧单元500、前推定位传感器11,所述短舟页压紧单元400包括:丝杆电机7、设置在所述丝杆电机7的丝杆上的回转气缸9、设置在回转气缸9上的推动块8,所述本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于多种规格尺寸的石墨舟页全自动固定装置,其特征在于,包括:石墨舟治具板和压紧装置,所述压紧装置与所述石墨舟治具板相固定,用于从两个方向压紧石墨舟页,所述压紧装置包括:前推定位压紧装置和侧推定位压紧装置,所述前推定位压紧装置用于在前方压紧石墨舟页,所述侧推定位压紧装置用于在侧方压紧石墨舟页。2.根据权利要求1所述的用于多种规格尺寸的石墨舟页全自动固定装置,其特征在于,所述前推定位压紧装置包括:短舟页压紧单元、长舟页压紧单元、前推定位传感器,所述短舟页压紧单元包括:丝杆电机、设置在所述丝杆电机的丝杆上的回转气缸、设置在回转气缸上的推动块,所述丝杆电机设置在直线滑动导轨上;所述长舟页压紧单元包括:丝杆电机和设置在所述丝杆电机上的推动块。3.根据权利要求1所述的用于多种规格尺寸的石墨舟页全自动固定装置,其特征在于,所述侧推定位压紧装置包括:伺服电机、齿轮齿条装置、若干传动轴、若干轴承支撑座、若干联轴器、若干侧推定位传感器,所述轴承支撑座用于支撑所述传动轴,所述传动轴之...

【专利技术属性】
技术研发人员:张彪谭峰陈明溪何勇
申请(专利权)人:深圳市艾特自动化有限公司
类型:新型
国别省市:

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